From: hackbard Date: Sun, 6 Nov 2005 21:14:44 +0000 (+0000) Subject: ci often and soon X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=commitdiff_plain;h=1443e681ec6483f0f1ef821e33be61fba6b8e8ff ci often and soon --- diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex index 8181664..58ad976 100644 --- a/nlsop/talk/talk_german.tex +++ b/nlsop/talk/talk_german.tex @@ -4,6 +4,7 @@ { %\usetheme{Berkeley} \usetheme{Warsaw} +%\usetheme{Singapore} \setbeamercovered{transparent} } \usepackage{verbatim} @@ -52,9 +53,9 @@ Universit"at Augsburg \tableofcontents%[pausesections] \end{frame} -\section{Einf"uhrung} +\section{Einf"uhrung und Grundlagen} - \subsection{Ionenimplantation} + \subsection{Einf"uhrung} \begin{frame} \frametitle{Einf"uhrung} @@ -88,8 +89,6 @@ Universit"at Augsburg \end{block} \end{frame} - \subsection{Selbstorganisation} - \begin{frame} \frametitle{Einf"uhrung} \framesubtitle{Selbstorganisation} @@ -107,9 +106,7 @@ Universit"at Augsburg \end{columns} \end{frame} -\section{Grundlagen} - - \subsection{Abbremsung der Ionen} + \subsection{Ion-Festk"orper-Wechselwirkung} \begin{frame} \frametitle{Grundlagen} @@ -157,9 +154,9 @@ Universit"at Augsburg \end{block} \end{frame} -\section{Experimentelle Befunde} +\section{Experimentelle Befunde und Modell} - \subsection[amorphe Phasen]{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen} + \subsection{Experimentelle Befunde} \begin{frame} \frametitle{Experimentelle Befunde} @@ -175,26 +172,105 @@ Universit"at Augsburg \begin{frame} \frametitle{Experimentelle Befunde} \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen} + \begin{columns} + \column{5.5cm} + \includegraphics[width=5.5cm]{a-d.eps} + {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$} + \column{5.5cm} + \includegraphics[width=5.5cm]{a-t.eps} + {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Temperatur f"ur die Dosis $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Experimentelle Befunde} + \framesubtitle{Kohlenstoffsegregation} + \begin{center} + \includegraphics[width=10cm]{eftem.eps} + {\scriptsize Hellfeld-TEM- und Elementverteilungsaufnahme. $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$, $T=200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$.} + \end{center} +\end{frame} + + \subsection{Modell} + +\begin{frame} + \frametitle{Modell} + \begin{center} + \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps} + \end{center} + \begin{itemize} + \pause + \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\ + $rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen + \pause + \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$ + $rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph + \pause + \item Dichtereduktion des amorphen $SiC_x$ + $rightarrow$ laterale Druckspannungen + \pause + \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff + $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$ + \end{itemize} \end{frame} +\section{Simulation und Ergebnisse} + + \subsection{Simulation} + +\begin{frame} + \frametitle{Simulation} + \framesubtitle{Unterteilung des Targets} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Simulation} + \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Simulation} + \framesubtitle{Algorithmus - Kohlenstoffeinbau} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Simulation} + \framesubtitle{Algorithmus - Diffusion/Sputtern} +\end{frame} + + \subsection{Ergebnisse} + \begin{frame} - \frametitle{} - \framesubtitle{} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe} \end{frame} \begin{frame} - \frametitle{} - \framesubtitle{} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich} \end{frame} +\section{Zusammenfassung und Ausblick} + \begin{frame} - \frametitle{} - \framesubtitle{} + \frametitle{Zusammenfassung} \end{frame} \begin{frame} - \frametitle{} - \framesubtitle{} + \frametitle{Ausblick} \end{frame} +\begin{frame} + \frametitle{Danksagung} + \begin{itemize} + \item Prof. Dr. Bernd Stritzker + \item PD Volker Eyert + \item PD J"org Lindner + \item Dipl. Phys. Maik H"aberlen + \item Dipl. Phys. Ralf Utermann + \item EP4 + Diplomanden + \end{itemize} +\end{frame} + + \end{document}