8 %Atomistic simulation study of the silicon carbide precipitation in silicon\\
17 \selectlanguage{german}
20 Zur Erlangung des akademischen Grades eines\\
21 Doktors der Naturwissenschaften\\
22 der Mathematisch-Naturwissenschaftlichen Fakult"at\\
23 der Universit"at Augsburg vorgelegte
48 Augsburg, im November 2009
58 Erstkorrektor: & Prof. Dr. Bernd Stritzker \\
59 Zweitkorrektor: & Prof. Dr. Kai Nordlund \\
60 Tag der m"undlichen Pr"ufung: & 17. November 2009 \\
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