X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fdiplom%2Fmodell.tex;h=a9a0549391a94542d4289deb08059b3457a135c1;hp=e78f8d7a49a7980e2ebb639c0e26e477cbdd21cd;hb=97eb7b6e919e1fec8915d4ae056e64b34be71fb4;hpb=9863bdbe1284f0ea52c3c7f8f8a3a8bdd676dc57 diff --git a/nlsop/diplom/modell.tex b/nlsop/diplom/modell.tex index e78f8d7..a9a0549 100644 --- a/nlsop/diplom/modell.tex +++ b/nlsop/diplom/modell.tex @@ -6,7 +6,7 @@ Im Folgenden soll auf das Modell zur Bildung dieser geordneten amorphen Ausscheidungen eingegangen werden. Es wurde erstmals in \cite{basic_phys_proc} vorgestellt. Die Idee des Modells ist schematisch in Abbildung \ref{img:modell} gezeigt. - \printimg{h}{width=15cm}{modell_ng.eps}{Schematische Abbildung des Modells zur Erkl"arung der Selbstorganisation amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen und ihre Entwicklung zu geordneten Lamellen aufgrund vorhandener Druckspannungen mit zunehmender Dosis in $C^+$"=implantierten Silizium.}{img:modell} + \printimg{h}{width=15cm}{modell_ng.eps}{Schematische Abbildung des Modells zur Erkl"arung der Selbstorganisation amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen und ihre Entwicklung zu geordneten Lamellen aufgrund vorhandener Druckspannungen mit zunehmender Dosis in $C^+$"=implantierten Silizium. Schwarze Pfeile entsprechen den Druckspannungen, weisse Pfeile deuten Kohlenstoffdiffusion an.}{img:modell} % alternativ model1_s_german.eps Aufgrund der niedrigen nuklearen Bremskraft der leichten Kohlenstoff Ionen im Silizium ist unter den weiter oben genannten Bedingungen keine Amorphisierung von reinem Silizium zu erwarten \cite{lindner_appl_phys}.