-Die Implementierung einer Monte-Carlo-Simulation entsprechend des vorgestellten Modells wurde diskutiert.
-In einer ersten Version wurde bis zu Beginn der durchgehenden amorphen Schicht simuliert.
-Nukleare Bremskraft und Implantationsprofil wurden linear gen"ahert.
-Die zweite Version umfasst den kompletten Implantationsbereich einschliesslich der amorphen durchgehenden Schicht.
-Hier wurde ein exaktes Bremskraft- und Implantationsprofil verwendet.
-Implantationsparameter erm"oglchen die Steuerung des Amorphisierungsprozesses.
-Die drei zur Amorphisierung beitragenden Mechanismen ballistische Amorphisierung, kohlenstoff-induzierte Amorphisierung und spannungs-induzierte Amorphisierung k"onnen durch Simulationsparameter gewichtet werden.
+Die Implementierung einer Monte-Carlo-Simulation entsprechend des vorgestellten Modells wird diskutiert.
+In einer ersten Version wird der Tiefenbereich von der Oberfl"ache des Targets bis zum Beginn der durchgehend amorphen Schicht simuliert.
+Nukleare Bremskraft und Implantationsprofil werden linear gen"ahert.
+Die zweite Version umfasst den kompletten Implantationsbereich einschlie"slich der durchgehend amorphen Schicht.
+Die Simulation soll die Bildung der Schicht zusammen mit der Ausscheidung der Lamellen reproduzieren.
+Hier wird ein exaktes Bremskraft- und Implantationsprofil verwendet.
+Implantationsparameter erm"oglichen die Steuerung des Amorphisierungsprozesses.
+Die drei zur Amorphisierung beitragenden Mechanismen ballistische Amorphisierung, kohlenstoffinduzierte Amorphisierung und spannungsinduzierte Amorphisierung k"onnen durch Simulationsparameter gewichtet werden.