From 1ec64149ba2f703e94c76e9c88c9cb6b072658b2 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Thu, 3 Nov 2005 00:05:04 +0000 Subject: [PATCH] added ion implantation intro --- nlsop/talk/talk_german.tex | 48 ++++++++++++++++++++++++++++---------- 1 file changed, 36 insertions(+), 12 deletions(-) diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex index 2696795..4d82a2b 100644 --- a/nlsop/talk/talk_german.tex +++ b/nlsop/talk/talk_german.tex @@ -9,7 +9,7 @@ \usepackage{aecompl} \usepackage{color} \usepackage{graphicx} -\graphicspath{{./}} +\graphicspath{{../img}} \usepackage{hyperref} \begin{document} @@ -20,33 +20,57 @@ \email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de} \institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg} \slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005} -\Logo{\includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}} \maketitle -\overlays{8}{ \begin{slide}{"Uberblick} -\begin{itemstep} +\begin{itemize} \item Motivation - \item Grundlagen der Ionenimplantation + \item Grundlagen \item Experimentelle Befunde \item Das Modell \item Die Simulation \item Ergebnisse \item Anwendung \item Zusammenfassung +\end{itemize} +\end{slide} + +\overlays{5}{ +\begin{slide}{Ionenimplantation} +Funktionsweise: +\begin{itemstep} + \item Ionisation des Atoms/Molek"uls + \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$) + \item Bestrahlung eines Festk"orpers \end{itemstep} +\FromSlide{4}{$\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten} \\ +\vspace{15pt} +\FromSlide{5}{ +Industrielle Anwendung:\\ +Dotierung von Halbleiterkristallen} \end{slide}} -\overlays{3}{ -\begin{slide}{Motivation} -Ionenimplantation -\begin{itemstep} - \item exakte Dosierbarkeit +\begin{slide}{Ionenimplantation} +Vorteile +\begin{itemize} + \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge \item Reproduzierbarkeit + \item Homogenit"at + \item Schnelligkeit \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur -\end{itemstep} -\end{slide}} + \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide}{Selbstorganisation} +\begin{tabular}{c} + \begin{tabular}{lr} + \includegraphics[width=4cm]{tr.eps} & text... + \end{tabular} \\ +Bolse: swift heavy ions +\end{tabular} +\end{slide} \end{document} -- 2.20.1