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3 \begin{center}
4
5   {\LARGE\bf
6   Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium \\
7   }
8
9   \vspace{40pt}
10
11   {\large
12   Diplomarbeit\\
13   von\\
14   Frank Zirkelbach \\
15   }
16
17   \vspace{30pt}
18
19   \includegraphics[height=3.3cm]{uni-logo.eps} \\
20
21   \vspace{30pt}
22
23   \includegraphics[height=3cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}
24
25   \vspace{30pt}
26
27   {\large
28   Lehrstuhl für Experimentalphysik IV\\
29   Prof. Dr. Bernd Stritzker\\
30   Institut für Physik\\
31   Universität Augsburg\\
32   }
33
34   \vspace{30pt}
35
36   {\large
37   Oktober 2005\\
38   }
39
40   \vspace{30pt}
41
42   {\large
43   Erstkorrektor:  Prof. Dr. Bernd Stritzker\\
44   Zweitkorrektor: Priv.-Doz. Dr. habil. Volker Eyert
45   }
46
47 \end{center}
48
49 \end{titlepage}