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+ \section{Ion-Festk"orper Wechselwirkung}
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+ Zur theoretischen Beschreibung der Ionenimplantation mu"s die Wechselwirkung der Ionen mit dem Target betrachtet werden.
+ Durch St"o"se mit den Kernen und Elektronen des Targets werden die Ionen im Festk"orper abgebremst, ein entsprechendesImplantationsprofil stellt sich ein.
+ Weitere Folgen sind die durch Bestrahlung im Kristallgitter entstehenden Sch"aden.
+ Im Folgenden wird darauf genauer eingegangen.