From 23fe0c25222418886232bbd8a447845a9eaa6c58 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Mon, 7 Nov 2005 13:42:50 +0000 Subject: [PATCH] lets get a coffee - ci often and soon! --- nlsop/talk/talk_german.tex | 218 ++++++++++++++++++++++++++++++++++++- 1 file changed, 213 insertions(+), 5 deletions(-) diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex index 1377dfd..18ead67 100644 --- a/nlsop/talk/talk_german.tex +++ b/nlsop/talk/talk_german.tex @@ -177,6 +177,7 @@ Universit"at Augsburg \includegraphics[width=5.5cm]{a-d.eps} {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$} \column{5.5cm} + \vspace{0.5cm} \includegraphics[width=5.5cm]{a-t.eps} {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Temperatur f"ur die Dosis $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \end{columns} @@ -198,6 +199,7 @@ Universit"at Augsburg \begin{center} \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps} \end{center} + \scriptsize{ \begin{itemize} \pause \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\ @@ -206,48 +208,254 @@ Universit"at Augsburg \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$\\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph \pause - \item Dichtereduktion des amorphen $SiC_x$\\ + \item Geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\ $\rightarrow$ laterale Druckspannungen \pause \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff\\ $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$ - \end{itemize} + \end{itemize}} \end{frame} \section{Simulation und Ergebnisse} \subsection{Simulation} +\begin{frame} + \frametitle{Simulation} + \begin{block}{Name} + {\bf N}ano {\bf L}amellar {\bf S}elbst{\bf o}rganisations{\bf p}rozess + \end{block} + \begin{block}{Grober Ablauf} + \begin{itemize} + \item Amorphisierung/Rekristallisation + \item Kohlenstoffeinbau + \item Diffusion/Sputtern + \end{itemize} + \end{block} + \begin{block}{Versionen} + \begin{itemize} + \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe + \item Version 2 - Simulation "uber den ganzen Tiefenbereich + \end{itemize} + \end{block} +\end{frame} + \begin{frame} \frametitle{Simulation} \framesubtitle{Unterteilung des Targets} + \begin{center} + \includegraphics[width=8cm]{gitter_oZ.eps} + \end{center} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Simulation} + \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen} + \begin{columns} + \column{5.5cm} + \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps} + {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.} + \column{5.5cm} + \includegraphics[width=5.5cm]{trim_impl2.eps} + {\scriptsize SRIM 2003.26, Implantationsprofil,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Simulation} + \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen} + \begin{center} + \includegraphics[width=7cm]{trim_coll.eps}\\ + \end{center} + {\scriptsize $\Rightarrow$ Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}\\ + {\scriptsize $\Rightarrow$ Mittlere W"urfel-Trefferzahl eines Ions} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Simulation} + \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation} + \begin{block}{Amorphisierungswahrscheinlichkeit} + \[ + p_{c \rightarrow a}(\vec{r}) = \pause \color{green}{p_b} \pause + \color{blue}{p_c c_C(\vec{r})} \pause + \color{red}{\sum_{\textrm{amorphe Nachbarn}} \frac{p_s c_C(\vec{r'})}{(r-r')^2}} + \] + \begin{itemize} + \onslide<2-> \item \color{green}{ballistische Amorphisierung} + \onslide<3-> \item \color{blue}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung} + \onslide<4-> \item \color{red}{spannungsuntert"utzte Amorphisierung} + \end{itemize} + \end{block} \end{frame} +\begin{frame} + \frametitle{Simulation} + \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallsiation} + \begin{block}{Rekristallisationswahrscheinlichkeit} + \[ + p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( \frac{1 - \sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big) + \] + mit\\ + \[ + \delta(\vec{r}) = \left\{ + \begin{array}{ll} + 