\item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung entsprechend Implantationsprofil
\item lokale Erh"ohung des Kohelnstoffgehalts
\end{itemize}
- \item Diffusionsprozess und Sputtering
+ \item Diffusionsprozess und Sputtern
\begin{itemize}
\item Kohelnstoffdiffusion von kristallinen in amorphe Gebiete alle $d_v$ Schritte:
\[
\begin{itemize}
\item Einfluss der Diffusion
\end{itemize}
-\begin{figure}
- \begin{center}
- \includegraphics[height=6cm]{high_low_ac-diff.eps}
- \end{center}
-\end{figure}
+\begin{tabular}{lr}
+ \includegraphics[height=5cm]{diff_einfluss.eps} &
+ \includegraphics[height=5cm]{sim2-a004-Z_and_noZ-TEMVIEW-ls.eps} \\
+\end{tabular}
\end{slide}
\begin{slide}
}
\begin{figure}
\begin{center}
- \includegraphics[height=6cm]{if_cmp2.eps}
+ \includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung2.eps}
\end{center}
\end{figure}
+Dosisentwicklung \\
+{\small a) $1.0 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\
+{\small b) $3.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\
+{\small c) $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\
\end{slide}
\begin{slide}
Zusammenfassung
}
\begin{itemize}
- \item Einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen
+ \item einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen
\item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar
\end{itemize}
\vspace{32pt}
Ausblick
}
\begin{itemize}
- \item Zusammenhang zwischen Simulations- und Implantationsparametern
- \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes)
- \item Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung
+ \item mehr \dq Version 2 \dq{} - Versuche
+ \item Simulation anderer Ion-Target Kombinationen \\
+ $\rightarrow$ Zusammenhang zwischen Simulations und Implantationsparametern
\end{itemize}
\vspace{32pt}
-%\begin{flushleft}
-% {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\
-% {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-%\end{flushleft}
+\begin{flushleft}
+ {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\
+ {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
+\end{flushleft}
\end{slide}
\end{document}