-\end{slide}
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-\begin{slide}
-\uni-header
-\section*{Annahmen}
-\begin{itemize}
- \item Strahlensch"adigung $\simeq$ nukleare Bremskraft (linear gen"ahert)
- \item Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\simeq$ Druckspannungen
- \item lineare N"aherung des Implantationsprofils
-\end{itemize}
-\end{slide}
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-\uni-header
-\section*{Simulation}
-\begin{itemize}
- \item Unterteilung des Silizium-Targets in Zellen ($x=50$, $y=50$, $z=100$)
- \item Zelle enth"alt folgende Eigenschaften/Informationen:
- \begin{itemize}
- \item Kantenl"ange $3nm$ (Simulationsfenster ist $300nm$ tief bei $100$ Zellen)
- \item Zustand: amorph/kristallin
- \item Kohlenstoffkonzentration
- \end{itemize}
- \end{itemize}
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-\uni-header
-\section*{Simulation}