X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Ftalk%2Ftalk_german.tex;h=27de0a91b998357155e36a0f811a95091f827bbe;hp=28359daaeb97976e2d08fae6fb61847e1441f5de;hb=38d815d0fc38624c5cecd7f753c332987de2a6ad;hpb=db6d03cfea7833dfa391d033bb2b04e40d3f79c5 diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex index 28359da..27de0a9 100644 --- a/nlsop/talk/talk_german.tex +++ b/nlsop/talk/talk_german.tex @@ -16,6 +16,7 @@ \usepackage{aecompl} \usepackage{colortbl} \usepackage{pgf,pgfarrows,pgfnodes,pgfautomata,pgfheaps,pgfshade} +%\usepackage{pstricks} \usepackage{graphicx} \graphicspath{{../img}} \usepackage{hyperref} @@ -63,7 +64,7 @@ Universit"at Augsburg \begin{block}{Funktionsweise} \begin{itemize} \item Ionisation des Atoms/Molek"uls - \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$) + \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($10^2 \, eV - \, GeV$) \item Bestrahlung eines Festk"orpers \end{itemize} \end{block} @@ -93,15 +94,55 @@ Universit"at Augsburg \frametitle{Einf"uhrung} \framesubtitle{Selbstorganisation} \begin{columns} - \column{4.5cm} - \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh.eps}} - \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg.eps}} - \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2.eps}} - \column{6.5cm} + \column{5.0cm} + \only<1>{ + \includegraphics[height=5.8cm]{ripple_bh.eps}\\ + \vspace{0.2cm} + \tiny{ + R. M. Bradley, J. M. E. Harper.\\ + J. Vac. Sci. Technol. A 6 (1988) 2390. + } + } + \only<2>{ + \includegraphics[width=5cm]{frost.eps} + \scriptsize{ + $1000 \,keV$ $Ar^+ \rightarrow$ $InAs$,\\ + rotierendes Target,\\ + $T=285 \, K$, $\dot{D}=270 \, \mu A \, cm^{-2}$,\\ + $t=60 \, min.$, $\alpha = 30 \, ^{\circ}$.\\ + } + \vspace{0.5cm} + \tiny{ + B. Ziberi, F. Frost, M. Tartz, H. Neumann,\\ + B. Rauschenbach.\\ + Thin Solid Films 459 (2004) 106. + } + } + \only<3>{ + \includegraphics[height=5cm]{bin_leg.eps}\\ + \tiny{ + R. A. Enrique, P. Bellon.\\ + Phys. Rev. B 60 (1999) 14649. + } + } + \only<4>{ + \includegraphics[width=5cm]{bolse2.eps} + \scriptsize{ + $230 \, MeV$ $Kr^+ \rightarrow NiO/SiO_2$,\\ + $D=1.7 \times 10^{14} cm{-2}$, $\theta = 75 \, ^{\circ}$. + }\\ + \vspace{0.5cm} + \tiny{ + W. Bolse, A. Schattat, A. Feyh.\\ + Appl. Phys. A 77 (2003) 11. + } + } + \column{7cm} \begin{enumerate} \item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache - \item<2-> separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen - \item<3-> periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen + \item<2-> selbstorganisierte Nanostrukturen durch Sputtererosion + \item<3-> separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen + \item<4-> periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen \end{enumerate} \end{columns} \end{frame} @@ -132,7 +173,10 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Grundlagen} \framesubtitle{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM} - \begin{block}{Prinzip} + \begin{block}{Monte-Carlo-Methode} + Abbildung von Zufallszahlen auf physikalische Gr"o"sen + \end{block} + \begin{block}{Das Prinzip von TRIM} \begin{itemize} \item Verfolgung einer Vielzahl von Teilchenbahnen \pause @@ -142,18 +186,69 @@ Universit"at Augsburg \pause \item Energieverlust durch St"o"se \pause - \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_d$ - \pause - \item Abbildung von Zufallszahlen auf: - \begin{itemize} - \item freie Wegl"ange $l$ - \item Sto"sparameter $p \quad \Rightarrow$ Ablenkwinkel $\Theta \Rightarrow \Delta E$ - \item Azimutwinkel $\Phi$ - \end{itemize} + \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_k$ \end{itemize} \end{block} \end{frame} +\begin{frame} + \frametitle{Grundlagen} + \framesubtitle{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM} + Abbildung der Zufallszahlen auf die physikalischen Gr"o"sen + \begin{columns} + \column{8cm} + \begin{pgfpicture}{0cm}{0cm}{8cm}{7cm} + % free path of flight l + \onslide<3->{ + \color{blue} + \pgfxyline(1,5)(3,5) + \pgfputat{\pgfxy(1.75,5.1)}{\pgfbox[center,bottom]{$l$}} + \color{black} + } + % the atom and impact parameter p + \onslide<4->{ + \pgfcircle[fill]{\pgfxy(3,6)}{0.1cm} + \pgfputat{\pgfxy(3.2,6)}{\pgfbox[right,base]{Atom}} + \color{red} + \pgfsetstartarrow{\pgfarrowbar} + \pgfsetendarrow{\pgfarrowbar} + \pgfxyline(3,6)(3,5) + \pgfclearstartarrow + \pgfclearendarrow + \pgfputat{\pgfxy(2.9,5.5)}{\pgfbox[right,base]{$p$}} + \color{black} + } + % the scattering angle theta + \onslide<5->{ + \pgfmoveto{\pgfxy(3,5)} + \pgflineto{\pgfxy(7,2)} + \pgfsetdash{{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}}{0cm} + \pgfstroke + \pgfsetdash{{1cm}{0cm}{1cm}{0cm}}{0cm} % reset dash ... strange! + \pgfputat{\pgfxy(3.9,4.6)}{\pgfbox[right,base]{$\Theta$}} + } + % ion + direction + \onslide<2->{ + \pgfcircle[fill]{\pgfxy(1,5)}{0.1cm} + \pgfputat{\pgfxy(1,4.9)}{\pgfbox[center,buttom]{Ion}} + \pgfmoveto{\pgfxy(1,5)} + \pgflineto{\pgfxy(7,5)} + \pgfsetdash{{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}}{0cm} + \pgfstroke + \pgfsetdash{{1cm}{0cm}{1cm}{0cm}}{0cm} % reset dash ... strange! + } + \end{pgfpicture} + \column{4cm} + \begin{itemize} + \item<3-> mittlere freie Wegl"ange \color{blue}{$l$} + \item<4-> Sto"sparameter \color{red}{$p$}\\ + \color{black} % reset color ... + \onslide<5->{$\Rightarrow$ $\Theta$, $\Delta E$} + \item<6-> Azimutwinkel $\Phi$ + \end{itemize} + \end{columns} +\end{frame} + \section{Experimentelle Befunde und Modell} \subsection{Experimentelle Befunde} @@ -165,7 +260,7 @@ Universit"at Augsburg \includegraphics[height=5.5cm]{k393abild1_pres.eps} \end{center} \begin{center} - {\scriptsize\bf Hellfeld-TEM-Abbildung: $180 \, keV \, C^+ \rightarrow (100)Si$, $T = 150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $D = 4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} + {\scriptsize\bf Hellfeld-XTEM-Abbildung: $180 \, keV \, C^+ \rightarrow (100)Si$, $T = 150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $D = 4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \end{center} \end{frame} @@ -178,8 +273,8 @@ Universit"at Augsburg {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$} \column{5.5cm} \vspace{0.5cm} - \includegraphics[width=5.5cm]{a-t.eps} - {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Temperatur f"ur die Dosis $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} + \includegraphics[width=5.5cm]{trim92_2.eps} + {\scriptsize TRIM 92: Nukleares/Elekteronisches Bremskraft- und Implantationsprofil f"ur $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$} \end{columns} \end{frame} @@ -188,7 +283,7 @@ Universit"at Augsburg \framesubtitle{Kohlenstoffsegregation} \begin{center} \includegraphics[width=10cm]{eftem.eps} - {\scriptsize Hellfeld-TEM- und Elementverteilungsaufnahme. $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$, $T=200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$.} + {\scriptsize Hellfeld-XTEM- und Kohlenstoffverteilungsaufnahme. $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$, $T=200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$.} \end{center} \end{frame} @@ -200,19 +295,18 @@ Universit"at Augsburg \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps} \end{center} \scriptsize{ - \begin{itemize} + \begin{itemize}[<+-| alert@+>] \pause \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\ - $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen - \pause - \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$\\ - $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph - \pause - \item Geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\ - $\rightarrow$ laterale Druckspannungen - \pause - \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff\\ - $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$ + $\rightarrow$ {\bf kohlenstoffinduzierte Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen + \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $3C-SiC$ und $c-Si$\\ + $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph} + \item $20 - 30\,\%$ geringere $Si$-Dichte des amorphen $SiC_x$ im Vergleich zu $c-Si$\\ + $\rightarrow$ {\bf laterale Druckspannungen} auf Umgebung (Relaxation in vertikaler Richtung) + \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten\\ + $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete + \item Druckspannungen\\ + $\rightarrow$ {\bf spannungsunterst"utzte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen \end{itemize}} \end{frame} @@ -225,39 +319,41 @@ Universit"at Augsburg \begin{block}{Name} {\bf N}ano {\bf L}amellar {\bf S}elbst{\bf o}rganisations{\bf p}rozess \end{block} - \begin{block}{Grober Ablauf} - \begin{itemize} - \item Amorphisierung/Rekristallisation - \item Kohlenstoffeinbau - \item Diffusion/Sputtern - \end{itemize} - \end{block} - \begin{block}{Versionen} - \begin{itemize} - \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe - \item Version 2 - Simulation "uber den ganzen Tiefenbereich - \end{itemize} - \end{block} -\end{frame} - -\begin{frame} - \frametitle{Simulation} - \framesubtitle{Unterteilung des Targets} - \begin{center} - \includegraphics[width=8cm]{gitter_oZ.eps} - \end{center} + \begin{columns} + \column{6cm} + \scriptsize{ + \begin{block}{Grober Ablauf} + \begin{itemize} + \item Amorphisierung/Rekristallisation + \item Kohlenstoffeinbau + \item Diffusion/Sputtern + \end{itemize} + \end{block} + \begin{block}{Versionen} + \begin{itemize} + \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe + \item Version 2 - Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich + \end{itemize} + \end{block} + } + \column{6cm} + \includegraphics[width=6cm]{gitter_oZ.eps} + \begin{center} + \scriptsize{Unterteilung des Targets} + \end{center} + \end{columns} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Simulation} \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen} \begin{columns} - \column{5.5cm} - \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps} - {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.