X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fdiplom%2Fgrundlagen.tex;h=c79e3b070a8024b3b49dcb0f90f0cf1a2aff6cfe;hp=601036537bb4174ae77a944fa025ca3a4bb75516;hb=284dad8a21ef48a585076e380a3be8a6bc177cce;hpb=3f071da362e054042867c65f0cda9c4753073ba8

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index 6010365..c79e3b0 100644
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 \chapter{Grundlagen}
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+  \section{Monte Carlo Simulation}
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+  \section{Ionenimplantation}
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+    \subsection{Abbremsung von Ionen}
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+      \subsubsection{Bremsquerschnitt}
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+      \subsubsection{Nukleare Bremskraft}
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+      \subsubsection{Elektronische Bremskraft}
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+    \subsection{Implantationsprofil}
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+    \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung}