X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fdiplom%2Fmodell.tex;h=0c31f67d975dc7cde2d09f943174d5e1afffcf56;hp=48a76c0a51e8e0d0c8031beab687044ad89ed83f;hb=a3343c401123d9073c32fd03dbe2763b2f3d5bac;hpb=5bbeb011d2c38533397b004a36618e2cfa8a9323 diff --git a/nlsop/diplom/modell.tex b/nlsop/diplom/modell.tex index 48a76c0..0c31f67 100644 --- a/nlsop/diplom/modell.tex +++ b/nlsop/diplom/modell.tex @@ -2,5 +2,21 @@ \section{Implantationsbedingungen f"ur nanometrische Ausscheidungen} + Gegenstand dieser Arbeit ist die Umsetzung eines Modells welches den Selbstorganisationsvorgang von lamellaren und sph"arischen $SiC_x$-Ausscheidungen an der vorderen Grenzfl"ache zur durchgehenden amorphen $SiC_x$-Schicht erkl"aren soll. + Die Entstehung solcher Ausscheidungen beobachtet man nur unter bestimmten Implantationsbedingungen. + Die Implantationstemperatur muss hoch genug sein um eine komplette Amorphisierung des Targets, und gleichzeitig niedrig genug um die Kristallisation amorpher Ausscheidungen zu kubischen $3C-SiC$ zu verhindern. + F"ur Kohlenstoff in Silizium sind Temperaturen zwischen $150$ und $400 \, ^{\circ} C$ geeignet. + Da bei diesen Temperaturen kaum Amorphisierung zu erwarten ist, muss sehr viel Kohlenstoff implantiert werden, was letztendlich zur Nukleation kohlenstoffreicher amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen f"uhrt. + \begin{figure}[!h] + \includegraphics[width=12cm]{k393abild1.eps} + \caption{Hellfeld-TEM-Abbildung einer bei $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ mit $180 keV C^+$ implantierten $Si$-Probe mit einer Dosis von $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$. (L: amorphe Lamellen, S: sph"arische amorphe Ausscheidungen)} + \label{img:xtem_img} + \end{figure} + + Abbildung \ref{img:xtem_img} zeigt eine TEM-Aufnahme einer mit $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ inplantierten Probe. + In einer Tiefe von \ldots + + Neben Kohlenstoffimplantation in Silizium wurden solche Ausscheidungen auch in Hochdosis-Sauerstoffimplantation in Silizium, $Ar^+$ in $Al_2O_3$ und $Si^+$ in $SiC$ \cite{snead,van_ommen,ishimaru} gefunden. + \section{Formulierung des Modells}