X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Ftalk%2Ftalk_german.tex;h=5776ef70c71080295765d9f3fdabd35bc2333dd2;hp=18ead67c157cd63c34d1689856141f808e3c7859;hb=f87e83a61dd8e8a104b4c77eab90bdeb28bf0e80;hpb=23fe0c25222418886232bbd8a447845a9eaa6c58

diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index 18ead67..5776ef7 100644
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -94,9 +94,9 @@ Universit"at Augsburg
   \framesubtitle{Selbstorganisation}
   \begin{columns}
     \column{4.5cm}
-      \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh}}
-      \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg}}
-      \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2}}
+      \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh.eps}}
+      \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg.eps}}
+      \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2.eps}}
     \column{6.5cm}
       \begin{enumerate}
         \item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache
@@ -203,16 +203,19 @@ Universit"at Augsburg
     \begin{itemize}
       \pause
       \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
-            $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
+            $\rightarrow$ {\bf Nukleation} sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
       \pause
-      \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$\\
-            $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
+      \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $3C-SiC$ und $c-Si$\\
+            $\rightarrow$ Ausscheidungen sind {\bf amorph}
       \pause
-      \item Geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
-            $\rightarrow$ laterale Druckspannungen
+      \item $20 - 30\,\%$geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
+            $\rightarrow$ laterale {\bf Druckspannungen} auf Umgebung
       \pause
-      \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff\\
-            $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$
+      \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten\\
+            $\rightarrow$ {\bf Diffusion} von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
+      \pause
+      \item Druckspannungen\\
+            $\rightarrow$ {\bf spannungsunterst"utzte Amorphisierung} zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
     \end{itemize}}
 \end{frame}
 
@@ -291,7 +294,7 @@ Universit"at Augsburg
   \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallsiation}
   \begin{block}{Rekristallisationswahrscheinlichkeit}
     \[
-    p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( \frac{1 - \sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big)
+    p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( 1 - \frac{\sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big)
     \]
     mit\\
     \[
@@ -309,7 +312,6 @@ Universit"at Augsburg
 \begin{frame}
   \frametitle{Simulation}
   \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
-  \pause
   \begin{block}{Sto"skoordinaten}
     \begin{itemize}
       \item $x,y$ gleichverteilt
@@ -384,6 +386,25 @@ Universit"at Augsburg
 
   \subsection{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe}
 
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Simulation, Version 1}
+  \begin{block}{Eigenschaften}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Linear gen"ahertes Implantations- und Bremskraftprofil
+      \pause
+      \item Ein W"urfel-Treffer pro Ion
+      \pause
+      \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit unabh"angig von direkter Nachbarschaft
+      \pause
+      \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$
+      \pause
+      \item Kein Sputtervorgang
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Erste Simulationen}
@@ -394,7 +415,7 @@ Universit"at Augsburg
   \scriptsize{
   $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\
   $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\
-  $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen}
+  $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen\\}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
@@ -410,8 +431,8 @@ Universit"at Augsburg
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsrate $d_r$}
   \begin{columns}
-    \column{5cm}
-      \includegraphics[width=3cm]{diff_einfluss.eps}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss.eps}
     \column{6cm}
       \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss_ls.eps}
   \end{columns}
@@ -420,52 +441,290 @@ Universit"at Augsburg
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$}
+  \begin{columns}
+    \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps}
+    \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ls_dv_cmp.eps}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung}
+  \begin{columns}
+    \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps}
+    \column{4cm}
+      \includegraphics[width=4cm]{ps_einfluss_ls.eps}
+      \begin{center}
+      \scriptsize{
+      a) $p_s=0.002$\\
+      b) $p_s=0.003$\\
+      c) $p_s=0.004$\\
+      }
+      \end{center}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
+  \begin{columns}
+    \column{5cm} \includegraphics[width=5cm]{97_98_ng.eps}
+    \column{7cm} \includegraphics[width=7cm]{ac_cconc_ver1.eps}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 1}
+  \begin{itemize}
+    \item Modell/Simulation reproduziert die Bildung geordneter Lamellenstrukturen
+    \item Bildungsprozess nachvollziehbar durch die Simulation
+    \item hohe Anzahl an Simulationsdurchl"aufen,\\
+          kleine Amorphisierungswahrscheinlichkeiten
+    \item Diffusion essentiell, insbesondere die Diffusion in $z$-Richtung
+    \item hoher Beitrag durch kohlenstoffinduzierte Amorphisierung
+    \item Kohlenstoffverteilung im Einklang mit EFTEM-Aufnahme
+  \end{itemize}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Simulation, Version 2}
+  \begin{block}{Eigenschaften}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil
+      \pause
+      \item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM
+      \pause
+      \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit abh"angig von direkter Nachbarschaft
+      \pause
+      \item Tiefenbereich $0 - 700 \, nm$
+      \pause
+      \item Sputtervorgang
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
   \begin{center}
-    \includegraphics[width=10cm]{low_to_high_dv.eps}
-    %\includegraphics[width=10cm]{ls_dv_cmp.eps}
+    \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng1-2.eps}
   \end{center}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
-  \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung}
+  \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
   \begin{center}
-    \includegraphics[width=10cm]{high_to_low_a.eps}
-    %\includegraphics[width=10cm]{ps_einfluss_ls.eps}
+    \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng2-2.eps}
   \end{center}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
-  \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
+  \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
   \begin{columns}
-    \column{3.5cm} \includegraphics[width=4.5cm]{97_98_ng.eps}
-    \column{7.5cm} \includegraphics[width=6.5cm]{ac_cconc_ver1.eps}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{position_al.eps}
+      \begin{center}
+      {\scriptsize Simulation}
+      \end{center}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{a-d.eps}
+      \begin{center}
+      {\scriptsize Experiment}
+      \end{center}
   \end{columns}
 \end{frame}
 
