From f9c1cc072c5a48987d54210d7cd67d88821bd43a Mon Sep 17 00:00:00 2001
From: hackbard <hackbard>
Date: Mon, 19 Sep 2005 16:02:41 +0000
Subject: [PATCH] bla

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 nlsop/diplom/exp_befunde.tex | 2 --
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 \chapter{Experimentelle Befunde}
 \label{chapter:exp_befunde}
 
-Im Folgenden 
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 Gegenstand dieser Arbeit ist die Umsetzung eines Modells, welches den Selbstorganisationsvorgang von lamellaren und sph"arischen $SiC_x$-Ausscheidungen an der vorderen Grenzfl"ache zur durchgehenden amorphen $SiC_x$-Schicht bei Hochdosis-Kohlenstoff-Implantation in Silizium erkl"aren soll.
 Die Entstehung solcher Ausscheidungen beobachtet man nur unter bestimmten Implantationsbedingungen.
 Im Folgenden sollen einige der experimentellen Ergebnisse bez"uglich der Bildung der geordneten Ausscheidungen aus \cite{maik_da} zusammengefasst werden.
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2.20.1