From 47102b7367b8f1fb052748e3721d28addaecaed7 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sun, 29 Feb 2004 18:19:17 +0000 Subject: [PATCH 01/16] bsi ergebnisse... --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 160 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++-- 1 file changed, 152 insertions(+), 8 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 9677df6..cabbebd 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -25,27 +25,171 @@ \input{seminar.bug} % Official bugs corrections \input{seminar.bg2} % Unofficial bugs corrections -\author{F. Zirkelbach, M. Haeberlen, J. K. N. Lindner \\ und B. Stritzker} -\title{Monte-Carlo-Simulation der Selbstorganisation amorpher nanometrischer $SiC_x$-Ausscheidungen in Silizium waehrend $C^+$-Ionen-Implantation} +\def\uni-header{% +\ptsize{8}% + \begin{figure}[t]% + \begin{center} + \includegraphics[height=1cm]{ifp.eps}% + \hspace{1in}% + \includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}% + %\hspace{3in}% + %\includegraphics[height=1cm]{uni-logo.eps}% + \end{center} + \end{figure}} \begin{document} -\extraslideheight{5in} +\extraslideheight{10in} \begin{slide} -\maketitle +\begin{figure}[t] + \begin{center} + \includegraphics[height=1cm]{ifp.eps} + \\ + \includegraphics[height=2cm]{Lehrstuhl-Logo.eps} + \end{center} +\end{figure} +\begin{center} + \large\bf + Monte-Carlo-Simulation der Selbstorganisation amorpher nanometrischer $SiC_x$-Ausscheidungen in Silizium w"ahrend $C^+$-Ionen-Implantation +\end{center} +\begin{center} + F. Zirkelbach, M. H"aberlen, J. K. N. Lindner und B. Stritzker +\end{center} \end{slide} \begin{slide} -\includegraphics[width=10cm,clip,draft=no]{k393abild1.eps} +\uni-header +\begin{figure} + \begin{center} + \includegraphics[width=08cm,clip,draft=no]{k393abild1.eps} + \caption{Hellfeld-TEM-Abbildung einer bei $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ mit $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ implantierten Probe} + \end{center} +\end{figure} \end{slide} \begin{slide} -\part{Modell} +\uni-header +\section*{Modell} \begin{itemize} - \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium $rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen + \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium $\rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph - \item $20-30%$ geringere Dichte von amorphen $SiC$ $\rightarrow$ + \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen $SiC$ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung + \item d"unnes Target $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung + \item Kohlenstoff"ubers"attigung $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete \end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Modell} +\begin{figure}[t] + \begin{center} + \includegraphics[width=6cm]{model1_.eps} + \caption{Modell zur Entstehung und Selbstordnung lamellarer Strukturen} + \end{center} +\end{figure} +\begin{itemize} + \item kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen + \item spannungsinduzierte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen + \item Bildung kohelnstoffreicher amorpher lamellarer Ausscheidungen +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Annahmen} +\begin{figure} + \begin{center} + \includegraphics[width=5cm]{implsim_.eps} + \caption{Tiefenabh"angiges Implantationsprofil und Energieversluste (\emph{TRIM})} + \end{center} +\end{figure} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Annahmen} +\begin{itemize} + \item Strahlensch"adigung $\simeq$ nukleare Bremskraft (linear gen"ahert) + \item Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\simeq$ Druckspannungen + \item lineare N"aherung des Implantationsprofils +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Simulation} +\begin{itemize} + \item Unterteilung des Silizium-Targets in Zellen ($x=50$, $y=50$, $z=100$) + \item Zelle enth"alt folgende Eigenschaften/Informationen: + \begin{itemize} + \item Kantenl"ange $3nm$ (Simulationsfenster ist $300nm$ tief bei $100$ Zellen) + \item Zustand: amorph/kristallin + \item Kohlenstoffkonzentration + \end{itemize} + \end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Simulation} +Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: +\begin{enumerate} + \item Amorphisierung/Rekristallisation + \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target + \item Diffusionsprozess +\end{enumerate} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Simulation(1/3) - Amorphisierung/Rekristallisation} +\begin{itemize} + \item zuf"allige Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess + \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit: + \[ + \begin{array}{ll} + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ + p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} + \end{array} + \] + $a_{cp}$ beschreibt kohlenstoffinduzierte Amorphisierung\\ + $b_{ap}$ beschreibt ballistische Amorphisierung\\ + $a_{ap}$ beschreibt spannungsinduzierte Amorphisierung + \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Simulation(2/3) - \\ Einbau des implantierten Kohlenstoffions} +\begin{itemize} + \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$ + \item zuf"allige Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Simulation(3/3) - Diffusion} +Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. +\begin{itemize} + \item rein kristalline Diffusion: + \[ + \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{ac} + \] + \item Diffusion von kristalline in amorphe Gebiete: + \[ + \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{cc} + \] +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Ergebnisse} + +\end{slide} \end{document} -- 2.20.1 From e8beae814919677924e08d4b603fa23536d18fec Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sun, 29 Feb 2004 20:18:47 +0000 Subject: [PATCH 02/16] first dpg2004 pre version --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 86 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++--- 1 file changed, 80 insertions(+), 6 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index cabbebd..0f45ac1 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -72,11 +72,11 @@ \uni-header \section*{Modell} \begin{itemize} - \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium $\rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen - \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph - \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen $SiC$ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung - \item d"unnes Target $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung - \item Kohlenstoff"ubers"attigung $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete + \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium \\ $\rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen + \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph + \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung + \item d"unnes Target \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung + \item Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete \end{itemize} \end{slide} @@ -147,7 +147,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \section*{Simulation(1/3) - Amorphisierung/Rekristallisation} \begin{itemize} \item zuf"allige Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess - \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit: + \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit \[ \begin{array}{ll} p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ @@ -189,7 +189,81 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \begin{slide} \uni-header \section*{Ergebnisse} +variierte Parameter: +\begin{itemize} + \item Schrittzahl + \item Amorphisierung beschreibende Parameter + \item Diffusionsgeschwindigkeit und Diffusionsrate + \item Diffusion in $z$-Richtung + \item rein kristalline Diffusion +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Ergebnisse} +Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen: +\begin{itemize} + \item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungsparameter + \item Diffusion von Kohlenstoff von kristallinen in amorphe Gebiete, insbesondere in $z$-Richtung + \begin{figure}[h] + \begin{center} + \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_noZ.eps} + \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z.eps} + \caption{Messungen mit (rechts) und ohne (links) Diffusion von amorphen in kristalline Gebiete in $z$-Richtung} + \end{center} + \end{figure} +\end{itemize} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Ergebnisse} +Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen +\begin{figure}[h] + \begin{center} + \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_x-y_97.eps} + \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_x-y_98.eps} + \caption{Zwei aufeinander folgende Ebenen mit komplement"ar angeordneten amorphen und kristallinen Gebieten} + \end{center} +\end{figure} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Ergebnisse} +Die amorph/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lamellare Ordnung auftrit +\begin{figure}[h] + \begin{center} + \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_c-diff_x-z_21.eps} + \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_0.2-ac-diff_y-z_28.eps} + \caption{Messunng mit verschiedenen amorph-kristallinen Diffusionsraten} + \end{center} +\end{figure} +\end{slide} +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Ergebnisse} +Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme: +\begin{figure}[t] + \begin{center} + \includegraphics[height=3.5cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps} + \includegraphics[height=3.5cm]{tem-if.eps} + \caption{Vergleich von Simulationsergebniss und TEM-Aufnahme} + \end{center} +\end{figure} +\end{slide} + +\begin{slide} +\uni-header +\section*{Ausblick} +\begin{itemize} + \item mehrere Sto"sprozesse pro Durchlauf $\rightarrow$ Durchlauf entspricht einem implantierten Ion + \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes) + \item Intensivere Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung + \item Zusammenhang zwischen Simulations- und Implantationsparametern +\end{itemize} \end{slide} \end{document} -- 2.20.1 From 8934e1ebf8ef1f04bafa7179711a6d5bc163fc38 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sun, 29 Feb 2004 20:43:49 +0000 Subject: [PATCH 03/16] some more bugfixes + new tem compare picture --- nlsop/nlsop_fp_b.tex | 20 ++++++++++++++------ 1 file changed, 14 insertions(+), 6 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_fp_b.tex b/nlsop/nlsop_fp_b.tex index a6f28d6..516546c 100644 --- a/nlsop/nlsop_fp_b.tex +++ b/nlsop/nlsop_fp_b.tex @@ -66,7 +66,7 @@ Durch Kehrwertbildung und Integration "uber die Energie erh"alt man die mittlere Um die Reichweite des Ions berechnen zu k"onnen, m"ussen noch der nukleare ($S_n$) und elektronische ($S_e$) Bremsquerschnitt bestimmt werden. \subsection{Nukleare Bremskraft} -Wie bereits erw"ahnt, kann die Wechelswirkung mit den Atomkernen des Targets durch einen elastischen Streuproze"s beschrieben werden. F"ur den Energie"ubertrag beim Sto"s gilt +Wie bereits erw"ahnt, kann die Wechelswirkung mit den Atomkernen des Targets durch einen elastischen Streuprozess beschrieben werden. F"ur den Energie"ubertrag beim Sto"s gilt \[ T_n(E) = E \frac{2 M_1 M_2}{(M_1 + M_2)^2} (1 - \sin \theta) \] @@ -202,13 +202,13 @@ Der Simulationsalgorithmus kann in drei Teile gegliedert werden. Jeder Durchlauf \item Zuf"allige Wahl der Koordinaten f"ur einen Sto"sprozess:\\ Da sich die Strahlensch"adigung wie die nukleare Bremskraft verh"alt, nimmt die Wahrscheinlichkeit f"ur einen Sto"sprozess mit zunehmender Tiefe linear zu. $x$ und $y$ sind gleichverteilt.\\ $p(x)dx=dx \textrm{, } p(y)dy=dy \textrm{, } p(z)dz=(a_{el} \times z+b_{el})dz$ - \item Berechnung der Amorphisierungs bzw. Rekristallationswahrscheinlichkeit:\\ + \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallationswahrscheinlichkeit:\\ Die Wahrscheinlichkeit der Amorphisierung einer Zelle soll proportional zur Druckspannung auf das Gebiet und der eigenen Kohlenstoffkonzentration sein. Daher gilt:\\ $\displaystyle p_{c \rightarrow a}=a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}$\\ - Die Koordinaten f"ur den Sto"sprozess werden durch ausw"urfeln von drei Zufallszahlen erzeugt. + Die Koordinaten f"ur den Sto"sprozess werden durch Ausw"urfeln von drei Zufallszahlen erzeugt. Die Rekristallisation sollte sich genau entgegengesetzt verhalten und wird zur Vereinfachung als $\displaystyle p_{a \rightarrow c}=1-p_{c \rightarrow a}$ angenommen. Eine weitere Zufallszahl entscheidet ob das Gebiet amorph wird, rekristallisiert oder den derzeitigen Zustand beibeh"alt. \end{itemize} - \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium Target:\\ + \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target:\\ Das implantierte Teilchen wird nicht am Ort des Sto"sprozesses zur Ruhe kommen. Es wird eine Richtungs"anderung erfahren und weitere Sto"sprozesse vollziehen. Mit gro"ser Wahrscheinlichkeit wird es erst in der amorphen $SiC_x$ Schicht zur Ruhe kommen. Deshalb wird zu Beginn des Programms das Verh"atnis von Kohlenstoff im Simulationsfenster zum gesamten Kohlenstoff durch Auslesen eines Konzentrationsprofils, ermittelt durch \emph{TRIM}, berechnet. Da die Kohlenstoffverteilung im Bereich des Implantationsfensters linear gen"ahert wird, sieht die Prozedur wie folgt aus: \begin{itemize} \item Kohlenstoff innerhalb des Simulationsfensters:\\ @@ -543,7 +543,7 @@ Interessantes in diesem Zusammenhang ist in Abbildung \ref{x-y-e} zu sehen. Hier \includegraphics[width=3cm]{sim2_a004_b0_Z_x-y_97.eps} \includegraphics[width=3cm]{sim2_a004_b0_Z_x-y_98.eps} \end{center} -\caption{Zwei aufeinander folgende Ebenen mit komplement"ar angeordneten amorphen unnd kristallinen Gebieten} \label{x-y-e} +\caption{Zwei aufeinander folgende Ebenen mit komplement"ar angeordneten amorphen und kristallinen Gebieten} \label{x-y-e} \end{figure} \subsubsection{Variation der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$} Wie oft Diffusion im Programmablauf abgearbeitet wird bestimmt der $d_v$ Parameter. Dieser stellt damit den Bezug