last fixes!!11

[lectures/latex.git] / nlsop / nlsop_dpg_2005.tex

diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex
index de268db..0279967 100644 (file)
--- a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex
+++ b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex
@@ -59,6 +59,21 @@
 % start of content
 \ptsize{8}
 
+\begin{slide}
+{\large\bf
+ "Uberblick
+}
+\begin{picture}(300,30)
+\end{picture}
+\begin{itemize}
+ \item selbstorganisierte $SiC_x$-Ausscheidungen
+ \item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsprozesses
+ \item Umsetzung des Modells in eine Monte-Carlo-Simulation
+ \item Vergleich von Simulationsergebnissen mit experimentellen Befunden
+ \item Zusammenfassung
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
 \begin{slide}
 {\large\bf
  Cross-Section TEM-Aufnahme selbstorganisierter amorpher Lamellen
@@ -77,17 +92,17 @@
 }
 \begin{figure}
  \begin{center}
-  \includegraphics[width=8cm]{model1_s_german.eps}
+  \includegraphics[width=10cm]{model1_s_german.eps}
  \end{center}
 \end{figure}
+ \scriptsize
 \begin{itemize}
- \small
- \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
- \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
- \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
- \item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung
- \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
- \item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ bevorzugte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
+ \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ {\bf Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
+ \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph}
+ \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ {\bf Druckspannungen} auf Umgebung
+ \item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ {\bf Relaxation} der Druckspannung in $ {\bf z}$-{\bf Richtung}
+ \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten \\ $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
+ \item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ {\bf bevorzugte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
 \end{itemize}
 \end{slide}
 
@@ -130,13 +145,13 @@
   \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} \qquad + \qquad \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} \qquad + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\
 \]
 \begin{picture}(70,15)(-28,0)
- \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
+ \bf \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
 \end{picture}
 \begin{picture}(100,15)(-15,0)
- \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
+ \bf \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
 \end{picture}
 \begin{picture}(120,15)(-40,0)
- \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
+ \bf \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
 \end{picture}
 \begin{picture}(300,40)
 $
@@ -188,7 +203,7 @@ $
 
 \begin{slide}
 {\large\bf
- Ergebnisse - Version 1 \\
+ Ergebnisse - Programm, Version 1 \\
 }
 \begin{picture}(100,15)(0,0)
  \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen}
@@ -200,7 +215,7 @@ $
 
 \begin{slide}
 {\large\bf
- Ergebnisse - Version 1 \\
+ Ergebnisse - Programm, Version 1 \\
 }
 \begin{picture}(100,25)(0,-10)
  Einfluss der Diffusion
@@ -214,7 +229,7 @@ $
 
 \begin{slide}
 {\large\bf
- Ergebnisse - Version 1 \\
+ Ergebnisse - Programm, Version 1 \\
 }
 \begin{picture}(300,15)(0,0)
  Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen
@@ -230,11 +245,12 @@ $
 
 \begin{slide}
 {\large\bf
- Ergebnisse - Version 2 \\
+ Ergebnisse - Programm, Version 2 \\
 }
-\begin{picture}(100,15)(0,0)
- Dosisentwicklung
-\end{picture}
+\begin{itemize}
+ \item Verteilung amorpher Bereiche im gesamten Implantationsbereich reproduzierbar
+ \item Kinetik des Selbstorganisationsprozesses nachvollziehbar
+\end{itemize}
 \begin{figure}
  \begin{center}
   \includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung2.eps}