- \end{picture}
-\end{figure}
-\begin{itemize}
- \item nukleare Bremskraft und \\ Konzentrationsprofil linear gen"ahert
- \item Wahrscheinlichkeit der \\ Amorphisierung $\propto$ nukleare Bremskraft
- \item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$
- \[
- \left\{
- \begin{array}{lll}
- \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\
- \textrm{\textcolor{red}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor{red}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\
- \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap}
- \end{array} \right .
- \]
-\end{itemize}
-\[
- \begin{array}{ll}
- p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor{red}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\
- p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a}
- \end{array}
-\]
+ \end{figure}
+\end{picture}
+\begin{tabular}{l|c|c}
+ & Version 1 & Version 2 \\
+ \hline{}
+ Anzahl Zellen $(x,y,z)$ & $64 \times 64 \times 100$ & $64 \times 64 \times 233$ \\
+ \hline{}
+ nukleares Bremskraftprofil & linear gen"ahert & exakt (TRIM) \\
+ \hline{}
+ Implantationsprofil & linear gen"ahert & exakt (TRIM) \\
+ \hline{}
+ Treffer pro implantierten Teilchen & $1$ & exakt (TRIM) \\
+ \hline{}
+ Anzahl der implantierten Teilchen & freier Parameter & $\equiv$ Dosis \\
+\end{tabular}