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\begin{document}
\subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
\author{Frank Zirkelbach}
\email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik - Universit"at Augsburg}
+\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
+\slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
+\Logo{\includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}}
\maketitle
-\overlays{7}{
+\overlays{8}{
\begin{slide}{"Uberblick}
\begin{itemstep}
\item Motivation
\item Das Modell
\item Die Simulation
\item Ergebnisse
- \item Herstellung breter lamellarer Bereiche
+ \item Anwendung
\item Zusammenfassung
\end{itemstep}
\end{slide}}
\overlays{3}{
\begin{slide}{Motivation}
+Ionenimplantation
\begin{itemstep}
- \item Ionenimplantation
- \item Selbstorganisation
- \item Monte-Carlo-Simulation
+ \item exakte Dosierbarkeit
+ \item Reproduzierbarkeit
+ \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
\end{itemstep}
\end{slide}}