\author{Frank Zirkelbach}
-\hyphenation{kris-tallin-en}
+\hyphenation{kris-tallin-en Kohlen-stoff-über-sättigung}
\title{Nanolamellare Selbstordnungsprozesse bei Kohlenstoffimplantation in $(100)$-orientiertes Silizium bei Temperaturen kleiner $400 \, ^{\circ} \mathrm{C}$}