X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Ftalk%2Ftalk_german.tex;h=8d4b5defc70cf42ae7b2021d5dc61ea3c8888574;hp=c3ff683c356cb6fc3dc37289e1413aa55d0d773d;hb=a8ed2d9489325de43f5a706c45a995089e30e418;hpb=9ba13611976b2509471b4c2bd1c78371ec0635b2

diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index c3ff683..8d4b5de 100644
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -4,6 +4,7 @@
 {
 %\usetheme{Berkeley}
 \usetheme{Warsaw}
+%\usetheme{Singapore}
 \setbeamercovered{transparent}
 }
 \usepackage{verbatim}
@@ -52,9 +53,9 @@ Universit"at Augsburg
   \tableofcontents%[pausesections]
 \end{frame}
 
-\section{Einf"uhrung}
+\section{Einf"uhrung und Grundlagen}
 
-  \subsection{Ionenimplantation}
+  \subsection{Einf"uhrung}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Einf"uhrung}
@@ -88,8 +89,6 @@ Universit"at Augsburg
   \end{block}
 \end{frame}
 
-  \subsection{Selbstorganisation}
-
 \begin{frame}
   \frametitle{Einf"uhrung}
   \framesubtitle{Selbstorganisation}
@@ -107,9 +106,7 @@ Universit"at Augsburg
   \end{columns}
 \end{frame}
 
-\section{Grundlagen}
-
-  \subsection{Abbremsung der Ionen}
+  \subsection{Ion-Festk"orper-Wechselwirkung}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Grundlagen}
@@ -157,4 +154,331 @@ Universit"at Augsburg
   \end{block}
 \end{frame}
 
