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     \subsection{Die Monte-Carlo-Simulation {\em TRIM}}
 
     \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung}
+
+    Durch die Bestrahlung des Targets werden Sch"aden im Kristallgitter hervorgerufen.
+    Dabei werden Targetatome durch St"o"se mit Ionen verlagert, oder durch St"o"se durch bereits angesto"sene Atome, sogenannten Recoils, wenn diese mindestens die Verlagerungsenergie $E_d$ besitzen.
+    Im letzten Fall spricht man auch von Verlagerungskaskaden.
+    Die in einem prim"aren Sto"s verlagerten Atome, durch ein Ion der Energie $E$, kann nach Kinchin Pease zu
+    \[
+    N_{p,d} = \frac{E}{E_d}
+    \]
+    abgesch"atzt werden.
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+    Gleichzeitig heilen Defekte aus, indem verlagerte Gitteratome an ihren Gitterplatz zur"uckkehren.
+    Bei der thermischen Defektausheilung wird dies durch die thermisch erh"ohte Mobilit"at der Defekte erm"oglicht.
+    Andererseits kann der Ionenstrahl selbst zur Defektausheilung beitragen.
+    Dieser kann an amorph-kristallinen Grenzfl"achen Rekristallisation beg"unstigen oder auch zur Bildung von Kristallisationskeimen in amorphen Gebieten f"uhren.
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