4 \usepackage[german]{babel}
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6 \usepackage[T1]{fontenc}
11 \graphicspath{{./img/}}
13 \author{Frank Zirkelbach}
15 \title{Nanolamellare Selbstordnungsproze"se bei Kohlenstoffimplantation in Silizium}
26 \section{Abbremsung von Ionen}
29 \chapter{Die Simulation}
31 \section{Modellannahmen}
34 \section{Ablaufschema}