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[lectures/latex.git] / nlsop / talk / talk_german.tex

diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index 44e1b28..27de0a9 100644 (file)
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -208,8 +208,13 @@ Universit"at Augsburg
          % the atom and impact parameter p
          \onslide<4->{
         \pgfcircle[fill]{\pgfxy(3,6)}{0.1cm}
+        \pgfputat{\pgfxy(3.2,6)}{\pgfbox[right,base]{Atom}}
         \color{red}
+        \pgfsetstartarrow{\pgfarrowbar}
+        \pgfsetendarrow{\pgfarrowbar}
         \pgfxyline(3,6)(3,5)
+        \pgfclearstartarrow
+        \pgfclearendarrow
         \pgfputat{\pgfxy(2.9,5.5)}{\pgfbox[right,base]{$p$}}
         \color{black}
         }
@@ -225,6 +230,7 @@ Universit"at Augsburg
          % ion + direction
         \onslide<2->{
          \pgfcircle[fill]{\pgfxy(1,5)}{0.1cm}
+        \pgfputat{\pgfxy(1,4.9)}{\pgfbox[center,buttom]{Ion}}
         \pgfmoveto{\pgfxy(1,5)}
         \pgflineto{\pgfxy(7,5)}
         \pgfsetdash{{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}}{0cm}
@@ -267,8 +273,8 @@ Universit"at Augsburg
         {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$}
       \column{5.5cm}
         \vspace{0.5cm}
-        \includegraphics[width=5.5cm]{a-t.eps}
-        {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Temperatur f"ur die Dosis $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
+        \includegraphics[width=5.5cm]{trim92_2.eps}
+        {\scriptsize TRIM 92: Nukleares/Elekteronisches Bremskraft- und Implantationsprofil f"ur $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$}
     \end{columns}
 \end{frame}
 
@@ -289,20 +295,16 @@ Universit"at Augsburg
       \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps}
     \end{center}
     \scriptsize{
-    \begin{itemize}
+    \begin{itemize}[<+-| alert@+>]
       \pause
       \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
-            $\rightarrow$ {\bf Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
-      \pause
+            $\rightarrow$ {\bf kohlenstoffinduzierte Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
       \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $3C-SiC$ und $c-Si$\\
             $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph}
-      \pause
-      \item $20 - 30\,\%$geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
-            $\rightarrow$ laterale {\bf Druckspannungen} auf Umgebung
-      \pause
+      \item $20 - 30\,\%$ geringere $Si$-Dichte des amorphen $SiC_x$ im Vergleich zu $c-Si$\\
+            $\rightarrow$ {\bf laterale Druckspannungen} auf Umgebung (Relaxation in vertikaler Richtung)
       \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten\\
             $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
-      \pause
       \item Druckspannungen\\
             $\rightarrow$ {\bf spannungsunterst"utzte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
     \end{itemize}}
@@ -346,12 +348,12 @@ Universit"at Augsburg
   \frametitle{Simulation}
   \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen}
   \begin{columns}
-    \column{5.5cm}
-      \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps}
-      {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
     \column{5.5cm}
       \includegraphics[width=5.5cm]{trim_impl2.eps}
       {\scriptsize SRIM 2003.26, Implantationsprofil,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
+    \column{5.5cm}
+      \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps}
+      {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
   \end{columns}
 \end{frame}
 
@@ -481,16 +483,12 @@ Universit"at Augsburg
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Simulation, Version 1}
   \begin{block}{Eigenschaften}
-    \begin{itemize}
+    \begin{itemize}[<+-| alert@+>]
       \pause
+      \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$
       \item Linear gen"ahertes Implantations- und Bremskraftprofil
-      \pause
       \item Ein W"urfel-Treffer pro Ion
-      \pause
       \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit unabh"angig von direkter Nachbarschaft
-      \pause
-      \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$
-      \pause
       \item Kein Sputtervorgang
     \end{itemize}
   \end{block}
@@ -505,8 +503,9 @@ Universit"at Augsburg
   \pause
   \scriptsize{
   $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\
-  $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\
-  $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen $\rightarrow$ $2$ bzw. $3 \times 10^7$\\}
+  \pause
+  $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen $\rightarrow$ $2$ bzw. $3 \times 10^7$\\
+  $\Rightarrow$ kleinere Simulationsparameter $p_b$, $p_c$ und $p_s$\\}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
@@ -588,17 +587,13 @@ Universit"at Augsburg
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Simulation, Version 2}
-  \begin{block}{Eigenschaften}
+  \begin{block}{Eigenschaften}[<+-| alert@+>]
     \begin{itemize}
       \pause
       \item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil
-      \pause
       \item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM
-      \pause
       \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit abh"angig von direkter Nachbarschaft
-      \pause
       \item Tiefenbereich $0 - 700 \, nm$
-      \pause
       \item Sputtervorgang
     \end{itemize}
   \end{block}
@@ -712,6 +707,8 @@ Universit"at Augsburg
     \item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar
     \item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen
     \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen
+    \item Variation der Simulationparameter\\
+          $\Rightarrow$ Bildungsprozess der amorphen Phasen nachvollziehbar
   \end{itemize} 
 \end{frame}