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\ + 0 & \textrm{sonst} \\ + \end{array} + \right. + \] + \end{block} +\end{frame} + + \begin{frame} \frametitle{Simulation} \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation} + \pause + \begin{block}{Sto"skoordinaten} + \begin{itemize} + \item $x,y$ gleichverteilt + \item $z$ entsprechend nuklearer Bremskraft + \end{itemize} + \end{block} + \begin{block}{Ablauf} + \begin{itemize} + \pause + \item Ausw"urfeln der Sto"skoordinaten + \pause + \item Berechnung von $p_{c \rightarrow a}$ bzw. $p_{a \rightarrow c}$ + \pause + \item Zufallszahl $\rightarrow$ Amorphisierung/Rekristallisation + \pause + \item Wiederholung f"ur mittlere Anzahl der Treffer des Ions + \end{itemize} + \end{block} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Simulation} \framesubtitle{Algorithmus - Kohlenstoffeinbau} + \begin{block}{Koordinaten f"ur Kohlenstoffeinbau} + \begin{itemize} + \item $x,y$ gleichverteilt + \item $z$ entsprechend Implantationsprofil + \end{itemize} + \end{block} + \begin{block}{Ablauf} + \begin{itemize} + \pause + \item Ausw"urfeln der Koordinaten f"ur Kohlenstoffeinbau + \pause + \item Lokale Erh"ohung der Anzahl der Kohlenstoffatome + \end{itemize} + \end{block} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Simulation} \framesubtitle{Algorithmus - Diffusion/Sputtern} + \begin{block}{Ablauf der Diffusion alle $d_v$ Schritte} + \begin{itemize} + \pause + \item Gehe alle Zellen durch + \pause + \item Wenn Zelle amorph + \begin{itemize} + \pause + \item Gehe alle Nachbarzellen durch + \pause + \item Wenn Nachbarzelle kristallin\\ + \pause + $\Rightarrow$ Transferiere den Anteil $d_r$ des Kohlenstoffs + \end{itemize} + \end{itemize} + \end{block} + \pause + \begin{block}{Sputterablauf alle $s$ Schritte} + \begin{itemize} + \pause + \item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach Ebene $i-1$\\ + $i \in Z,Z-1,\ldots,2$ + \pause + \item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin + \pause + \item Setze den Kohlenstoff jedes Volumens in Ebene $Z$ auf Null + \end{itemize} + \end{block} \end{frame} - \subsection{Ergebnisse} + \subsection{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Erste Simulationen} + \begin{center} + \includegraphics[width=10cm]{first_sims.eps} + \end{center} + \pause + \scriptsize{ + $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\ + $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\ + $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen} +\end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe} + \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme} + \color{red}{Lamellare Strukturen} + \begin{center} + \includegraphics[width=10cm]{if_cmp3.eps} + \end{center} \end{frame} \begin{frame} \frametitle{Ergebnisse} - \framesubtitle{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich} + \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsrate $d_r$} + \begin{columns} + \column{5cm} + \includegraphics[width=3cm]{diff_einfluss.eps} + \column{6cm} + \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss_ls.eps} + \end{columns} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$} + \begin{center} + \includegraphics[width=10cm]{low_to_high_dv.eps} + %\includegraphics[width=10cm]{ls_dv_cmp.eps} + \end{center} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung} + \begin{center} + \includegraphics[width=10cm]{high_to_low_a.eps} + %\includegraphics[width=10cm]{ps_einfluss_ls.eps} + \end{center} +\end{frame} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung} + \begin{columns} + \column{3.5cm} \includegraphics[width=4.5cm]{97_98_ng.eps} + \column{7.5cm} \includegraphics[width=6.5cm]{ac_cconc_ver1.eps} + \end{columns} +\end{frame} + + \subsection{Simulation "uber den gesamten Tiefenbereich} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis} +\end{frame} + + \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur} + +\begin{frame} + \frametitle{Ergebnisse} + \framesubtitle{Zweiter Implantationsschritt} \end{frame} \section{Zusammenfassung und Ausblick} -- 2.20.1