% start of content
\ptsize{8}
+\begin{slide}
+{\large\bf
+ "Uberblick
+}
+\begin{itemize}
+ \item TEM-Aufnahme selbstorganisierter $SiC_x$-Ausscheidungen
+ \item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsprozesses
+ \item Umsetzung des Modells in eine Monte-Carlo-Simulation
+ \item Ergebnisse
+ \begin{itemize}
+ \item Einfluss der Diffusion
+ \item Vergleich von Simulationsergebnissen mit TEM-Aufnahmen
+ \item Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung
+ \end{itemize}
+ \item Zusammenfassung
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
\begin{slide}
{\large\bf
Cross-Section TEM-Aufnahme selbstorganisierter amorpher Lamellen
}
\begin{figure}
\begin{center}
- \includegraphics[width=8cm]{model1_s_german.eps}
+ \includegraphics[width=10cm]{model1_s_german.eps}
\end{center}
\end{figure}
+ \scriptsize
\begin{itemize}
- \small
\item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
\item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
\item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
\displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} \qquad + \qquad \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} \qquad + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\
\]
\begin{picture}(70,15)(-28,0)
- \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
+ \bf \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
\end{picture}
\begin{picture}(100,15)(-15,0)
- \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
+ \bf \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
\end{picture}
\begin{picture}(120,15)(-40,0)
- \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
+ \bf \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
\end{picture}
\begin{picture}(300,40)
$
{\large\bf
Ergebnisse - Version 2 \\
}
-\begin{picture}(100,15)(0,0)
- Dosisentwicklung
+\begin{picture}(300,15)(0,0)
+ Kinetik des Selbstorganisationsprozesses im gesamten
+\end{picture}
+\begin{picture}(300,15)(0,-5)
+ Implantationsbereich reproduzierbar
\end{picture}
\begin{figure}
\begin{center}