X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Ftalk%2Ftalk_german.tex;h=bf1aa49663b142fa00c8aa8e2a17d084dbefe769;hp=167850d86c9bb0353fc0b4687046125404989836;hb=63e9641c8f78c444356c53720e33282c37a0eddf;hpb=3cc825ac1a479631093163b2d094aaf274b4fc24 diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex index 167850d..bf1aa49 100644 --- a/nlsop/talk/talk_german.tex +++ b/nlsop/talk/talk_german.tex @@ -63,7 +63,7 @@ Universit"at Augsburg \begin{block}{Funktionsweise} \begin{itemize} \item Ionisation des Atoms/Molek"uls - \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$) + \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($10^2 \, eV - \, GeV$) \item Bestrahlung eines Festk"orpers \end{itemize} \end{block} @@ -142,7 +142,7 @@ Universit"at Augsburg \pause \item Energieverlust durch St"o"se \pause - \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_d$ + \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_k$ \pause \item Abbildung von Zufallszahlen auf: \begin{itemize} @@ -371,11 +371,11 @@ Universit"at Augsburg \end{itemize} \end{block} \pause - \begin{block}{Sputterablauf alle $s$ Schritte} + \begin{block}{Sputterablauf alle $S$ Schritte} \begin{itemize} \pause \item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach Ebene $i-1$\\ - $i \in Z,Z-1,\ldots,2$ + $i = 2,3,\ldots,Z-1,Z$ \pause \item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin \pause @@ -407,7 +407,7 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Erste Simulationen} + \framesubtitle{Erste Simulationen, $s=3 \times 10^5$, $p_c=0$} \begin{center} \includegraphics[width=10cm]{first_sims.eps} \end{center} @@ -415,12 +415,12 @@ Universit"at Augsburg \scriptsize{ $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\ $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\ - $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen\\} + $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen $\rightarrow$ $2$ bzw. $3 \times 10^7$\\} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme} + \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme, $p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.003$, $d_v=10$, $d_r=0.5$} \color{red}{Lamellare Strukturen} \begin{center} \includegraphics[width=10cm]{if_cmp3.eps} @@ -433,6 +433,7 @@ Universit"at Augsburg \begin{columns} \column{6cm} \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss.eps} + \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.004$, $d_v=10$} \column{6cm} \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss_ls.eps} \end{columns} @@ -442,7 +443,9 @@ Universit"at Augsburg \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$} \begin{columns} - \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps} + \column{8cm} + \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps} + \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $p_s=0.003$, $d_r=0.5$} \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ls_dv_cmp.eps} \end{columns} \end{frame} @@ -451,7 +454,9 @@ Universit"at Augsburg \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung} \begin{columns} - \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps} + \column{8cm} + \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps} + \scriptsize{$p_b=0$, $p_c=0.0001$, $d_v=10$, $d_r=0.5$} \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ps_einfluss_ls.eps} \begin{center} @@ -552,8 +557,9 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung an den Grenzfl"achen zur amorphen Schicht} - \begin{center} \scriptsize{ + \begin{center} + Experiment\\ \begin{tabular}{|c|c|c|} \hline Dosis & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\ @@ -564,8 +570,10 @@ Universit"at Augsburg \hline $3,4 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 14 $at. \%$ & 12 $at. \%$ \\ \hline - \end{tabular}\\ - Experiment\\ + \end{tabular} + \end{center} + \begin{center} + Simulation\\ \begin{tabular}{|c|c|c|c|} \hline Durchl"aufe & \begin{minipage}{2.5cm} \begin{center} "aquivalente Dosis \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\ @@ -578,33 +586,173 @@ Universit"at Augsburg $159 \times 10^6$ & $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 17,28 $at. \%$ & 17,73 $at. \%$ \\ \hline \end{tabular}\\ - Simulation} - \end{center} + \end{center}} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} \framesubtitle{Variation der