zur Diffusionsgeschwindigkeit her. Abbildung \ref{d_v} zeigt vier gleiche Messungen mit unterschiedlichen Werten f"ur $d_v$. Die zu beobachtenden Unterschiede sind minimal. Mit zunehmenden Werten f"ur $d_v$ nimmt die Tiefe in der erstmals lamellare Ausscheidungen auftreten leicht zu, einzelne Ausscheidungen, die keinen lamellaren Charakter aufweisen werden weniger. In sp"ateren Versuchen, in denen die Diffusion zwischen kristallinen Gebieten unterdr"uckt wird, erkennt man jedoch keine Unterschiede mehr bei Variation von $d_v$, wie in Abbildung \ref{d_v_no-c-diff} zu sehen ist. @@ -597,7 +597,7 @@ Die aufgef"uhrten Ergebnisse enthalten einige wichtige Informationen, welche als \item Es bilden sich komplement"ar angeordnete, amorphe kohlenstoffreiche inself"ormige Ausscheidungen in den einzelnen Ebenen. \item Die spannungsinduzierte Amorphisierung spielt eine weitaus gr"o"sere Rolle als die kohlenstoffinduzierte Amorphisierung ($\frac{a_{ap}}{a_{cp}} \simeq 30$). \end{itemize} -Die gr"o"ste "Ubereinstimmungen mit dem experimentell gefundenen Ergebnis aus Abbildung \ref{tem1} sind in Abbildung \ref{cmp2-tem} zu sehen. Die lamellare Ordnung der amorphen Ausscheidungen beginnt in einer Tiefe von $200 nm$. Nach Augenma"s stimmen auch durchschnittlich die L"angen der Lamellen mit dem Experiment "uberein. +Die gr"o"ste "Ubereinstimmungen mit dem experimentell gefundenen Ergebnis aus Abbildung \ref{tem1} sind in Abbildung \ref{cmp2-tem} und \ref{cmp3-tem} zu sehen. Die lamellare Ordnung der amorphen Ausscheidungen beginnt in einer Tiefe von $200 nm$. Nach Augenma"s stimmen auch durchschnittlich die L"angen der Lamellen mit dem Experiment "uberein. %\begin{figure}[htb] %\begin{center} @@ -618,6 +618,14 @@ Die gr"o"ste "Ubereinstimmungen mit dem experimentell gefundenen Ergebnis aus Ab \end{center} \end{figure} +\begin{figure}[htp] +\begin{center} +\includegraphics[height=4cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps} +\includegraphics[height=4cm]{tem-if.eps} +\caption{Direkter Vergleich mit TEM-Aufnahme} \label{cmp3-tem} +\end{center} +\end{figure} + \chapter{Ausblick} Bisher wurde ein "Uberblick "uber den derzeitigen Stand des Programms und des zu Grunde liegenden Modells gegeben. Zusammenh"ange zwischen Simulationsparametern, physikalischen Gr"o"sen und Implantationsparametern fehlen noch. Diese sollen fortf"uhrend erarbeitet werden. -- 2.20.1 From 68b40a1bd6642834d707942a524b4d06c6dea5cc Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sun, 29 Feb 2004 20:48:42 +0000 Subject: [PATCH 04/16] =?utf8?q?also=20rm=20=DC.lof=20files?= MIME-Version: 1.0 Content-Type: text/plain; charset=utf8 Content-Transfer-Encoding: 8bit --- nlsop/Makefile | 2 +- 1 file changed, 1 insertion(+), 1 deletion(-) diff --git a/nlsop/Makefile b/nlsop/Makefile index 4de476f..d21e666 100644 --- a/nlsop/Makefile +++ b/nlsop/Makefile @@ -1,5 +1,5 @@ #!/usr/bin/make clean: - rm -f *.aux *.dvi *.log *.toc *.log + rm -f *.aux *.dvi *.log *.toc *.log *.lof -- 2.20.1 From d53e260c5e2e55b56a9d9608aab4f5af447c2038 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sun, 29 Feb 2004 21:18:37 +0000 Subject: [PATCH 05/16] fixed typos --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 6 +++--- 1 file changed, 3 insertions(+), 3 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 0f45ac1..0f3bbe9 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -92,7 +92,7 @@ \begin{itemize} \item kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen \item spannungsinduzierte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen - \item Bildung kohelnstoffreicher amorpher lamellarer Ausscheidungen + \item Bildung kohlenstoffreicher amorpher lamellarer Ausscheidungen \end{itemize} \end{slide} @@ -232,12 +232,12 @@ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen i \begin{slide} \uni-header \section*{Ergebnisse} -Die amorph/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lamellare Ordnung auftrit +Die amorph/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lamellare Ordnung auftritt \begin{figure}[h] \begin{center} \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_c-diff_x-z_21.eps} \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_0.2-ac-diff_y-z_28.eps} - \caption{Messunng mit verschiedenen amorph-kristallinen Diffusionsraten} + \caption{Messung mit verschiedenen amorph-kristallinen Diffusionsraten} \end{center} \end{figure} \end{slide} -- 2.20.1 From 35760a90d220b340ac37730d9ce76e4a15538efd Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sun, 29 Feb 2004 22:51:01 +0000 Subject: [PATCH 06/16] fixed some typos --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 6 +++--- nlsop/nlsop_fp_b.tex | 2 +- 2 files changed, 4 insertions(+), 4 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 0f3bbe9..797b765 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -74,7 +74,7 @@ \begin{itemize} \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium \\ $\rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph - \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung + \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung \item d"unnes Target \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung \item Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete \end{itemize} @@ -150,7 +150,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit \[ \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} \end{array} \] @@ -250,7 +250,7 @@ Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme: \begin{center} \includegraphics[height=3.5cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps} \includegraphics[height=3.5cm]{tem-if.eps} - \caption{Vergleich von Simulationsergebniss und TEM-Aufnahme} + \caption{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme} \end{center} \end{figure} \end{slide} diff --git a/nlsop/nlsop_fp_b.tex b/nlsop/nlsop_fp_b.tex index 516546c..c9e6a12 100644 --- a/nlsop/nlsop_fp_b.tex +++ b/nlsop/nlsop_fp_b.tex @@ -204,7 +204,7 @@ Der Simulationsalgorithmus kann in drei Teile gegliedert werden. Jeder Durchlauf $p(x)dx=dx \textrm{, } p(y)dy=dy \textrm{, } p(z)dz=(a_{el} \times z+b_{el})dz$ \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallationswahrscheinlichkeit:\\ Die Wahrscheinlichkeit der Amorphisierung einer Zelle soll proportional zur Druckspannung auf das Gebiet und der eigenen Kohlenstoffkonzentration sein. Daher gilt:\\ - $\displaystyle p_{c \rightarrow a}=a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}$\\ + $\displaystyle p_{c \rightarrow a}=a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}$\\ Die Koordinaten f"ur den Sto"sprozess werden durch Ausw"urfeln von drei Zufallszahlen erzeugt. Die Rekristallisation sollte sich genau entgegengesetzt verhalten und wird zur Vereinfachung als $\displaystyle p_{a \rightarrow c}=1-p_{c \rightarrow a}$ angenommen. Eine weitere Zufallszahl entscheidet ob das Gebiet amorph wird, rekristallisiert oder den derzeitigen Zustand beibeh"alt. \end{itemize} -- 2.20.1 From f97d30adaf888c2e741aeb61dd7dbdca019d8de1 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sun, 29 Feb 2004 23:32:09 +0000 Subject: [PATCH 07/16] fixed diffusion rates --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 4 ++-- 1 file changed, 2 insertions(+), 2 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 797b765..c3ab622 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -177,11 +177,11 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \begin{itemize} \item rein kristalline Diffusion: \[ - \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{ac} + \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{cc} \] \item Diffusion von kristalline in amorphe Gebiete: \[ - \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{cc} + \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac} \] \end{itemize} \end{slide} -- 2.20.1 From 93e5044e60609e3606f41faf40c0ddddba3635b6 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Wed, 3 Mar 2004 09:43:17 +0000 Subject: [PATCH 08/16] bullshit changes --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 75 ++++++++++------------------------------ 1 file changed, 18 insertions(+), 57 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index c3ab622..922341d 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -25,21 +25,12 @@ \input{seminar.bug} % Official bugs corrections \input{seminar.bg2} % Unofficial bugs corrections -\def\uni-header{% -\ptsize{8}% - \begin{figure}[t]% - \begin{center} - \includegraphics[height=1cm]{ifp.eps}% - \hspace{1in}% - \includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}% - %\hspace{3in}% - %\includegraphics[height=1cm]{uni-logo.eps}% - \end{center} - \end{figure}} - \begin{document} \extraslideheight{10in} +\slideframe{none} + +% topic \begin{slide} \begin{figure}[t] @@ -58,67 +49,47 @@ \end{center} \end{slide} +% start of content +\ptsize{8} + \begin{slide} -\uni-header +\section*{Cross-Section TEM-Aufnahme selbstorganisierter amorpher Lamellen} \begin{figure} \begin{center} \includegraphics[width=08cm,clip,draft=no]{k393abild1.eps} - \caption{Hellfeld-TEM-Abbildung einer bei $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ mit $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ implantierten Probe} + Hellfeld-TEM-Abbildung, $180 keV \quad C^+ \rightarrow Si(100)$, $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ \end{center} \end{figure} \end{slide} \begin{slide} -\uni-header -\section*{Modell} -\begin{itemize} - \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium \\ $\rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen - \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph - \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung - \item d"unnes Target \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung - \item Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete -\end{itemize} -\end{slide} - -\begin{slide} -\uni-header \section*{Modell} \begin{figure}[t] \begin{center} - \includegraphics[width=6cm]{model1_.eps} - \caption{Modell zur Entstehung und Selbstordnung lamellarer Strukturen} + \includegraphics[width=6cm]{model1_german.eps} \end{center} \end{figure} \begin{itemize} - \item kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen - \item spannungsinduzierte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen - \item Bildung kohlenstoffreicher amorpher lamellarer Ausscheidungen + \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen + \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph + \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung + \item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung + \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete + \item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ bevorzugte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen \end{itemize} \end{slide} \begin{slide} -\uni-header -\section*{Annahmen} +\section*{Annahmen/N"aherungen} \begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[width=5cm]{implsim_.eps} - \caption{Tiefenabh"angiges Implantationsprofil und Energieversluste (\emph{TRIM})} + \includegraphics[width=5cm]{implsim_new.eps} + \emph{TRIM}-Implantationsprofil und Energieversluste \end{center} \end{figure} \end{slide} \begin{slide} -\uni-header -\section*{Annahmen} -\begin{itemize} - \item Strahlensch"adigung $\simeq$ nukleare Bremskraft (linear gen"ahert) - \item Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\simeq$ Druckspannungen - \item lineare N"aherung des Implantationsprofils -\end{itemize} -\end{slide} - -\begin{slide} -\uni-header \section*{Simulation} \begin{itemize} \item Unterteilung des Silizium-Targets in Zellen ($x=50$, $y=50$, $z=100$) @@ -132,7 +103,6 @@ \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Simulation} Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \begin{enumerate} @@ -143,7 +113,6 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Simulation(1/3) - Amorphisierung/Rekristallisation} \begin{itemize} \item zuf"allige Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess @@ -162,7 +131,6 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Simulation(2/3) - \\ Einbau des implantierten Kohlenstoffions} \begin{itemize} \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$ @@ -171,7 +139,6 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Simulation(3/3) - Diffusion} Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \begin{itemize} @@ -187,7 +154,6 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Ergebnisse} variierte Parameter: \begin{itemize} @@ -200,7 +166,6 @@ variierte Parameter: \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Ergebnisse} Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen: \begin{itemize} @@ -217,7 +182,6 @@ Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen: \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Ergebnisse} Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen \begin{figure}[h] @@ -230,7 +194,6 @@ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen i \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Ergebnisse} Die amorph/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lamellare Ordnung auftritt \begin{figure}[h] @@ -243,7 +206,6 @@ Die amorph/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lame \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Ergebnisse} Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme: \begin{figure}[t] @@ -256,7 +218,6 @@ Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme: \end{slide} \begin{slide} -\uni-header \section*{Ausblick} \begin{itemize} \item mehrere Sto"sprozesse pro Durchlauf $\rightarrow$ Durchlauf entspricht einem implantierten Ion -- 2.20.1 From 08a28075012a7dc9becfed867af329ddc66a6fd9 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Wed, 3 Mar 2004 16:20:00 +0000 Subject: [PATCH 09/16] joerg_pre1 --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 148 ++++++++++++++++++++------------------- 1 file changed, 75 insertions(+), 73 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 922341d..2e35a16 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -25,6 +25,8 @@ \input{seminar.bug} % Official bugs corrections \input{seminar.bg2} % Unofficial bugs corrections +\articlemag{1} + \begin{document} \extraslideheight{10in} @@ -57,7 +59,7 @@ \begin{figure} \begin{center} \includegraphics[width=08cm,clip,draft=no]{k393abild1.eps} - Hellfeld-TEM-Abbildung, $180 keV \quad C^+ \rightarrow Si(100)$, $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ + Hellfeld-TEM-Abbildung, $180 keV \textrm{ } C^+ \rightarrow Si(100)$, $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ \end{center} \end{figure} \end{slide} @@ -66,7 +68,7 @@ \section*{Modell} \begin{figure}[t] \begin{center} - \includegraphics[width=6cm]{model1_german.eps} + \includegraphics[width=7cm]{model1_.eps} \end{center} \end{figure} \begin{itemize} @@ -74,7 +76,7 @@ \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung \item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung - \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete + \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff in amorphe Gebiete \item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ bevorzugte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen \end{itemize} \end{slide} @@ -83,27 +85,39 @@ \section*{Annahmen/N"aherungen} \begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[width=5cm]{implsim_new.eps} - \emph{TRIM}-Implantationsprofil und Energieversluste + \includegraphics[width=3cm]{implsim_new.eps} + \\ + \emph{TRIM}-Implantationsprofil und Energieversluste \end{center} \end{figure} -\end{slide} - -\begin{slide} -\section*{Simulation} \begin{itemize} - \item Unterteilung des Silizium-Targets in Zellen ($x=50$, $y=50$, $z=100$) - \item Zelle enth"alt folgende Eigenschaften/Informationen: - \begin{itemize} - \item Kantenl"ange $3nm$ (Simulationsfenster ist $300nm$ tief bei $100$ Zellen) - \item Zustand: amorph/kristallin - \item Kohlenstoffkonzentration - \end{itemize} - \end{itemize} + \item Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$ nuklearer Bremskraft + \item nukleare Bremskraft und Konzentrationsprofil linear gen"ahert + \item Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$ + \[ + \left\{ + \begin{array}{ll} + \textrm{mittlerer nuklearer Bremskraft} & \textrm{ballistische Amorphisierung, } b_{ap} \\ + \textrm{lokale Kohlenstoffkonzentration} & \textrm{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung, } a_{cp} \\ + \textrm{Druckspannungen} & \textrm{spannungsinduzierte Amorphisierung, } a_{ap} + \end{array} \right . + \] +\end{itemize} +\[ + \begin{array}{ll} + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ + p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} + \end{array} +\] \end{slide} \begin{slide} \section*{Simulation} +\begin{figure} + \begin{center} + \includegraphics[width=7cm]{gitter.eps} + \end{center} +\end{figure} Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \begin{enumerate} \item Amorphisierung/Rekristallisation @@ -113,49 +127,38 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \end{slide} \begin{slide} -\section*{Simulation(1/3) - Amorphisierung/Rekristallisation} +\section*{1) Amorphisierung/Rekristallisation} \begin{itemize} - \item zuf"allige Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess - \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit - \[ - \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ - p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} - \end{array} - \] - $a_{cp}$ beschreibt kohlenstoffinduzierte Amorphisierung\\ - $b_{ap}$ beschreibt ballistische Amorphisierung\\ - $a_{ap}$ beschreibt spannungsinduzierte Amorphisierung + \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft + \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{ca}$ und $p_{ac}$ \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl \end{itemize} -\end{slide} - -\begin{slide} -\section*{Simulation(2/3) - \\ Einbau des implantierten Kohlenstoffions} +\section*{2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions} +\begin{figure} + \begin{center} + \includegraphics[width=4cm]{sim_window.eps} + \end{center} +\end{figure} \begin{itemize} \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$ - \item zuf"allige Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung + \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung \end{itemize} \end{slide} \begin{slide} -\section*{Simulation(3/3) - Diffusion} +\section*{3) Diffusion} Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \begin{itemize} - \item rein kristalline Diffusion: + \item Diffusion im Kristallinen: \[ \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{cc} \] - \item Diffusion von kristalline in amorphe Gebiete: + \item Diffusion von kristallinen in amorphe Gebiete: \[ \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac} \] \end{itemize} -\end{slide} - -\begin{slide} -\section*{Ergebnisse} -variierte Parameter: +\section*{variierte Parameter} \begin{itemize} \item Schrittzahl \item Amorphisierung beschreibende Parameter @@ -167,63 +170,62 @@ variierte Parameter: \begin{slide} \section*{Ergebnisse} -Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen: \begin{itemize} - \item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungsparameter - \item Diffusion von Kohlenstoff von kristallinen in amorphe Gebiete, insbesondere in $z$-Richtung - \begin{figure}[h] - \begin{center} - \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_noZ.eps} - \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z.eps} - \caption{Messungen mit (rechts) und ohne (links) Diffusion von amorphen in kristalline Gebiete in $z$-Richtung} - \end{center} - \end{figure} -\end{itemize} + \item Lamellare Strukturen! + \item Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen: + \begin{itemize} + \item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungswahrscheinlichkeiten + \item Diffusion von Kohlenstoff von kristallinen in amorphe Gebiete, insbesondere in $z$-Richtung + \begin{figure} + \begin{center} + \includegraphics[height=5cm]{mit_ohne_diff.eps} + \end{center} + \end{figure} + \end{itemize} + \end{itemize} \end{slide} \begin{slide} \section*{Ergebnisse} -Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen -\begin{figure}[h] +Amorph/Kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe, in der erstmals lamellare Ordnung auftritt +\begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_x-y_97.eps} - \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_x-y_98.eps} - \caption{Zwei aufeinander folgende Ebenen mit komplement"ar angeordneten amorphen und kristallinen Gebieten} + \includegraphics[height=6cm]{high_low_ac-diff.eps} \end{center} \end{figure} \end{slide} - + \begin{slide} \section*{Ergebnisse} -Die amorph/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lamellare Ordnung auftritt -\begin{figure}[h] +Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander +folgenden Ebenen +\begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_c-diff_x-z_21.eps} - \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_0.2-ac-diff_y-z_28.eps} - \caption{Messung mit verschiedenen amorph-kristallinen Diffusionsraten} + \includegraphics[height=6cm]{z_z_plus_1.eps} \end{center} \end{figure} \end{slide} \begin{slide} -\section*{Ergebnisse} -Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme: -\begin{figure}[t] +\section*{Vergleich mit TEM-Aufnahme} +\begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[height=3.5cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps} - \includegraphics[height=3.5cm]{tem-if.eps} - \caption{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme} + \includegraphics[height=6cm]{if_cmp.eps} \end{center} \end{figure} \end{slide} \begin{slide} +\section*{Zusammenfassung} +\begin{itemize} + \item Einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen + \item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar +\end{itemize} \section*{Ausblick} \begin{itemize} - \item mehrere Sto"sprozesse pro Durchlauf $\rightarrow$ Durchlauf entspricht einem implantierten Ion - \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes) - \item Intensivere Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung \item Zusammenhang zwischen Simulations- und Implantationsparametern + \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes) + \item Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung \end{itemize} \end{slide} -- 2.20.1 From d8704177c6a1ed91569d527fb61e35a333a3605f Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Thu, 4 Mar 2004 14:33:21 +0000 Subject: [PATCH 10/16] lehrstuhl seminar pre fixes --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 33 ++++++++++++++++++--------------- 1 file changed, 18 insertions(+), 15 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 2e35a16..c3f79d2 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -84,28 +84,31 @@ \begin{slide} \section*{Annahmen/N"aherungen} \begin{figure} - \begin{center} - \includegraphics[width=3cm]{implsim_new.eps} + %\begin{center} + \begin{picture}(200,60)(-150,20) + \includegraphics[width=7cm]{2pTRIM180C.eps} + %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps} \\ - \emph{TRIM}-Implantationsprofil und Energieversluste - \end{center} + %\emph{TRIM}-Implantationsprofil und Energieversluste + \end{picture} + %\end{center} \end{figure} \begin{itemize} - \item Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$ nuklearer Bremskraft \item nukleare Bremskraft und Konzentrationsprofil linear gen"ahert - \item Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$ + \item Wahrscheinlichkeit der Amorphisierung $\propto$ nukleare Bremskraft + \item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$ \[ \left\{ \begin{array}{ll} - \textrm{mittlerer nuklearer Bremskraft} & \textrm{ballistische Amorphisierung, } b_{ap} \\ - \textrm{lokale Kohlenstoffkonzentration} & \textrm{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung, } a_{cp} \\ - \textrm{Druckspannungen} & \textrm{spannungsinduzierte Amorphisierung, } a_{ap} + \textrm{mittlerer nuklearer Bremskraft} & \equiv \textrm{ballistische Amorphisierung, } b_{ap} \\ + \textrm{lokale Kohlenstoffkonzentration} & \equiv \textrm{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung, } a_{cp} \\ + \textrm{Druckspannungen} & \equiv \textrm{spannungsinduzierte Amorphisierung, } a_{ap} \end{array} \right . \] \end{itemize} \[ \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =b_{ap} + a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} \end{array} \] @@ -158,7 +161,7 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac} \] \end{itemize} -\section*{variierte Parameter} +\section*{Variierte Parameter} \begin{itemize} \item Schrittzahl \item Amorphisierung beschreibende Parameter @@ -187,7 +190,7 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \begin{slide} \section*{Ergebnisse} -Amorph/Kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe, in der erstmals lamellare Ordnung auftritt +Amorph/Kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe, in der erstmals lamellare Ordnung auftritt. \begin{figure} \begin{center} \includegraphics[height=6cm]{high_low_ac-diff.eps} @@ -197,11 +200,11 @@ Amorph/Kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe, in der erstmals lamella \begin{slide} \section*{Ergebnisse} -Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander -folgenden Ebenen +Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen. \begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[height=6cm]{z_z_plus_1.eps} + \includegraphics[width=6cm]{z_z_plus_1.eps} + \includegraphics[width=5cm]{c_conc_z_z_plus_1.eps} \end{center} \end{figure} \end{slide} -- 2.20.1 From 685656d1ac41afe08e862410beb643bc6ba4f450 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Thu, 4 Mar 2004 20:45:14 +0000 Subject: [PATCH 11/16] post lehrstuhlseminar fixes , part 1 --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 35 +++++++++++++++++++++-------------- 1 file changed, 21 insertions(+), 14 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index c3f79d2..dc1a961 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -32,6 +32,11 @@ \extraslideheight{10in} \slideframe{none} +\def\slideleftmargin{.0in} +\def\sliderightmargin{0in} +\def\slidetopmargin{0in} +\def\slidebottommargin{.2in} % fucking slide number gone now :) + % topic \begin{slide} @@ -55,20 +60,24 @@ \ptsize{8} \begin{slide} -\section*{Cross-Section TEM-Aufnahme selbstorganisierter amorpher Lamellen} +{\large\bf + Cross-Section TEM-Aufnahme selbstorganisierter amorpher Lamellen +} \begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[width=08cm,clip,draft=no]{k393abild1.eps} + \includegraphics[width=10cm]{k393abild1.eps} Hellfeld-TEM-Abbildung, $180 keV \textrm{ } C^+ \rightarrow Si(100)$, $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ \end{center} \end{figure} \end{slide} \begin{slide} -\section*{Modell} -\begin{figure}[t] +{\large\bf + Modell +} +\begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[width=7cm]{model1_.eps} + \includegraphics[width=8cm]{model1_.eps} \end{center} \end{figure} \begin{itemize} @@ -82,20 +91,18 @@ \end{slide} \begin{slide} -\section*{Annahmen/N"aherungen} +{\large\bf + Annahmen/N"aherungen +} \begin{figure} - %\begin{center} - \begin{picture}(200,60)(-150,20) + \begin{picture}(200,0)(-140,80) \includegraphics[width=7cm]{2pTRIM180C.eps} %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps} - \\ - %\emph{TRIM}-Implantationsprofil und Energieversluste - \end{picture} - %\end{center} + \end{picture} \end{figure} \begin{itemize} - \item nukleare Bremskraft und Konzentrationsprofil linear gen"ahert - \item Wahrscheinlichkeit der Amorphisierung $\propto$ nukleare Bremskraft + \item nukleare Bremskraft und \\ Konzentrationsprofil linear gen"ahert + \item Wahrscheinlichkeit der \\ Amorphisierung $\propto$ nukleare Bremskraft \item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$ \[ \left\{ -- 2.20.1 From fd417cf275cee16483bae281766792cb44963255 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Fri, 5 Mar 2004 16:32:22 +0000 Subject: [PATCH 12/16] post lehrstuhl sem fixes, pre dpg 0.1 ;) --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 52 ++++++++++++++++++++++++---------------- 1 file changed, 32 insertions(+), 20 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index dc1a961..65ce047 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -65,7 +65,7 @@ } \begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[width=10cm]{k393abild1.eps} + \includegraphics[width=10cm]{k393abild1_.eps} Hellfeld-TEM-Abbildung, $180 keV \textrm{ } C^+ \rightarrow Si(100)$, $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ \end{center} \end{figure} @@ -106,23 +106,25 @@ \item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$ \[ \left\{ - \begin{array}{ll} - \textrm{mittlerer nuklearer Bremskraft} & \equiv \textrm{ballistische Amorphisierung, } b_{ap} \\ - \textrm{lokale Kohlenstoffkonzentration} & \equiv \textrm{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung, } a_{cp} \\ - \textrm{Druckspannungen} & \equiv \textrm{spannungsinduzierte Amorphisierung, } a_{ap} + \begin{array}{lll} + \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\ + \textrm{\textcolor[rgb]{1,0,0}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{1,0,0}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\ + \textrm{\textcolor[rgb]{0,0,1}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,0,1}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap} \end{array} \right . \] \end{itemize} \[ \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =b_{ap} + a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor[rgb]{1,0,0}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0,0,1}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} \end{array} \] \end{slide} \begin{slide} -\section*{Simulation} +{\large\bf + Simulation +} \begin{figure} \begin{center} \includegraphics[width=7cm]{gitter.eps} @@ -137,26 +139,30 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \end{slide} \begin{slide} -\section*{1) Amorphisierung/Rekristallisation} +{\large\bf + 1) Amorphisierung/Rekristallisation +} \begin{itemize} \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{ca}$ und $p_{ac}$ \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl \end{itemize} -\section*{2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions} -\begin{figure} - \begin{center} - \includegraphics[width=4cm]{sim_window.eps} - \end{center} -\end{figure} +{\large\bf + 2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions +} + \begin{picture}(200,0)(-180,100) + \includegraphics[width=6cm]{sim_window.eps} + \end{picture} \begin{itemize} \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$ - \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung + \item gewichtete Wahl der Koordinaten \\ f"ur Kohlenstofferh"ohung \end{itemize} \end{slide} \begin{slide} -\section*{3) Diffusion} +{\large\bf + 3) Diffusion +} Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \begin{itemize} \item Diffusion im Kristallinen: @@ -168,7 +174,9 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac} \] \end{itemize} -\section*{Variierte Parameter} +{\large\bf + Variierte Parameter +} \begin{itemize} \item Schrittzahl \item Amorphisierung beschreibende Parameter @@ -179,9 +187,11 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \end{slide} \begin{slide} -\section*{Ergebnisse} +{\large\bf + Ergebnisse +} \begin{itemize} - \item Lamellare Strukturen! + \item \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen} \item Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen: \begin{itemize} \item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungswahrscheinlichkeiten @@ -197,7 +207,7 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \begin{slide} \section*{Ergebnisse} -Amorph/Kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe, in der erstmals lamellare Ordnung auftritt. +H"ohere Diffusionsrate $\rightarrow$ gr"o"serer Tiefenbereich \begin{figure} \begin{center} \includegraphics[height=6cm]{high_low_ac-diff.eps} @@ -211,7 +221,9 @@ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen i \begin{figure} \begin{center} \includegraphics[width=6cm]{z_z_plus_1.eps} + Amorph/Kristalline Darstellung \includegraphics[width=5cm]{c_conc_z_z_plus_1.eps} + Kohlenstoffprofil \end{center} \end{figure} \end{slide} -- 2.20.1 From 1a66e470ed65b05efdd1910b3087bfad0ece0361 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sat, 6 Mar 2004 10:34:29 +0000 Subject: [PATCH 13/16] dpg pre 0.2 ;) --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 18 ++++++++++++------ 1 file changed, 12 insertions(+), 6 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 65ce047..fb4792c 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -109,13 +109,13 @@ \begin{array}{lll} \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\ \textrm{\textcolor[rgb]{1,0,0}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{1,0,0}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\ - \textrm{\textcolor[rgb]{0,0,1}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,0,1}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap} + \textrm{\textcolor[rgb]{0.2,0.8,0.1}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0.2,0.8,0.1}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap} \end{array} \right . \] \end{itemize} \[ \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor[rgb]{1,0,0}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0,0,1}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\ + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor[rgb]{1,0,0}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0.2,0.8,0.1}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} \end{array} \] @@ -144,7 +144,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: } \begin{itemize} \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft - \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{ca}$ und $p_{ac}$ + \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$ \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl \end{itemize} {\large\bf @@ -161,7 +161,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \begin{slide} {\large\bf - 3) Diffusion + 3) Diffusion \\ } Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \begin{itemize} @@ -219,12 +219,18 @@ H"ohere Diffusionsrate $\rightarrow$ gr"o"serer Tiefenbereich \section*{Ergebnisse} Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen. \begin{figure} - \begin{center} + \begin{picture}(100,60)(-40,40) \includegraphics[width=6cm]{z_z_plus_1.eps} + \end{picture} + \begin{picture}(200,20)(-200,5) Amorph/Kristalline Darstellung + \end{picture} + \begin{picture}(100,60)(-45,40) \includegraphics[width=5cm]{c_conc_z_z_plus_1.eps} + \end{picture} + \begin{picture}(200,20)(-200,12) Kohlenstoffprofil - \end{center} + \end{picture} \end{figure} \end{slide} -- 2.20.1 From b24394f393e1679f5da74523ff823c1092a8a7a0 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sat, 6 Mar 2004 16:08:08 +0000 Subject: [PATCH 14/16] dpg2004 final! cu montag 10.15 in rgensburg folks ;) --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 41 ++++++++++++++++++++++++++++------------ 1 file changed, 29 insertions(+), 12 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index fb4792c..76674a2 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -1,4 +1,4 @@ -\documentclass{seminar} +\documentclass[semhelv]{seminar} \usepackage{verbatim} \usepackage[german]{babel} @@ -107,15 +107,15 @@ \[ \left\{ \begin{array}{lll} - \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\ - \textrm{\textcolor[rgb]{1,0,0}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{1,0,0}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\ - \textrm{\textcolor[rgb]{0.2,0.8,0.1}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0.2,0.8,0.1}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap} + \textrm{\textcolor{blue}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor{blue}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\ + \textrm{\textcolor{red}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor{red}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\ + \textrm{\textcolor{green}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor{green}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap} \end{array} \right . \] \end{itemize} \[ \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor[rgb]{1,0,0}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0.2,0.8,0.1}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\ + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor{blue}{b_{ap}} + \textcolor{red}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor{green}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} \end{array} \] @@ -147,6 +147,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$ \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl \end{itemize} +\vspace{24pt} {\large\bf 2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions } @@ -157,6 +158,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$ \item gewichtete Wahl der Koordinaten \\ f"ur Kohlenstofferh"ohung \end{itemize} +\vspace{24pt} \end{slide} \begin{slide} @@ -206,7 +208,9 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \end{slide} \begin{slide} -\section*{Ergebnisse} +{\large\bf + Ergebnisse \\ +} H"ohere Diffusionsrate $\rightarrow$ gr"o"serer Tiefenbereich \begin{figure} \begin{center} @@ -216,7 +220,9 @@ H"ohere Diffusionsrate $\rightarrow$ gr"o"serer Tiefenbereich \end{slide} \begin{slide} -\section*{Ergebnisse} +{\large\bf + Ergebnisse \\ +} Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen. \begin{figure} \begin{picture}(100,60)(-40,40) @@ -229,32 +235,43 @@ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen i \includegraphics[width=5cm]{c_conc_z_z_plus_1.eps} \end{picture} \begin{picture}(200,20)(-200,12) - Kohlenstoffprofil + Kohlenstoffverteilung \end{picture} \end{figure} \end{slide} \begin{slide} -\section*{Vergleich mit TEM-Aufnahme} +{\large\bf + Vergleich mit TEM-Aufnahme \\ +} \begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[height=6cm]{if_cmp.eps} + \includegraphics[height=6cm]{if_cmp2.eps} \end{center} \end{figure} \end{slide} \begin{slide} -\section*{Zusammenfassung} +{\large\bf + Zusammenfassung +} \begin{itemize} \item Einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen \item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar \end{itemize} -\section*{Ausblick} +{\large\bf + Ausblick +} \begin{itemize} \item Zusammenhang zwischen Simulations- und Implantationsparametern \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes) \item Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung \end{itemize} +\vspace{32pt} +\begin{flushleft} + {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\ + {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de} +\end{flushleft} \end{slide} \end{document} -- 2.20.1 From 28e474592a11b9b06cf829e04595d552b8489ba4 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Sat, 6 Mar 2004 17:23:32 +0000 Subject: [PATCH 15/16] dpg2004 final! cu montag 10.15 in rgensburg folks ;) --- nlsop/nlsop_dpg_2004.tex | 15 ++++++++------- 1 file changed, 8 insertions(+), 7 deletions(-) diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 76674a2..4004308 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -107,15 +107,15 @@ \[ \left\{ \begin{array}{lll} - \textrm{\textcolor{blue}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor{blue}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\ + \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\ \textrm{\textcolor{red}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor{red}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\ - \textrm{\textcolor{green}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor{green}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap} + \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap} \end{array} \right . \] \end{itemize} \[ \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor{blue}{b_{ap}} + \textcolor{red}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor{green}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\ + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor{red}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} \end{array} \] @@ -259,6 +259,7 @@ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen i \item Einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen \item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar \end{itemize} +\vspace{32pt} {\large\bf Ausblick } @@ -268,10 +269,10 @@ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen i \item Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung \end{itemize} \vspace{32pt} -\begin{flushleft} - {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\ - {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de} -\end{flushleft} +%\begin{flushleft} +% {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\ +% {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de} +%\end{flushleft} \end{slide} \end{document} -- 2.20.1 From f9d402a069b33dd4ed09484028e5f9f40ccec648 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Wed, 17 Mar 2004 15:04:25 +0000 Subject: [PATCH 16/16] f00! --- nlsop/nlsop_emrs_2004.tex | 53 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++ 1 file changed, 53 insertions(+) create mode 100644 nlsop/nlsop_emrs_2004.tex diff --git a/nlsop/nlsop_emrs_2004.tex b/nlsop/nlsop_emrs_2004.tex new file mode 100644 index 0000000..3dd308c --- /dev/null +++ b/nlsop/nlsop_emrs_2004.tex @@ -0,0 +1,53 @@ +\documentclass[twoside]{article} + +\usepackage{verbatim} +\usepackage[english]{babel} +\usepackage[latin1]{inputenc} +\usepackage[T1]{fontenc} +\usepackage{amsmath} +\usepackage{ae} +\usepackage{aecompl} + +\usepackage[dvips]{graphicx} +\graphicspath{{./img/}} + +%\usepackage{./graphs} + +\title{Modelling of a selforganizaton process leading to periodic arrays of nanometric amorphous precipitates by ion irradiation} + +\author{F. Zirkelbach, M. H"aberlen, J.K.N. Lindner and B. Stritzkeri} +%\from{Institute of Physics, University of Augsburg, Universit"atsstrasse 1, D-86135 Augsburg, Germany} + +\hyphenation{} + +\begin{document} + +% +\frontmatter +% + +\maketitle + +{\bf + Abstract +} + + +% +\mainmatter +% + +\section{Introduction} + +\section{ + +% +\backmatter +% + +\listoffigures + +\begin{thebibliography}{20} + \bibitem{} J.K.N. Lindner, Appl. Phys. A 77 (2003) 27-38. + \bibitem{} M. H"aberlen, J.K.N. Lindner, B. Stritzker, Nucl. Instr. and Meth. B 216 (2004) 36-40. +\end{thebibliography} -- 2.20.1