\end{itemize}
\end{slide}
-\begin{slide}
-{\large\bf
- Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit \\
-}
-Beitr"age zur Amorphisierung
-\begin{itemize}
- \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
- \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
- \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
-\end{itemize}
-\vspace{12pt}
-Berechnung der Wahrscheinlichkeiten
-\[
- \begin{array}{ll}
- \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\
- \vspace{6pt}
- p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit} \\
- \end{array}
-\]
-\begin{displaymath}
- \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll}
- 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
- 0 & \textrm{sonst} \\
- \end{array} \right.
-\end{displaymath}
-\end{slide}
-
\begin{slide}
{\large\bf
Simulation
\hline{}
Implantationsprofil & linear gen"ahert & exakt (TRIM) \\
\hline{}
- Kollision pro implantierten Teilchen & $1$ & exakt (TRIM) \\
+ Treffer pro implantierten Teilchen & $1$ & exakt (TRIM) \\
\hline{}
- Anzahl der implantierten Teilchen & ~ $30$ Millionen & $\equiv$ Dosis \\
+ Anzahl der implantierten Teilchen & freier Parameter & $\equiv$ Dosis \\
\end{tabular}
\end{slide}
+\begin{slide}
+{\large\bf
+ Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit \\
+}
+%\begin{itemize}
+% \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
+% \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
+% \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
+%\end{itemize}
+\[
+ \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\
+\]
+
+\[
+ p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit} \\
+\]
+\begin{displaymath}
+ \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll}
+ 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
+ 0 & \textrm{sonst} \\
+ \end{array} \right.
+\end{displaymath}
+\end{slide}
+
\begin{slide}
{\large\bf
Simulationsalgorithmus
}
-\begin{enumerate}
- \item Amorphisierung/Rekristallisation
- \begin{itemize}
- \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
- \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$
- \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
- \end{itemize}
- \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target
- \begin{itemize}
- \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung entsprechend Implantationsprofil
- \item lokale Erh"ohung des Kohelnstoffgehalts
- \end{itemize}
- \item Diffusionsprozess und Sputtern
- \begin{itemize}
- \item Kohelnstoffdiffusion von kristallinen in amorphe Gebiete alle $d_v$ Schritte:
- \[
- \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac}
- \]
- \item Nachr"ucken einer kristallinen kohlenstofffreien Ebene von oben
- \end{itemize}
-\end{enumerate}
+ \includegraphics[width=10cm]{flowchart.eps}
\end{slide}
+%\begin{slide}
+%{\large\bf
+% Simulationsalgorithmus
+%}
+%\begin{enumerate}
+% \item Amorphisierung/Rekristallisation
+% \begin{itemize}
+% \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
+% \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$
+% \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
+% \end{itemize}
+% \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target
+% \begin{itemize}
+% \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung entsprechend Implantationsprofil
+% \item lokale Erh"ohung des Kohelnstoffgehalts
+% \end{itemize}
+% \item Diffusionsprozess und Sputtern
+% \begin{itemize}
+% \item Kohelnstoffdiffusion von kristallinen in amorphe Gebiete alle $d_v$ Schritte:
+% \[
+% \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac}
+% \]
+% \item Nachr"ucken einer kristallinen kohlenstofffreien Ebene von oben
+% \end{itemize}
+%\end{enumerate}
+%\end{slide}
+
\begin{slide}
{\large\bf
Ergebnisse - Version 1
{\large\bf
Ergebnisse - Version 2
}
+\begin{itemize}
+ \item Dosisentwicklung
+\end{itemize}
\begin{figure}
\begin{center}
\includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung2.eps}
\end{center}
\end{figure}
-Dosisentwicklung \\
-{\small a) $1.0 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\
-{\small b) $3.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\
-{\small c) $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\
\end{slide}
\begin{slide}