Simulationsparameter} + \begin{columns} + \column{8.5cm} + \includegraphics[width=8.5cm]{var_sim_paramters.eps} + \column{0.5cm} + \column{3cm} + \scriptsize{ + \[ + \begin{array}{ccl} + p_b & = & 0.01 \\ + p_c & = & 0.001 \\ + p_s & = & 0.0001 \\ + d_r & = & 0.05 \\ + d_v & = & 10^6 \\ + s & = & 158 \times 10^6 + \end{array} + \] + } + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 2} + \begin{itemize} + \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphern Phasen + \item Gute "Ubereinstimmung zwischen Experiment und Simulation (bis auf $30 \, nm$-Shift) + \item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar + \item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen + \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen + \end{itemize} +\end{frame} + + \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Herstellung breiter lamellarer Bereiche durch einen zweiten Implantationsschritt} + \begin{columns} + \column{5cm} + \begin{block}{Idee} + \begin{itemize} + \item Grundlage: $180 \, keV$ $C^+$-implantiertes $Si$-Target + \item Target durchgehend kristallin (Implantation bei h"oherer Temperatur) + \item Bestrahlung mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ + \end{itemize} + \end{block} + \column{7cm} + \includegraphics[width=7cm]{carbon_sim.eps} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Nukleares Brmeskraft- und Implantationsprofil von $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$} + \begin{columns} + \column{6cm} + \includegraphics[width=6cm]{nel_2mev.eps} + \begin{center} + Nukleare Bremskraft $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$ + \end{center} + \column{6cm} + \includegraphics[width=6cm]{impl_2mev.eps} + \begin{center} + Implantationsprofil $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$ + \end{center} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen} + \scriptsize{ \begin{center} - \includegraphics[width=9cm]{var_sim_paramters.eps} + Grundlage: $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\ + \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_4_3.eps} \end{center} + } \end{frame} - \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur} +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen} + \scriptsize{ + \begin{center} + Grundlage: $1.1 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\ + \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_1_1.eps} + \end{center} + } +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Herstellung noch breiterer lamellarer Bereiche durch Mehrfachimplantation} + \begin{columns} + \column{7cm} + \includegraphics[width=7cm]{multiple_impl_cp.eps} + \column{5cm} + \begin{block}{Idee} + \begin{itemize} + \item breite, konstante, kastenf"ormige Verteilung des Kohlenstoffs + \item Mehrfachimplantation, Energien zwischen $180$ und $10 \, keV$ + \item Konzentrationsmaximum: $10 \, at.\%$ + \item Bestrahlung mit $2\, MeV$ $C^+$-Ionen + \end{itemize} + \end{block} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung} + \begin{center} + \includegraphics[width=11cm]{multiple_impl.eps} + \end{center} +\end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Zweiter Implantationsschritt} + \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung} + \begin{center} + \includegraphics[width=10cm]{multiple_ls.eps} + \end{center} \end{frame} \section{Zusammenfassung und Ausblick} + \subsection{Zusammenfassung} + \begin{frame} \frametitle{Zusammenfassung} + \begin{itemize} + \pause + \item Experiemntell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen + \pause + \item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges + \pause + \item Implementierung in einen Monte-Carlo-Simulationscode + \pause + \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experiemntellen Befunde + \pause + \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich + \pause + \item Vorhersage zur Herstellung gro"ser Bereiche lamellar geordneter Strukturen + \end{itemize} \end{frame} + \subsection{Ausblick} + \begin{frame} \frametitle{Ausblick} + \begin{itemize} + \pause + \item Simulation: Variation der Ionensorte/Temperatur\\ + \footnotesize{ + $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter vom Materialsystem\\ + $\rightarrow$ Abh"angigkeit der Simulationsparameter von der Temperatur} + \pause + \normalsize{ + \item Experimentell: "Uberpr"ufung der Vorhersage + } + \end{itemize} \end{frame} \begin{frame}