From: hackbard Date: Mon, 29 Aug 2005 14:39:35 +0000 (+0000) Subject: fixes.. X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?p=lectures%2Flatex.git;a=commitdiff_plain;h=9afe6ac391e8a6f56e145c7cc5eb76617f9ca6bc fixes.. --- diff --git a/nlsop/diplom/einleitung.tex b/nlsop/diplom/einleitung.tex index cee4c60..d359617 100644 --- a/nlsop/diplom/einleitung.tex +++ b/nlsop/diplom/einleitung.tex @@ -29,7 +29,7 @@ Die Annahme, dass es sich bei diesen amorphen Einschl"ussen um kohlenstoffreiche Die Einschl"usse werden daher als amorphe $SiC_x$-Ausscheidungen bezeichnet. Mit zunehmender Dosis wird die geordnete Struktur der Ausscheidungen sch"arfer. Es handelt sich um einen Selbstorganisationsprozess. -Ein Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges ist in \cite{chef_habil,vorstellung_modell} vorgestellt. +Ein Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges ist in \cite{vorstellung_modell,chef_habil} vorgestellt. In \cite{da_martin_s,maik_da} wurden erstmals ausf"uhrliche experimentelle Untersuchungen zum Bildungs- und Ausheilverhalten dieser nanometrischen amorphen Einschl"usse durchgef"uhrt. Neben der Kohlenstoffimplantation in Silizium findet man "ahnliche Selbstorganisationsvorg"ange auch in anderen Materialsystemen, wie zum Beispiel Hoch-dosis-Sauerstoffimplantation in Silizium \cite{van_ommen}, $Ar^+$ in Saphir \cite{specht} und $Si^+$ in $SiC$ \cite{ishimaru}. @@ -38,10 +38,10 @@ Ist dies der Fall, so ist die Selbstorganisation, unabh"angig vom Materialsystem Die folgende Arbeit beschreibt die Umsetzung des Modells in einen Monte-Carlo-Simulationscode, mit dessen Hilfe der Selbstorganisationsvorgang genauer untersucht und verstanden werden soll. Die Simulation bietet hierbei entscheidende Vorteile. -Die Berechnung eines Implantationsergebnisses anhand des Modells ist nicht ohne weiteres m"oglich. -Mittels eines Computer-Experimentes k"onnen Vorhersagen angestellt werden. +Die Vorhersage eines Implantationsergebnisses anhand des Modells ist nicht ohne weiteres m"oglich. +Mittels eines Computer-Experimentes k"onnen die aus dem Modell resultierenden Ergebnisse berechnet und mit den experimentellen Ergebnissen verglichen werden. Durch Variation von Parametern k"onnen die Einfl"usse der zur Amorphisierung beitragenden Mechanismen ver"andert und deren Auswirkung auf das System beobachtet werden. -Desweiteren ist es sehr einfach m"oglich, an pr"azise Informationen "uber die Struktur und Zusammensetzung des Targets w"ahrend der Implantation zu gelangen. +Desweiteren ist es sehr einfach m"oglich, an pr"azise Informationen "uber die Struktur und Zusammensetzung des Targets w"ahrend der Implantation zu gelangen, was durch experimentelle Messungen nur sehr schwer oder garnicht m"oglich ist. Monte-Carlo-Rechnungen bieten den Vorteil, dass sie im Gegensatz zu sogenannten molekulardynamischen Berechnungen sehr viel weniger rechenzeitintensiv sind, da im letztgenannten die Bewegung des Ions in dem Festk"orper durch L"osen der klassischen Bewegungsgleichungen errechnet wird. Weiterhin bieten sie den Vorteil, dass die physikalischen Vorg"ange weitgehend ohne einschr"ankende Annahmen behandelt werden k"onnen. diff --git a/nlsop/diplom/literatur.tex b/nlsop/diplom/literatur.tex index 590e2c3..cce9ce8 100644 --- a/nlsop/diplom/literatur.tex +++ b/nlsop/diplom/literatur.tex @@ -10,6 +10,9 @@ \bibitem{vorstellung_modell} J. K. N. Lindner, M. H"aberlen, M. Schmidt, W. Attenberger, B. Stritzker. Nucl. Instr. and Meth. B 186 (2002) 206. \bibitem{chef_habil} J. K. N. Lindner. Habilitationsschrift. Universit"at Augsburg. 1999. \bibitem{maik_da} Maik H"aberlen. Diplomarbeit. Universit"at Augsburg. 2002. + \bibitem{van_ommen} A. H. van Ommen. Nucl. Instr. and Meth. B 39 (1989) 194. + \bibitem{specht} E. D. Specht, D. A. Walko, S. J. Zinkle. Nucl. Instr. and Meth. B 84 (2000) 390. + \bibitem{ishimaru} M. Ishimaru, R. M. Dickerson, K. E. Sickafus, Nucl. Instr. and Meth. B 166-167 (2000) 390. \bibitem{knuth} D. E. Knuth. The art of computer programming Vol. 2. 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