\subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}
\begin{figure}[h]
- \includegraphics[width=9cm]{really_all_z-z_plus1.eps}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=7cm]{really_all_z-z_plus1.eps}
+ \end{center}
\caption{Amorph/Kristalline Struktur, Kohlenstoffverteilung und Druckspannungen in zwei aufeinander folgenden Ebenen $z$ und $z=1$.}
\label{img:s_c_s_distrib}
\end{figure}
In den kristallinen Gebieten der amorph/kristallinen Grenzfl"ache reicht auch das Spannungsfeld nichtmehr aus um den amorphen Zustand zu stabilisieren.
\begin{figure}[h]
- \includegraphics[width=9cm]{ac_cconc_d.eps}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=12cm]{ac_cconc_d.eps}
+ \end{center}
\caption{Cross-Section und Tiefenprofil des Kohlenstoffs in einem Target mit lamellaren Strukturen. Abgebildet ist der Kohlenstoff in amorphen und kristallinen Gebieten (schwarz), in kristallinen Gebieten (rot) und in amorphen Gebieten (gr"un).}
\label{img:c_distrib}
\end{figure}
\section{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
+ Im Folgenden wird die zweite Version des Programms diskutiert.
+ Hier wird "uber den gesamten Implantatiosnbereich, von $0$ bis $700 nm$ simuliert.
+
\subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
+ Abbildung x zeigt den Vergleich der \ldots
+
\subsection{Variation der Simulationsparameter}
\subsection{Kohlenstoffverteilung}