X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fdiplom%2Fsimulation.tex;h=5c710e36b83e7cbdbe22cc4d09c4f894eb20fb4a;hp=c172d7ac15709b67934f46890ab138d349317e64;hb=284dad8a21ef48a585076e380a3be8a6bc177cce;hpb=3f071da362e054042867c65f0cda9c4753073ba8 diff --git a/nlsop/diplom/simulation.tex b/nlsop/diplom/simulation.tex index c172d7a..5c710e3 100644 --- a/nlsop/diplom/simulation.tex +++ b/nlsop/diplom/simulation.tex @@ -1 +1,28 @@ \chapter{Simulation} + + \section{Annahmen der Simulation} + + \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation} + + \subsection{Diffusion} + + \subsection{Sputtern} + + \section{Auswertung von TRIM Ergebnissen} + + \subsection{Implantationsprofil und nukleare Bremskraft} + + \subsection{Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe} + + \section{Simulierte Tiefenbereiche} + + \section{Simulationsalgorithmus} + + \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation} + + \subsection{Einbau des implantierten Kohlenstoffs ins Target} + + \subsection{Diffusion und Sputtern} + + \section{Ablaufschema} +