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authorhackbard <hackbard>
Wed, 2 Nov 2005 01:50:07 +0000 (01:50 +0000)
committerhackbard <hackbard>
Wed, 2 Nov 2005 01:50:07 +0000 (01:50 +0000)
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index a9c697deee263d9957f9775a92fdbf4755504d45..26967957b7cf137992179fd07243ded68490af2e 100644 (file)
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 \begin{document}
 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
 \author{Frank Zirkelbach}
 \email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik - Universit"at Augsburg}
+\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
+\slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
+\Logo{\includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}}
 
 \maketitle
 
-\overlays{7}{
+\overlays{8}{
 \begin{slide}{"Uberblick}
 \begin{itemstep}
   \item Motivation
   \item Das Modell
   \item Die Simulation
   \item Ergebnisse
-  \item Herstellung breter lamellarer Bereiche
+  \item Anwendung
   \item Zusammenfassung
 \end{itemstep}
 \end{slide}}
 
 \overlays{3}{
 \begin{slide}{Motivation}
+Ionenimplantation
 \begin{itemstep}
- \item Ionenimplantation
- \item Selbstorganisation
- \item Monte-Carlo-Simulation
+ \item exakte Dosierbarkeit
+ \item Reproduzierbarkeit
+ \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
 \end{itemstep}
 \end{slide}}