-  \subsection{Simulation "uber den gesamten Tiefenbereich}
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
+  \begin{center}
+     \includegraphics[height=6.5cm]{ac_cconc_ver2_new_pres.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
-  \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
+  \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung an den Grenzfl"achen zur amorphen Schicht}
+      \scriptsize{
+      \begin{center}
+      Experiment\\
+      \begin{tabular}{|c|c|c|}
+        \hline
+	Dosis & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
+	\hline
+	$2,1 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 16 $at. \%$ & 13 $at. \%$ \\
+        \hline
+        $3,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 13 $at. \%$ & 14 $at. \%$ \\
+        \hline
+        $3,4 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 14 $at. \%$ & 12 $at. \%$ \\
+        \hline
+      \end{tabular}
+      \end{center}
+      \begin{center}
+      Simulation\\
+      \begin{tabular}{|c|c|c|c|}
+        \hline
+	Durchl"aufe & \begin{minipage}{2.5cm} \begin{center} "aquivalente Dosis \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
+
+	\hline
+	$80 \times 10^6$ & $2,16 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,21 $at. \%$ & 16,62 $at. \%$ \\
+        \hline
+        $120 \times 10^6$ & $3,25 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,80 $at. \%$ & 17,67 $at. \%$ \\
+        \hline
+        $159 \times 10^6$ & $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 17,28 $at. \%$ & 17,73 $at. \%$ \\
+        \hline
+      \end{tabular}\\
+      \end{center}}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Variation der Simulationsparameter}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=9cm]{var_sim_paramters.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 2}
+  \begin{itemize}
+    \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphern Phasen
+    \item Gute "Ubereinstimmung zwischen Experiment und Simulation (bis auf $30 \, nm$-Shift)
+    \item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar
+    \item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen
+    \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen
+  \end{itemize} 
 \end{frame}
 
   \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
-  \framesubtitle{Zweiter Implantationsschritt}
+  \framesubtitle{Herstellung breiter lamellarer Bereiche durch einen zweiten Implantationsschritt}
+  \begin{columns}
+    \column{5cm}
+      \begin{block}{Idee}
+        \begin{itemize}
+	  \item Grundlage: $180 \, keV$ $C^+$-implantiertes $Si$-Target
+	  \item Target durchgehend kristallin (Implantation bei h"oherer Temperatur)
+	  \item Bestrahlung mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$
+	\end{itemize}
+      \end{block}
+    \column{7cm}
+      \includegraphics[width=7cm]{carbon_sim.eps}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Nukleares Brmeskraft- und Implantationsprofil von $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$}
+  \begin{columns}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{nel_2mev.eps}
+      \begin{center}
+      Nukleare Bremskraft $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$
+      \end{center}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{impl_2mev.eps}
+      \begin{center}
+      Implantationsprofil $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$
+      \end{center}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen}
+  \scriptsize{
+  \begin{center}
+    Grundlage: $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\
+    \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_4_3.eps}
+  \end{center}
+  }
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen}
+  \scriptsize{
+  \begin{center}
+    Grundlage: $1.1 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\
+    \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_1_1.eps}
+  \end{center}
+  }
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Herstellung noch breiterer lamellarer Bereiche durch Mehrfachimplantation}
+  \begin{columns}
+    \column{7cm}
+      \includegraphics[width=7cm]{multiple_impl_cp.eps}
+    \column{5cm}
+      \begin{block}{Idee}
+        \begin{itemize}
+          \item breite, konstante, kastenf"ormige Verteilung des Kohlenstoffs
+          \item Mehrfachimplantation, Energien zwischen $180$ und $10 \, keV$
+	  \item Konzentrationsmaximum: $10 \, at.\%$
+          \item Bestrahlung mit $2\, MeV$ $C^+$-Ionen
+        \end{itemize}
+      \end{block}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=11cm]{multiple_impl.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{multiple_ls.eps}
+  \end{center}
 \end{frame}
 
 \section{Zusammenfassung und Ausblick}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Zusammenfassung}
+  \begin{itemize}
+    \pause
+    \item Experiemntell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen
+    \pause
+    \item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges
+    \pause
+    \item Implementierung in einen Monte-Carlo-Simulationscode
+    \pause
+    \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experiemntellen Befunde
+    \pause
+    \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich
+    \item Vorhersage zur Herstellung gro"ser Bereiche lamellar geordneter Strukturen
+  \end{itemize}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ausblick}
+  \begin{itemize}
+    \pause
+    \item Simulation: Variation der Ionensorte/Temperatur\\
+          $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter vom Materialsystem\\
+	  $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter von der Temperatur
+    \pause
+    \item Experimentell: "Uberpr"ufung der Vorhersage
+  \end{itemize}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}