X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fnlsop_dpg_2004.tex;fp=nlsop%2Fnlsop_dpg_2004.tex;h=797b7654178f67c66b03b9aa838758686c13f7bb;hp=0f3bbe9bf8cb4862388c7478a3ad012233aaa2e7;hb=35760a90d220b340ac37730d9ce76e4a15538efd;hpb=d53e260c5e2e55b56a9d9608aab4f5af447c2038 diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 0f3bbe9..797b765 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -74,7 +74,7 @@ \begin{itemize} \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium \\ $\rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph - \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung + \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung \item d"unnes Target \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung \item Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete \end{itemize} @@ -150,7 +150,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit \[ \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} \end{array} \] @@ -250,7 +250,7 @@ Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme: \begin{center} \includegraphics[height=3.5cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps} \includegraphics[height=3.5cm]{tem-if.eps} - \caption{Vergleich von Simulationsergebniss und TEM-Aufnahme} + \caption{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme} \end{center} \end{figure} \end{slide}