X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fnlsop_dpg_2005.tex;h=027996703eff50b89857ec5077536a22931de8d2;hp=de268db843eb1e4125cc356c2bb693d3d32486b9;hb=19dc122e15804decf4f8c943a6c9adf9a92415f7;hpb=f7aaf1afb817aa27e6e06a3d0305372c230f283a diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex index de268db..0279967 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex @@ -59,6 +59,21 @@ % start of content \ptsize{8} +\begin{slide} +{\large\bf + "Uberblick +} +\begin{picture}(300,30) +\end{picture} +\begin{itemize} + \item selbstorganisierte $SiC_x$-Ausscheidungen + \item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsprozesses + \item Umsetzung des Modells in eine Monte-Carlo-Simulation + \item Vergleich von Simulationsergebnissen mit experimentellen Befunden + \item Zusammenfassung +\end{itemize} +\end{slide} + \begin{slide} {\large\bf Cross-Section TEM-Aufnahme selbstorganisierter amorpher Lamellen @@ -77,17 +92,17 @@ } \begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[width=8cm]{model1_s_german.eps} + \includegraphics[width=10cm]{model1_s_german.eps} \end{center} \end{figure} + \scriptsize \begin{itemize} - \small - \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen - \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph - \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung - \item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung - \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff in amorphe Gebiete - \item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ bevorzugte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen + \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ {\bf Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen + \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph} + \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ {\bf Druckspannungen} auf Umgebung + \item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ {\bf Relaxation} der Druckspannung in $ {\bf z}$-{\bf Richtung} + \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten \\ $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete + \item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ {\bf bevorzugte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen \end{itemize} \end{slide} @@ -130,13 +145,13 @@ \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} \qquad + \qquad \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} \qquad + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\ \] \begin{picture}(70,15)(-28,0) - \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch} + \bf \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch} \end{picture} \begin{picture}(100,15)(-15,0) - \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert} + \bf \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert} \end{picture} \begin{picture}(120,15)(-40,0) - \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert} + \bf \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert} \end{picture} \begin{picture}(300,40) $ @@ -188,7 +203,7 @@ $ \begin{slide} {\large\bf - Ergebnisse - Version 1 \\ + Ergebnisse - Programm, Version 1 \\ } \begin{picture}(100,15)(0,0) \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen} @@ -200,7 +215,7 @@ $ \begin{slide} {\large\bf - Ergebnisse - Version 1 \\ + Ergebnisse - Programm, Version 1 \\ } \begin{picture}(100,25)(0,-10) Einfluss der Diffusion @@ -214,7 +229,7 @@ $ \begin{slide} {\large\bf - Ergebnisse - Version 1 \\ + Ergebnisse - Programm, Version 1 \\ } \begin{picture}(300,15)(0,0) Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen @@ -230,11 +245,12 @@ $ \begin{slide} {\large\bf - Ergebnisse - Version 2 \\ + Ergebnisse - Programm, Version 2 \\ } -\begin{picture}(100,15)(0,0) - Dosisentwicklung -\end{picture} +\begin{itemize} + \item Verteilung amorpher Bereiche im gesamten Implantationsbereich reproduzierbar + \item Kinetik des Selbstorganisationsprozesses nachvollziehbar +\end{itemize} \begin{figure} \begin{center} \includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung2.eps}