4 \usepackage[german]{babel}
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11 \graphicspath{{./img/}}
15 \author{Frank Zirkelbach}
17 \title{Nanolamellare Selbstordnungsproze"se bei Kohlenstoffimplantation in Silizium}
28 \section{Abbremsung von Ionen}
31 \chapter{Die Simulation}
33 \section{Modellannahmen}
36 \section{Ablaufschema}
39 \textnode{start}(2,4){nlsop start}
40 \textnode{rand1}(2,3){zufaellige wahl der Koordinaten:\\$p(x)dx=dx$\\$p(y)dy=dy$\\$p(z)dz=(a_el*z+b_el)dz$}
41 \diredge{start}{rand1}