+ In einer Tiefe von ungef"ahr $300 nm$ beginnt die amorphe durchgehende Schicht.
+ An der vorderen Grenzfl"ache sind die lamellaren und sph"arischen $SiC_x$-Ausscheidungen zu erkennen.
+ Diese erstrecken sich "uber einen Tiefenbereich von ca. $100 nm$.
+ Im rechten Teil von Abbildung \ref{img:xtem_img} sieht man einen vergr"osserten Ausschnitt der vorderen Grenzfl"ache.
+ Man erkennt die regelm"assige Anordnung der lamellaren Ausscheidungen in Abst"anden die ungef"ahr der H"ohe der Ausscheidungen selbst entspricht.
+ Die Lamellen sind parallel zur Targetoberfl"ache ausgerichtet.
+