-\begin{figure}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=7cm]{gitter.eps}
- \end{center}
-\end{figure}
-Dreiteilung des Simulationsalgorithmus:
-\begin{enumerate}
- \item Amorphisierung/Rekristallisation
- \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target
- \item Diffusionsprozess
-\end{enumerate}
-\end{slide}
-
-\begin{slide}
-{\large\bf
- 1) Amorphisierung/Rekristallisation
-}
-\begin{itemize}
- \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
- \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$
- \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
-\end{itemize}
-\vspace{24pt}
-{\large\bf
- 2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions
-}
- \begin{picture}(200,0)(-180,100)
- \includegraphics[width=6cm]{sim_window.eps}
- \end{picture}
-\begin{itemize}
- \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$
- \item gewichtete Wahl der Koordinaten \\ f"ur Kohlenstofferh"ohung
-\end{itemize}
-\vspace{24pt}
+%\begin{picture}(50,50)(-50,0)
+ \begin{figure}
+ \includegraphics[width=7cm]{gitter_oZ.eps}
+ \end{figure}
+%\end{picture}
+\begin{picture}(200,0)(-180,0)
+ \begin{figure}
+ \includegraphics[width=6cm]{2pTRIM180C.eps}
+ %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps}
+ \end{figure}
+\end{picture}
+\begin{tabular}{l|c|c}
+ & Version 1 & Version 2 \\
+ \hline{}
+ Anzahl Zellen $(x,y,z)$ & $64 \times 64 \times 100$ & $64 \times 64 \times 233$ \\
+ \hline{}
+ nukleares Bremskraftprofil & linear gen"ahert & exakt (TRIM) \\
+ \hline{}
+ Implantationsprofil & linear gen"ahert & exakt (TRIM) \\
+ \hline{}
+ Kollision pro implantierten Teilchen & $1$ & exakt (TRIM) \\
+ \hline{}
+ Anzahl der implantierten Teilchen & ~ $30$ Millionen & $\equiv$ Dosis \\
+\end{tabular}