X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Ftalk%2Ftalk_german.tex;h=28359daaeb97976e2d08fae6fb61847e1441f5de;hp=8d4b5defc70cf42ae7b2021d5dc61ea3c8888574;hb=db6d03cfea7833dfa391d033bb2b04e40d3f79c5;hpb=a8ed2d9489325de43f5a706c45a995089e30e418 diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex index 8d4b5de..28359da 100644 --- a/nlsop/talk/talk_german.tex +++ b/nlsop/talk/talk_german.tex @@ -94,9 +94,9 @@ Universit"at Augsburg \framesubtitle{Selbstorganisation} \begin{columns} \column{4.5cm} - \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh}} - \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg}} - \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2}} + \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh.eps}} + \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg.eps}} + \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2.eps}} \column{6.5cm} \begin{enumerate} \item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache @@ -291,7 +291,7 @@ Universit"at Augsburg \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallsiation} \begin{block}{Rekristallisationswahrscheinlichkeit} \[ - p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( \frac{1 - \sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big) + p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( 1 - \frac{\sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big) \] mit\\ \[ @@ -309,7 +309,6 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Simulation} \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation} - \pause \begin{block}{Sto"skoordinaten} \begin{itemize} \item $x,y$ gleichverteilt @@ -384,6 +383,25 @@ Universit"at Augsburg \subsection{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe} +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Simulation, Version 1} + \begin{block}{Eigenschaften} + \begin{itemize} + \pause + \item Linear gen"ahertes Implantations- und Bremskraftprofil + \pause + \item Ein W"urfel-Treffer pro Ion + \pause + \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit unabh"angig von direkter Nachbarschaft + \pause + \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$ + \pause + \item Kein Sputtervorgang + \end{itemize} + \end{block} +\end{frame} + \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Erste Simulationen} @@ -420,19 +438,27 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$} - \begin{center} - \includegraphics[width=10cm]{low_to_high_dv.eps} - %\includegraphics[width=10cm]{ls_dv_cmp.eps} - \end{center} + \begin{columns} + \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps} + \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ls_dv_cmp.eps} + \end{columns} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung} - \begin{center} - \includegraphics[width=10cm]{high_to_low_a.eps} - %\includegraphics[width=10cm]{ps_einfluss_ls.eps} - \end{center} + \begin{columns} + \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps} + \column{4cm} + \includegraphics[width=4cm]{ps_einfluss_ls.eps} + \begin{center} + \scriptsize{ + a) $p_s=0.002$\\ + b) $p_s=0.003$\\ + c) $p_s=0.004$\\ + } + \end{center} + \end{columns} \end{frame} \begin{frame} @@ -444,11 +470,121 @@ Universit"at Augsburg \end{columns} \end{frame} - \subsection{Simulation "uber den gesamten Tiefenbereich} +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 1} + \begin{itemize} + \item Modell/Simulation reproduziert die Bildung geordneter Lamellenstrukturen + \item Bildungsprozess nachvollziehbar durch die Simulation + \item hohe Anzahl an Simulationsdurchl"aufen,\\ + kleine Amorphisierungswahrscheinlichkeiten + \item Diffusion essentiell, insbesondere die Diffusion in $z$-Richtung + \item hoher Beitrag durch kohlenstoffinduzierte Amorphisierung + \item Kohlenstoffverteilung im Einklang mit EFTEM-Aufnahme + \end{itemize} +\end{frame} + + \subsection{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Simulation, Version 2} + \begin{block}{Eigenschaften} + \begin{itemize} + \pause + \item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil + \pause + \item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM + \pause + \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit abh"angig von direkter Nachbarschaft + \pause + \item Tiefenbereich $0 - 700 \, nm$ + \pause + \item Sputtervorgang + \end{itemize} + \end{block} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis} + \begin{center} + \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng1-2.eps} + \end{center} +\end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis} + \begin{center} + \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng2-2.eps} + \end{center} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis} + \begin{columns} + \column{6cm} + \includegraphics[width=6cm]{position_al.eps} + \begin{center} + {\scriptsize Simulation} + \end{center} + \column{6cm} + \includegraphics[width=6cm]{a-d.eps} + \begin{center} + {\scriptsize Experiment} + \end{center} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung} + \begin{center} + \includegraphics[height=6.5cm]{ac_cconc_ver2_new_pres.eps} + \end{center} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung an den Grenzfl"achen zur amorphen Schicht} + \begin{center} + \scriptsize{ + \begin{tabular}{|c|c|c|} + \hline + Dosis & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\ + \hline + $2,1 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 16 $at. \%$ & 13 $at. \%$ \\ + \hline + $3,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 13 $at. \%$ & 14 $at. \%$ \\ + \hline + $3,4 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 14 $at. \%$ & 12 $at. \%$ \\ + \hline + \end{tabular}\\ + Experiment\\ + \begin{tabular}{|c|c|c|c|} + \hline + Durchl"aufe & \begin{minipage}{2.5cm} \begin{center} "aquivalente Dosis \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\ + + \hline + $80 \times 10^6$ & $2,16 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,21 $at. \%$ & 16,62 $at. \%$ \\ + \hline + $120 \times 10^6$ & $3,25 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,80 $at. \%$ & 17,67 $at. \%$ \\ + \hline + $159 \times 10^6$ & $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 17,28 $at. \%$ & 17,73 $at. \%$ \\ + \hline + \end{tabular}\\ + Simulation} + \end{center} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Variation der Simulationsparameter} + \begin{center} + \includegraphics[width=9cm]{var_sim_paramters.eps} + \end{center} \end{frame} \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur}