From 94a323c281ae14fa1fe1b63776d3d2a0a3f1d332 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Mon, 26 May 2003 01:02:22 +0000 Subject: [PATCH] more fixes --- nlsop/nlsop.tex | 90 ++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++------- 1 file changed, 78 insertions(+), 12 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop.tex b/nlsop/nlsop.tex index 68ff6a6..16fd3b2 100644 --- a/nlsop/nlsop.tex +++ b/nlsop/nlsop.tex @@ -30,6 +30,8 @@ \begin{document} +\extraslideheight{5in} + \begin{slide} \maketitle \end{slide} @@ -46,7 +48,7 @@ \subsection{Abbremsung von Ionen} Abbremsung der Ionen durch: \begin{itemize} - \item inelastische Streuung an Targetelktronen + \item inelastische Streuung an Targetelektronen \item elastische Streuung an Atomkernen des Targets \end{itemize} Energieverlust der Ionen durch obere Bremsprozesse.\\ @@ -79,11 +81,14 @@ Mittlere Reichweite $R$: \begin{slide} \subsubsection{elektronischer Energieverlust} -elektronischer Energieverlust haupts"achlich durch inelastische St"o"se. +Elektronischer Energieverlust haupts"achlich durch inelastische St"o"se. \begin{itemize} \item Anregung / Ionisation des Targets \item Anregung / Ionisation / Elektroneneinfang des eingeschossenen Ions \end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} Energieverlust abh"angig von Energie $E$ der Ionen. (LSS, Firsov) \begin{itemize} \item niedrige Teilchenenergie: $S_e(E) = \sqrt{E}$ @@ -119,6 +124,9 @@ Integration "uber alle alle m"oglichen Energien $T_n$, gewichtet mit deren Wahrs \[ S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \partial \sigma(E,T_n) \] +\end{slide} + +\begin{slide} Festlegung von $\theta$ abh"angig von Potential $V(r)$. Wahl: \[ V(r) = \frac{Z_1 Z_2 e^2}{4 \pi \epsilon_0 r} \phi \Big( \frac{r}{a} \Big) @@ -157,7 +165,7 @@ bild von maik requesten... Bestrahlung $\rightarrow$ Sch"aden im Kristallgitter durch: \begin{itemize} \item Sto"s mit Ion - \item angesto"sene Atome $rightarrow$ Verlagerungskaskaden + \item angesto"sene Atome $\rightarrow$ Verlagerungskaskaden \end{itemize} Defektausheilung, Rekristallisation:\\ verlagerte Gitteratome kehren an Gitterplatz zur"uck, durch: @@ -166,7 +174,7 @@ verlagerte Gitteratome kehren an Gitterplatz zur"uck, durch: \item ionenstrahlinduzierte Ausheilung \end{itemize} Beobachtung aus Experiment:\\ -Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (lediglich leichter Shift) +Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (lediglich leichter Shift). \end{slide} \begin{slide} @@ -181,19 +189,22 @@ Parameter: \item Implanation in $(100)$-orientiertes Silizium \end{itemize} Beobachtungen an oberer Grenzfl"ache zur amorphen Schicht:\\ -$\rightarrow$ Bildung amorpher lamellarer Strukturen\\ -bild von maik requesten...\\ +$\rightarrow$ Bildung amorpher lamellarer Strukturen +\end{slide} + +\begin{slide} +bild von maik requesten... \end{slide} \begin{slide} \subsection{Das Modell} -Wie entstehen die geordneten amorphen Ausscheidungen: +Entstehung der geordneten amorphen Ausscheidungen: \begin{itemize} \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph - \item $SiC$-Dichte im amorphen um $20-30$ Prozent geringer als im kristallinen Zustand $\rightarrow$ Ausdehnung, Druckspannung auf Umgebung $\rightarrow$ Erschweren "Wiedereinbau" verlagerter Atome + \item $SiC$-Dichte im amorphen um $20-30\%$ geringer als im kristallinen Zustand $\rightarrow$ Ausdehnung, Druckspannung auf Umgebung $\rightarrow$ Erschweren des \dq Wiedereinbaus\dq{} verlagerter Atome \item Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung - \item Verringerung der Kohlenstoff"ubers"attigung durch Diffusion von Kohlenstoff aus Kristallinem ins Amorphe (falsch implementiert :() + \item Verringerung der Kohlenstoff"ubers"attigung durch Diffusion von Kohlenstoff aus Kristallinem ins Amorphe \end{itemize} \end{slide} @@ -213,21 +224,76 @@ Vereinfachungen: \item lineare N"aherung der nuklearen Bremskraft in diesem Bereich \item lineare N"aherung der Kohlenstoffkonzentartion in diesem Bereich \item Wahrscheinlichkeit fuer Amorphisierung $\sim$ nuklearer Bremskraft + \item Vernachl"assige Druckspannungen in $z$-Richtung + \item Druckspannung $\sim \frac{1}{r^2}$ \end{itemize} \end{slide} \begin{slide} -Pseudocode: +grober Programmablauf: \begin{itemize} \item zuf"allige Wahl eines Punktes $(x,y,z)$, wobei $x,y$ gleichm"assig verteilt, $p(z)=az+c$ - \item Wahrscheinlichkeit, da"s Gebiet amorph wird $sim$ Druckspannung und Kohlenstoffkonzentartion - \item Wahrscheinlichkeit, da"s Gebiet kristallin wird, ist $1 - \textrm{oberer Wahrscheinlichkeit}$ + \item Wahrscheinlichkeit $p$, da"s Gebiet amorph wird $\sim$ Druckspannung und Kohlenstoffkonzentartion + \item Wahrscheinlichkeit, da"s Gebiet kristallin wird, ist $1 - p$ \item lineare Verteilung der Kohlenstoffatome aus kristallinen Gebieten \end{itemize} \end{slide} +\begin{slide} +Wichtigste variable Parameter: +\begin{itemize} + \item $-a$: Steigung nuklearen Energieverlusts + \item $-b$: Nuklearer Energieverlust f"ur $z=0$ + \item $-s$: Anzahl der Durchg"ange $\equiv$ Anzahl der implanierten Ionen + \item $-r$: Abbruchkriterium f"ur Einfluss der Druckspannungen + \item $-f$: Einflu"s der Druckspannungen (Steigung) + \item $-p$: Einflu"s der Druckspannungen (y-Abschnitt) + \item $-A$: Steigung der linearen Kohlenstoffverteilung + \item $-B$: prozentualer Anteil des Kohlenstoffs f"ur $z=0$ +\end{itemize} +\end{slide} + \begin{slide} \subsection{Ergebnisse} +Erfolg: +\begin{itemize} + \item Grad der Amorphisierung geht linear mit $z$ + \item Bildung einzelner Lamellen +\end{itemize} +Nicht beobachtet: +\begin{itemize} + \item Regelm"assigkeit der lamellaren amorphen Ausscheidungen + \item Anwachsen der Gr"o"se der Ausscheidungen sowie deren Abst"ande in $z$-Richtung +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +Beobachtungen in Abh"angigkeit der Parameter: +\begin{itemize} + \item Variation der Range + \begin{itemize} + \item Anteil lamellarer Gebiete nimmt mit Range zu + \item foobar + \end{itemize} +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\begin{itemize} + \item Variation des Einflusses der Druckspannungen + \begin{itemize} + \item Zunahme lamellarer Gebiete mit Einflu"s der Druckspannung + \item gleichzeitige Erh"ohung der amorphen Gebiete im allgemeinen + \end{itemize} + \item Variation des y-Abschnitts der Druckspannungen + \begin{itemize} + \item Zunahme amorpher Gebiete + \item eher Abnahme der lamellaren Struktur + \end{itemize} +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} parameter und bilder einfuegen... \end{slide} -- 2.20.1