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diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex
index 0f3bbe9bf8cb4862388c7478a3ad012233aaa2e7..797b7654178f67c66b03b9aa838758686c13f7bb 100644 (file)
--- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex
+++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex
@@ -74,7 +74,7 @@
 \begin{itemize}
  \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium \\ $\rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
  \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
- \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
+ \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
  \item d"unnes Target \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung
  \item Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete
 \end{itemize}
@@ -150,7 +150,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus:
  \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit
   \[
     \begin{array}{ll}
-     p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\
+     p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\
      p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a}
    \end{array}
   \]
@@ -250,7 +250,7 @@ Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme:
  \begin{center}
   \includegraphics[height=3.5cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps}
   \includegraphics[height=3.5cm]{tem-if.eps}
-  \caption{Vergleich von Simulationsergebniss und TEM-Aufnahme}
+  \caption{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}
  \end{center}
 \end{figure}
 \end{slide}

diff --git a/nlsop/nlsop_fp_b.tex b/nlsop/nlsop_fp_b.tex
index 516546c008e33f758bd9d6b2998023a6badefe15..c9e6a12157bcba0551dd64d3fa97cb641835532e 100644 (file)
--- a/nlsop/nlsop_fp_b.tex
+++ b/nlsop/nlsop_fp_b.tex
@@ -204,7 +204,7 @@ Der Simulationsalgorithmus kann in drei Teile gegliedert werden. Jeder Durchlauf
     $p(x)dx=dx \textrm{, } p(y)dy=dy \textrm{, } p(z)dz=(a_{el} \times z+b_{el})dz$
    \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallationswahrscheinlichkeit:\\
     Die Wahrscheinlichkeit der Amorphisierung einer Zelle soll proportional zur Druckspannung auf das Gebiet und der eigenen Kohlenstoffkonzentration sein. Daher gilt:\\
-    $\displaystyle p_{c \rightarrow a}=a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}$\\
+    $\displaystyle p_{c \rightarrow a}=a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}$\\
     Die Koordinaten f"ur den Sto"sprozess werden durch Ausw"urfeln von drei Zufallszahlen erzeugt.
     Die Rekristallisation sollte sich genau entgegengesetzt verhalten und wird zur Vereinfachung als $\displaystyle p_{a \rightarrow c}=1-p_{c \rightarrow a}$ angenommen. Eine weitere Zufallszahl entscheidet ob das Gebiet amorph wird, rekristallisiert oder den derzeitigen Zustand beibeh"alt.
   \end{itemize}