X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Ftalk%2Ftalk_german.tex;h=e479151d8bdc7763c8b47db4f08abd3b105cb7cb;hp=a9c697deee263d9957f9775a92fdbf4755504d45;hb=804ea529c18f55c874ae3b9b18eaaa63eb41bc25;hpb=52f978624ba75134790a0c2dc2a9244653636397

diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index a9c697d..e479151 100644
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -1,5 +1,10 @@
-\documentclass[pdf,hdw]{prosper}
+\documentclass{beamer}
 
+\mode<presentation>
+{
+\usetheme{Warsaw}
+\setbeamercovered{transparent}
+}
 \usepackage{verbatim}
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 \usepackage[latin1]{inputenc}
@@ -7,42 +12,113 @@
 \usepackage{amsmath}
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 \usepackage{aecompl}
-\usepackage{color}
+%\usepackage{color}
 \usepackage{graphicx}
-\graphicspath{{../img/}}
+\graphicspath{{../img}}
 \usepackage{hyperref}
 
-\begin{document}
-
 \title{Vorstellung der Diplomarbeit}
 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
-\author{Frank Zirkelbach}
-\email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik - Universit"at Augsburg}
+\author[F. Zirkelbach]{Frank Zirkelbach \\ \texttt{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}}
+\institute{
+Institut f"ur Physik\\
+Lehrstuhl f"ur Experimentalphysik IV\\
+Universit"at Augsburg
+}
+\pgfdeclareimage[height=1cm]{lst-logo}{Lehrstuhl-Logo.eps}
+\logo{\pgfuseimage{lst-logo}}
+
+\begin{document}
 
-\maketitle
+\begin{frame}
+  \titlepage
+}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{"Uberblick}
+
+\end{frame}
 
-\overlays{7}{
 \begin{slide}{"Uberblick}
-\begin{itemstep}
+\begin{itemize}
   \item Motivation
-  \item Grundlagen der Ionenimplantation
+  \item Grundlagen
   \item Experimentelle Befunde
   \item Das Modell
   \item Die Simulation
   \item Ergebnisse
-  \item Herstellung breter lamellarer Bereiche
+  \item Anwendung
   \item Zusammenfassung
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\overlays{5}{
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Funktionsweise:
+\begin{itemstep}
+ \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
+ \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
+ \item Bestrahlung eines Festk"orpers
 \end{itemstep}
+\FromSlide{4}{$\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten} \\
+\vspace{15pt}
+\FromSlide{5}{
+Industrielle Anwendung:\\
+Dotierung von Halbleiterkristallen}
 \end{slide}}
 
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Vorteile:
+\begin{itemize}
+ \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
+ \item Reproduzierbarkeit
+ \item Homogenit"at
+ \item Schnelligkeit
+ \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
+ \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
 \overlays{3}{
-\begin{slide}{Motivation}
-\begin{itemstep}
- \item Ionenimplantation
- \item Selbstorganisation
- \item Monte-Carlo-Simulation
-\end{itemstep}
+\begin{slide}{Selbstorganisation}
+\begin{tabular}{c}
+  \begin{tabular}{ll}
+    \begin{minipage}{3.5cm}
+      \onlySlide*{1}{\includegraphics[width=3cm]{ripple_bh.eps}}
+      \onlySlide*{2}{\includegraphics[width=3cm]{bin_leg.eps}}
+      \onlySlide*{3}{\includegraphics[width=3cm]{bolse2.eps}}
+    \end{minipage} &
+    \begin{minipage}{7.5cm}
+      \begin{itemstep}
+       \item Entstehung von Riffeln auf der Targetoberfl"ache
+       \item separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
+       \item periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
+      \end{itemstep}
+    \end{minipage}
+  \end{tabular} \\
+%\FromSlide{1}{{\footnotesize 1) R. M. Bradley, J. M. E. Harper. J. Vac. Sci. Technol. A6 (1988) 2390\\}}
+%\FromSlide{2}{{\footnotesize 2) R. A. Enrique, P. Bellon. Phys. Rev. Lett. 60 (1999) 14649\\}}
+%\FromSlide{3}{{\footnotesize 3) W. Bolse, B. Schattat, A. Feyh. Appl. Phys. A 77 (2003) 11\\}}
+\end{tabular}
+\end{slide}}
+
+\overlays{2}{
+\begin{slide}{Grundlagen}
+Abbremsung der Ionen
+  \begin{tabular}{ll}
+    \begin{minipage}[l]{5cm}
+      \onlySlide{1}{$- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( {\red S_n(E)} +$ \ldots}
+      \onlySlide{2}{$- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( {\red S_n(E)} + {\blue S_e(E)} \Big)$}
+    \end{minipage} &
+    \begin{minipage}[l]{6cm}
+      \begin{itemstep}
+        \item {\red nukleare Bremskraft}\\
+              elastischer Sto"s mit Atomkernen des Targets
+        \item {\blue elektronische Bremskraft}\\
+              inelastischer Sto"s mit Elektronen des Targets
+      \end{itemstep}
+    \end{minipage}
+  \end{tabular}
 \end{slide}}