} \column{5.5cm} \includegraphics[width=5.5cm]{trim_impl2.eps} {\scriptsize SRIM 2003.26, Implantationsprofil,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.} + \column{5.5cm} + \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps} + {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.} \end{columns} \end{frame} @@ -368,11 +464,11 @@ Universit"at Augsburg \end{itemize} \end{block} \pause - \begin{block}{Sputterablauf alle $s$ Schritte} + \begin{block}{Sputterablauf alle $S$ Schritte} \begin{itemize} \pause \item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach Ebene $i-1$\\ - $i \in Z,Z-1,\ldots,2$ + $i = 2,3,\ldots,Z-1,Z$ \pause \item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin \pause @@ -387,16 +483,12 @@ Universit"at Augsburg \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Simulation, Version 1} \begin{block}{Eigenschaften} - \begin{itemize} + \begin{itemize}[<+-| alert@+>] \pause + \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$ \item Linear gen"ahertes Implantations- und Bremskraftprofil - \pause \item Ein W"urfel-Treffer pro Ion - \pause \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit unabh"angig von direkter Nachbarschaft - \pause - \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$ - \pause \item Kein Sputtervorgang \end{itemize} \end{block} @@ -404,20 +496,21 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Erste Simulationen} + \framesubtitle{Erste Simulationen, $s=3 \times 10^5$, $p_c=0$} \begin{center} \includegraphics[width=10cm]{first_sims.eps} \end{center} \pause \scriptsize{ $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\ - $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\ - $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen\\} + \pause + $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen $\rightarrow$ $2$ bzw. $3 \times 10^7$\\ + $\Rightarrow$ kleinere Simulationsparameter $p_b$, $p_c$ und $p_s$\\} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme} + \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme, $p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.003$, $d_v=10$, $d_r=0.5$} \color{red}{Lamellare Strukturen} \begin{center} \includegraphics[width=10cm]{if_cmp3.eps} @@ -430,6 +523,7 @@ Universit"at Augsburg \begin{columns} \column{6cm} \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss.eps} + \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.004$, $d_v=10$} \column{6cm} \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss_ls.eps} \end{columns} @@ -439,7 +533,9 @@ Universit"at Augsburg \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$} \begin{columns} - \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps} + \column{8cm} + \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps} + \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.003$, $d_r=0.5$} \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ls_dv_cmp.eps} \end{columns} \end{frame} @@ -448,7 +544,9 @@ Universit"at Augsburg \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung} \begin{columns} - \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps} + \column{8cm} + \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps} + \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $d_v=10$, $d_r=0.5$} \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ps_einfluss_ls.eps} \begin{center} @@ -489,17 +587,13 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Simulation, Version 2} - \begin{block}{Eigenschaften} + \begin{block}{Eigenschaften}[<+-| alert@+>] \begin{itemize} \pause \item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil - \pause \item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM - \pause \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit abh"angig von direkter Nachbarschaft - \pause \item Tiefenbereich $0 - 700 \, nm$ - \pause \item Sputtervorgang \end{itemize} \end{block} @@ -549,8 +643,9 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung an den Grenzfl"achen zur amorphen Schicht} - \begin{center} \scriptsize{ + \begin{center} + Experiment\\ \begin{tabular}{|c|c|c|} \hline Dosis & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\ @@ -561,8 +656,10 @@ Universit"at Augsburg \hline $3,4 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 14 $at. \%$ & 12 $at. \%$ \\ \hline - \end{tabular}\\ - Experiment\\ + \end{tabular} + \end{center} + \begin{center} + Simulation\\ \begin{tabular}{|c|c|c|c|} \hline Durchl"aufe & \begin{minipage}{2.5cm} \begin{center} "aquivalente Dosis \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\ @@ -575,33 +672,175 @@ Universit"at Augsburg $159 \times 10^6$ & $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 17,28 $at. \%$ & 17,73 $at. \%$ \\ \hline \end{tabular}\\ - Simulation} - \end{center} + \end{center}} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Variation der Simulationsparameter} + \begin{columns} + \column{8.5cm} + \includegraphics[width=8.5cm]{var_sim_paramters.eps} + \column{0.5cm} + \column{3cm} + \scriptsize{ + \[ + \begin{array}{ccl} + p_b & = & 0.01 \\ + p_c & = & 0.001 \\ + p_s & = & 0.0001 \\ + d_r & = & 0.05 \\ + d_v & = & 10^6 \\ + s & = & 158 \times 10^6 + \end{array} + \] + } + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 2} + \begin{itemize} + \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphen Phasen + \item Gute "Ubereinstimmung zwischen Experiment und Simulation (bis auf $30 \, nm$-Shift) + \item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar + \item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen + \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen + \item Variation der Simulationparameter\\ + $\Rightarrow$ Bildungsprozess der amorphen Phasen nachvollziehbar + \end{itemize} +\end{frame} + + \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Herstellung breiter lamellarer Bereiche durch einen zweiten Implantationsschritt} + \begin{columns} + \column{5cm} + \begin{block}{Idee} + \begin{itemize} + \item Grundlage: $180 \, keV$ $C^+$-implantiertes $Si$-Target + \item Target durchgehend kristallin (Implantation bei h"oherer Temperatur) + \item Bestrahlung mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ + \end{itemize} + \end{block} + \column{7cm} + \includegraphics[width=7cm]{carbon_sim.eps} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Nukleares Brmeskraft- und Implantationsprofil von $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$} + \begin{columns} + \column{6cm} + \includegraphics[width=6cm]{nel_2mev.eps} + \begin{center} + Nukleare Bremskraft $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$ + \end{center} + \column{6cm} + \includegraphics[width=6cm]{impl_2mev.eps} + \begin{center} + Implantationsprofil $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$ + \end{center} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen} + \scriptsize{ \begin{center} - \includegraphics[width=9cm]{var_sim_paramters.eps} + Grundlage: $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\ + \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_4_3.eps} \end{center} + } \end{frame} - \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur} +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen} + \scriptsize{ + \begin{center} + Grundlage: $1.1 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\ + \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_1_1.eps} + \end{center} + } +\end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Zweiter Implantationsschritt} + \framesubtitle{Herstellung noch breiterer lamellarer Bereiche durch Mehrfachimplantation} + \begin{columns} + \column{7cm} + \includegraphics[width=7cm]{multiple_impl_cp.eps} + \column{5cm} + \begin{block}{Idee} + \begin{itemize} + \item breite, konstante, kastenf"ormige Verteilung des Kohlenstoffs + \item Mehrfachimplantation, Energien zwischen $180$ und $10 \, keV$ + \item Konzentrationsmaximum: $10 \, at.\%$ + \item Bestrahlung mit $2\, MeV$ $C^+$-Ionen + \end{itemize} + \end{block} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung} + \begin{center} + \includegraphics[width=11cm]{multiple_impl.eps} + \end{center} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung} + \begin{center} + \includegraphics[width=10cm]{multiple_ls.eps} + \end{center} \end{frame} \section{Zusammenfassung und Ausblick} + \subsection{Zusammenfassung} + \begin{frame} \frametitle{Zusammenfassung} + \begin{itemize} + \pause + \item Experimentell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen + \pause + \item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges + \pause + \item Implementierung in einen Monte-Carlo-Simulationscode + \pause + \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experimentellen Befunde + \pause + \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich + \pause + \item Vorhersage zur Herstellung gro"ser Bereiche lamellar geordneter Strukturen + \end{itemize} \end{frame} + \subsection{Ausblick} + \begin{frame} \frametitle{Ausblick} + \begin{itemize} + \pause + \item Simulation: Variation der Ionensorte/Temperatur\\ + \footnotesize{ + $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter vom Materialsystem\\ + $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter von der Temperatur} + \pause + \normalsize{ + \item Experimentell: "Uberpr"ufung der Vorhersage + } + \end{itemize} \end{frame} \begin{frame}