+\section{Experimentelle Befunde und Modell}
+
+  \subsection{Experimentelle Befunde}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Experimentelle Befunde}
+  \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
+    \begin{center}
+      \includegraphics[height=5.5cm]{k393abild1_pres.eps}
+    \end{center}
+    \begin{center}
+      {\scriptsize\bf Hellfeld-TEM-Abbildung: $180 \, keV \, C^+ \rightarrow (100)Si$, $T = 150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $D = 4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
+    \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Experimentelle Befunde}
+  \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
+    \begin{columns}
+      \column{5.5cm}
+        \includegraphics[width=5.5cm]{a-d.eps}
+        {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$}
+      \column{5.5cm}
+        \vspace{0.5cm}
+        \includegraphics[width=5.5cm]{a-t.eps}
+        {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Temperatur f"ur die Dosis $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
+    \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Experimentelle Befunde}
+  \framesubtitle{Kohlenstoffsegregation}
+    \begin{center}
+      \includegraphics[width=10cm]{eftem.eps}
+        {\scriptsize Hellfeld-TEM- und Elementverteilungsaufnahme. $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$, $T=200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$.}
+    \end{center}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Modell}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Modell}
+    \begin{center}
+      \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps}
+    \end{center}
+    \scriptsize{
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
+            $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
+      \pause
+      \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$\\
+            $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
+      \pause
+      \item Geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
+            $\rightarrow$ laterale Druckspannungen
+      \pause
+      \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff\\
+            $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$
+    \end{itemize}}
+\end{frame}
+
+\section{Simulation und Ergebnisse}
+
+  \subsection{Simulation}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \begin{block}{Name}
+  {\bf N}ano {\bf L}amellar {\bf S}elbst{\bf o}rganisations{\bf p}rozess
+  \end{block}
+  \begin{block}{Grober Ablauf}
+    \begin{itemize}
+      \item Amorphisierung/Rekristallisation
+      \item Kohlenstoffeinbau
+      \item Diffusion/Sputtern
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+  \begin{block}{Versionen}
+    \begin{itemize}
+      \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe
+      \item Version 2 - Simulation "uber den ganzen Tiefenbereich
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Unterteilung des Targets}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=8cm]{gitter_oZ.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen}
+  \begin{columns}
+    \column{5.5cm}
+      \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps}
+      {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
+    \column{5.5cm}
+      \includegraphics[width=5.5cm]{trim_impl2.eps}
+      {\scriptsize SRIM 2003.26, Implantationsprofil,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=7cm]{trim_coll.eps}\\
+  \end{center}
+    {\scriptsize $\Rightarrow$ Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}\\
+    {\scriptsize $\Rightarrow$ Mittlere W"urfel-Trefferzahl eines Ions}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
+  \begin{block}{Amorphisierungswahrscheinlichkeit}
+    \[
+    p_{c \rightarrow a}(\vec{r}) = \pause \color{green}{p_b} \pause + \color{blue}{p_c c_C(\vec{r})} \pause + \color{red}{\sum_{\textrm{amorphe Nachbarn}} \frac{p_s c_C(\vec{r'})}{(r-r')^2}}
+    \]
+  \begin{itemize}
+    \onslide<2-> \item \color{green}{ballistische Amorphisierung}
+    \onslide<3-> \item \color{blue}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}
+    \onslide<4-> \item \color{red}{spannungsuntert"utzte Amorphisierung}
+  \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallsiation}
+  \begin{block}{Rekristallisationswahrscheinlichkeit}
+    \[
+    p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( \frac{1 - \sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big)
+    \]
+    mit\\
+    \[
+    \delta(\vec{r}) = \left\{
+      \begin{array}{ll}
+        1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
+        0 & \textrm{sonst} \\
+      \end{array}
+    \right.
+    \]
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
+  \pause
+  \begin{block}{Sto"skoordinaten}
+    \begin{itemize}
+      \item $x,y$ gleichverteilt
+      \item $z$ entsprechend nuklearer Bremskraft
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+  \begin{block}{Ablauf}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Ausw"urfeln der Sto"skoordinaten
+      \pause
+      \item Berechnung von $p_{c \rightarrow a}$ bzw. $p_{a \rightarrow c}$
+      \pause
+      \item Zufallszahl $\rightarrow$ Amorphisierung/Rekristallisation
+      \pause
+      \item Wiederholung f"ur mittlere Anzahl der Treffer des Ions
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Kohlenstoffeinbau}
+  \begin{block}{Koordinaten f"ur Kohlenstoffeinbau}
+    \begin{itemize}
+      \item $x,y$ gleichverteilt
+      \item $z$ entsprechend Implantationsprofil
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+  \begin{block}{Ablauf}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Ausw"urfeln der Koordinaten f"ur Kohlenstoffeinbau
+      \pause
+      \item Lokale Erh"ohung der Anzahl der Kohlenstoffatome
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Diffusion/Sputtern}
+  \begin{block}{Ablauf der Diffusion alle $d_v$ Schritte}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Gehe alle Zellen durch
+      \pause
+      \item Wenn Zelle amorph
+            \begin{itemize}
+	      \pause
+	      \item Gehe alle Nachbarzellen durch
+	      \pause
+	      \item Wenn Nachbarzelle kristallin\\
+	            \pause
+	            $\Rightarrow$ Transferiere den Anteil $d_r$ des Kohlenstoffs
+	    \end{itemize}
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+  \pause
+  \begin{block}{Sputterablauf alle $s$ Schritte}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach Ebene $i-1$\\
+            $i \in Z,Z-1,\ldots,2$
+      \pause
+      \item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin
+      \pause
+      \item Setze den Kohlenstoff jedes Volumens in Ebene $Z$ auf Null
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Erste Simulationen}
+  \begin{center}
+  \includegraphics[width=10cm]{first_sims.eps}
+  \end{center}
+  \pause
+  \scriptsize{
+  $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\
+  $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\
+  $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen\\}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme}
+  \color{red}{Lamellare Strukturen}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{if_cmp3.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsrate $d_r$}
+  \begin{columns}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss.eps}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss_ls.eps}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{low_to_high_dv.eps}
+    %\includegraphics[width=10cm]{ls_dv_cmp.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{high_to_low_a.eps}
+    %\includegraphics[width=10cm]{ps_einfluss_ls.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
+  \begin{columns}
+    \column{5cm} \includegraphics[width=5cm]{97_98_ng.eps}
+    \column{7cm} \includegraphics[width=7cm]{ac_cconc_ver1.eps}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Simulation "uber den gesamten Tiefenbereich}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Zweiter Implantationsschritt}
+\end{frame}
+
+\section{Zusammenfassung und Ausblick}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Zusammenfassung}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ausblick}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Danksagung}
+  \begin{itemize}
+    \item Prof. Dr. Bernd Stritzker
+    \item PD Volker Eyert
+    \item PD J"org Lindner
+    \item Dipl. Phys. Maik H"aberlen
+    \item Dipl. Phys. Ralf Utermann
+    \item EP4 + Diplomanden
+  \end{itemize}
+\end{frame}
+
+
 \end{document}