\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{Zusammenfassung, Version 2}
\begin{itemize}
- \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphern Phasen
+ \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphen Phasen
\item Gute "Ubereinstimmung zwischen Experiment und Simulation (bis auf $30 \, nm$-Shift)
\item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar
\item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen
- \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen
+ \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen
\end{itemize}
\end{frame}
\frametitle{Zusammenfassung}
\begin{itemize}
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- \item Experiemntell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen
+ \item Experimentell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen
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\item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges
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\item Implementierung in einen Monte-Carlo-Simulationscode
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- \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experiemntellen Befunde
+ \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experimentellen Befunde
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- \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich
+ \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich
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\item Vorhersage zur Herstellung gro"ser Bereiche lamellar geordneter Strukturen
\end{itemize}