- \item Strahlensch"adigung $\simeq$ nukleare Bremskraft (linear gen"ahert)
- \item Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\simeq$ Druckspannungen
- \item lineare N"aherung des Implantationsprofils
+ \item nukleare Bremskraft und Konzentrationsprofil linear gen"ahert
+ \item Wahrscheinlichkeit der Amorphisierung $\propto$ nukleare Bremskraft
+ \item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$
+ \[
+ \left\{
+ \begin{array}{ll}
+ \textrm{mittlerer nuklearer Bremskraft} & \equiv \textrm{ballistische Amorphisierung, } b_{ap} \\
+ \textrm{lokale Kohlenstoffkonzentration} & \equiv \textrm{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung, } a_{cp} \\
+ \textrm{Druckspannungen} & \equiv \textrm{spannungsinduzierte Amorphisierung, } a_{ap}
+ \end{array} \right .
+ \]