\subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
\label{subsection:a_r_step}
- \begin{figure}[!h]
+ \begin{figure}[h]
\begin{pspicture}(0,0)(12,18)
\rput(6,18){\rnode{start}{\psframebox{{\em nlsop} Start}}}
\subsection{Einbau des implantierten Kohlenstoffs ins Target}
- \begin{figure}[!h]
+ \begin{figure}[h]
\begin{pspicture}(0,0)(12,5)
\rput(1,5){\rnode{weiter_2}{\psframebox{$\bigotimes$}}}