X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Ftalk%2Ftalk_german.tex;h=9195da5604360c8ca7850cb4b715a9e863dc7035;hp=5776ef70c71080295765d9f3fdabd35bc2333dd2;hb=3deb73ac6b14924ff7ccae535ee03d9f42a14203;hpb=f87e83a61dd8e8a104b4c77eab90bdeb28bf0e80 diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex index 5776ef7..9195da5 100644 --- a/nlsop/talk/talk_german.tex +++ b/nlsop/talk/talk_german.tex @@ -63,7 +63,7 @@ Universit"at Augsburg \begin{block}{Funktionsweise} \begin{itemize} \item Ionisation des Atoms/Molek"uls - \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$) + \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($10^2 \, eV - \, GeV$) \item Bestrahlung eines Festk"orpers \end{itemize} \end{block} @@ -142,7 +142,7 @@ Universit"at Augsburg \pause \item Energieverlust durch St"o"se \pause - \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_d$ + \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_k$ \pause \item Abbildung von Zufallszahlen auf: \begin{itemize} @@ -228,27 +228,29 @@ Universit"at Augsburg \begin{block}{Name} {\bf N}ano {\bf L}amellar {\bf S}elbst{\bf o}rganisations{\bf p}rozess \end{block} - \begin{block}{Grober Ablauf} - \begin{itemize} - \item Amorphisierung/Rekristallisation - \item Kohlenstoffeinbau - \item Diffusion/Sputtern - \end{itemize} - \end{block} - \begin{block}{Versionen} - \begin{itemize} - \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe - \item Version 2 - Simulation "uber den ganzen Tiefenbereich - \end{itemize} - \end{block} -\end{frame} - -\begin{frame} - \frametitle{Simulation} - \framesubtitle{Unterteilung des Targets} - \begin{center} - \includegraphics[width=8cm]{gitter_oZ.eps} - \end{center} + \begin{columns} + \column{6cm} + \scriptsize{ + \begin{block}{Grober Ablauf} + \begin{itemize} + \item Amorphisierung/Rekristallisation + \item Kohlenstoffeinbau + \item Diffusion/Sputtern + \end{itemize} + \end{block} + \begin{block}{Versionen} + \begin{itemize} + \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe + \item Version 2 - Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich + \end{itemize} + \end{block} + } + \column{6cm} + \includegraphics[width=6cm]{gitter_oZ.eps} + \begin{center} + \scriptsize{Unterteilung des Targets} + \end{center} + \end{columns} \end{frame} \begin{frame} @@ -371,11 +373,11 @@ Universit"at Augsburg \end{itemize} \end{block} \pause - \begin{block}{Sputterablauf alle $s$ Schritte} + \begin{block}{Sputterablauf alle $S$ Schritte} \begin{itemize} \pause \item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach Ebene $i-1$\\ - $i \in Z,Z-1,\ldots,2$ + $i = 2,3,\ldots,Z-1,Z$ \pause \item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin \pause @@ -407,7 +409,7 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Erste Simulationen} + \framesubtitle{Erste Simulationen, $s=3 \times 10^5$, $p_c=0$} \begin{center} \includegraphics[width=10cm]{first_sims.eps} \end{center} @@ -415,12 +417,12 @@ Universit"at Augsburg \scriptsize{ $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\ $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\ - $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen\\} + $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen $\rightarrow$ $2$ bzw. $3 \times 10^7$\\} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme} + \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme, $p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.003$, $d_v=10$, $d_r=0.5$} \color{red}{Lamellare Strukturen} \begin{center} \includegraphics[width=10cm]{if_cmp3.eps} @@ -433,6 +435,7 @@ Universit"at Augsburg \begin{columns} \column{6cm} \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss.eps} + \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.004$, $d_v=10$} \column{6cm} \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss_ls.eps} \end{columns} @@ -442,7 +445,9 @@ Universit"at Augsburg \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$} \begin{columns} - \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps} + \column{8cm} + \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps} + \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.003$, $d_r=0.5$} \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ls_dv_cmp.eps} \end{columns} \end{frame} @@ -451,7 +456,9 @@ Universit"at Augsburg \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung} \begin{columns} - \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps} + \column{8cm} + \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps} + \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $d_v=10$, $d_r=0.5$} \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ps_einfluss_ls.eps} \begin{center} @@ -587,20 +594,35 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Variation der Simulationsparameter} - \begin{center} - \includegraphics[width=9cm]{var_sim_paramters.eps} - \end{center} + \begin{columns} + \column{8.5cm} + \includegraphics[width=8.5cm]{var_sim_paramters.eps} + \column{0.5cm} + \column{3cm} + \scriptsize{ + \[ + \begin{array}{ccl} + p_b & = & 0.01 \\ + p_c & = & 0.001 \\ + p_s & = & 0.0001 \\ + d_r & = & 0.05 \\ + d_v & = & 10^6 \\ + s & = & 158 \times 10^6 + \end{array} + \] + } + \end{columns} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 2} \begin{itemize} - \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphern Phasen + \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphen Phasen \item Gute "Ubereinstimmung zwischen Experiment und Simulation (bis auf $30 \, nm$-Shift) \item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar \item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen - \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen + \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen \end{itemize} \end{frame} @@ -698,32 +720,40 @@ Universit"at Augsburg \section{Zusammenfassung und Ausblick} + \subsection{Zusammenfassung} + \begin{frame} \frametitle{Zusammenfassung} \begin{itemize} \pause - \item Experiemntell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen + \item Experimentell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen \pause \item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges \pause \item Implementierung in einen Monte-Carlo-Simulationscode \pause - \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experiemntellen Befunde + \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experimentellen Befunde + \pause + \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich \pause - \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich \item Vorhersage zur Herstellung gro"ser Bereiche lamellar geordneter Strukturen \end{itemize} \end{frame} + \subsection{Ausblick} + \begin{frame} \frametitle{Ausblick} \begin{itemize} \pause \item Simulation: Variation der Ionensorte/Temperatur\\ + \footnotesize{ $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter vom Materialsystem\\ - $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter von der Temperatur + $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter von der Temperatur} \pause + \normalsize{ \item Experimentell: "Uberpr"ufung der Vorhersage + } \end{itemize} \end{frame}