\subsubsection{Das "Uberlappungsmodell}
Nach dem "Uberlappungsmodell nach Gibbons \cite{gibbons} hinterl"asst jedes Ion ein zylinderf"ormiges, defektreiches Volumen mit der Grundfl"ache $A_i$.
Amorphisierung tritt ein, wenn $m$ Ionen den selben Bereich gesch"adigt haben, also nach $m-1$-facher "Uberlappung.
Der "Uberlappungsparameter $m$ ist im wesentlichen abh"angig von der Ionenmasse.
\subsubsection{Das "Uberlappungsmodell}
Nach dem "Uberlappungsmodell nach Gibbons \cite{gibbons} hinterl"asst jedes Ion ein zylinderf"ormiges, defektreiches Volumen mit der Grundfl"ache $A_i$.
Amorphisierung tritt ein, wenn $m$ Ionen den selben Bereich gesch"adigt haben, also nach $m-1$-facher "Uberlappung.
Der "Uberlappungsparameter $m$ ist im wesentlichen abh"angig von der Ionenmasse.