ci often and soon

[lectures/latex.git] / nlsop / talk / talk_german.tex

diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index 167850d..5776ef7 100644 (file)
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -552,8 +552,9 @@ Universit"at Augsburg
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung an den Grenzfl"achen zur amorphen Schicht}
-      \begin{center}
       \scriptsize{
+      \begin{center}
+      Experiment\\
       \begin{tabular}{|c|c|c|}
         \hline
        Dosis & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
@@ -564,8 +565,10 @@ Universit"at Augsburg
         \hline
         $3,4 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 14 $at. \%$ & 12 $at. \%$ \\
         \hline
-      \end{tabular}\\
-      Experiment\\
+      \end{tabular}
+      \end{center}
+      \begin{center}
+      Simulation\\
       \begin{tabular}{|c|c|c|c|}
         \hline
        Durchl"aufe & \begin{minipage}{2.5cm} \begin{center} "aquivalente Dosis \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
@@ -578,8 +581,7 @@ Universit"at Augsburg
         $159 \times 10^6$ & $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 17,28 $at. \%$ & 17,73 $at. \%$ \\
         \hline
       \end{tabular}\\
-      Simulation}
-      \end{center}
+      \end{center}}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
@@ -590,21 +592,139 @@ Universit"at Augsburg
   \end{center}
 \end{frame}
 
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 2}
+  \begin{itemize}
+    \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphern Phasen
+    \item Gute "Ubereinstimmung zwischen Experiment und Simulation (bis auf $30 \, nm$-Shift)
+    \item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar
+    \item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen
+    \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen
+  \end{itemize} 
+\end{frame}
+
   \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
-  \framesubtitle{Zweiter Implantationsschritt}
+  \framesubtitle{Herstellung breiter lamellarer Bereiche durch einen zweiten Implantationsschritt}
+  \begin{columns}
+    \column{5cm}
+      \begin{block}{Idee}
+        \begin{itemize}
+         \item Grundlage: $180 \, keV$ $C^+$-implantiertes $Si$-Target
+         \item Target durchgehend kristallin (Implantation bei h"oherer Temperatur)
+         \item Bestrahlung mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$
+       \end{itemize}
+      \end{block}
+    \column{7cm}
+      \includegraphics[width=7cm]{carbon_sim.eps}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Nukleares Brmeskraft- und Implantationsprofil von $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$}
+  \begin{columns}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{nel_2mev.eps}
+      \begin{center}
+      Nukleare Bremskraft $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$
+      \end{center}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{impl_2mev.eps}
+      \begin{center}
+      Implantationsprofil $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$
+      \end{center}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen}
+  \scriptsize{
+  \begin{center}
+    Grundlage: $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\
+    \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_4_3.eps}
+  \end{center}
+  }
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen}
+  \scriptsize{
+  \begin{center}
+    Grundlage: $1.1 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\
+    \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_1_1.eps}
+  \end{center}
+  }
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Herstellung noch breiterer lamellarer Bereiche durch Mehrfachimplantation}
+  \begin{columns}
+    \column{7cm}
+      \includegraphics[width=7cm]{multiple_impl_cp.eps}
+    \column{5cm}
+      \begin{block}{Idee}
+        \begin{itemize}
+          \item breite, konstante, kastenf"ormige Verteilung des Kohlenstoffs
+          \item Mehrfachimplantation, Energien zwischen $180$ und $10 \, keV$
+         \item Konzentrationsmaximum: $10 \, at.\%$
+          \item Bestrahlung mit $2\, MeV$ $C^+$-Ionen
+        \end{itemize}
+      \end{block}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=11cm]{multiple_impl.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{multiple_ls.eps}
+  \end{center}
 \end{frame}
 
 \section{Zusammenfassung und Ausblick}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Zusammenfassung}
+  \begin{itemize}
+    \pause
+    \item Experiemntell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen
+    \pause
+    \item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges
+    \pause
+    \item Implementierung in einen Monte-Carlo-Simulationscode
+    \pause
+    \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experiemntellen Befunde
+    \pause
+    \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich
+    \item Vorhersage zur Herstellung gro"ser Bereiche lamellar geordneter Strukturen
+  \end{itemize}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ausblick}
+  \begin{itemize}
+    \pause
+    \item Simulation: Variation der Ionensorte/Temperatur\\
+          $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter vom Materialsystem\\
+         $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter von der Temperatur
+    \pause
+    \item Experimentell: "Uberpr"ufung der Vorhersage
+  \end{itemize}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}