\usepackage{aecompl}
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+%\usepackage{pstricks}
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\graphicspath{{../img}}
\usepackage{hyperref}
\frametitle{Einf"uhrung}
\framesubtitle{Selbstorganisation}
\begin{columns}
- \column{4.5cm}
- \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh.eps}}
- \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg.eps}}
- \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2.eps}}
- \column{6.5cm}
+ \column{5.0cm}
+ \only<1>{
+ \includegraphics[height=5.8cm]{ripple_bh.eps}\\
+ \vspace{0.2cm}
+ \tiny{
+ R. M. Bradley, J. M. E. Harper.\\
+ J. Vac. Sci. Technol. A 6 (1988) 2390.
+ }
+ }
+ \only<2>{
+ \includegraphics[width=5cm]{frost.eps}
+ \scriptsize{
+ $1000 \,keV$ $Ar^+ \rightarrow$ $InAs$,\\
+ rotierendes Target,\\
+ $T=285 \, K$, $\dot{D}=270 \, \mu A \, cm^{-2}$,\\
+ $t=60 \, min.$, $\alpha = 30 \, ^{\circ}$.\\
+ }
+ \vspace{0.5cm}
+ \tiny{
+ B. Ziberi, F. Frost, M. Tartz, H. Neumann,\\
+ B. Rauschenbach.\\
+ Thin Solid Films 459 (2004) 106.
+ }
+ }
+ \only<3>{
+ \includegraphics[height=5cm]{bin_leg.eps}\\
+ \tiny{
+ R. A. Enrique, P. Bellon.\\
+ Phys. Rev. B 60 (1999) 14649.
+ }
+ }
+ \only<4>{
+ \includegraphics[width=5cm]{bolse2.eps}
+ \scriptsize{
+ $230 \, MeV$ $Kr^+ \rightarrow NiO/SiO_2$,\\
+ $D=1.7 \times 10^{14} cm{-2}$, $\theta = 75 \, ^{\circ}$.
+ }\\
+ \vspace{0.5cm}
+ \tiny{
+ W. Bolse, A. Schattat, A. Feyh.\\
+ Appl. Phys. A 77 (2003) 11.
+ }
+ }
+ \column{7cm}
\begin{enumerate}
\item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache
- \item<2-> separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
- \item<3-> periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
+ \item<2-> selbstorganisierte Nanostrukturen durch Sputtererosion
+ \item<3-> separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
+ \item<4-> periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
\end{enumerate}
\end{columns}
\end{frame}
\begin{frame}
\frametitle{Grundlagen}
\framesubtitle{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}
- \begin{block}{Prinzip}
+ \begin{block}{Monte-Carlo-Methode}
+ Abbildung von Zufallszahlen auf physikalische Gr"o"sen
+ \end{block}
+ \begin{block}{Das Prinzip von TRIM}
\begin{itemize}
\item Verfolgung einer Vielzahl von Teilchenbahnen
\pause
\item Energieverlust durch St"o"se
\pause
\item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_k$
- \pause
- \item Abbildung von Zufallszahlen auf:
- \begin{itemize}
- \item freie Wegl"ange $l$
- \item Sto"sparameter $p \quad \Rightarrow$ Ablenkwinkel $\Theta \Rightarrow \Delta E$
- \item Azimutwinkel $\Phi$
- \end{itemize}
\end{itemize}
\end{block}
\end{frame}
+\begin{frame}
+ \frametitle{Grundlagen}
+ \framesubtitle{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}
+ Abbildung der Zufallszahlen auf die physikalischen Gr"o"sen
+ \begin{columns}
+ \column{8cm}
+ \begin{pgfpicture}{0cm}{0cm}{8cm}{7cm}
+ % free path of flight l
+ \onslide<3->{
+ \color{blue}
+ \pgfxyline(1,5)(3,5)
+ \pgfputat{\pgfxy(1.75,5.1)}{\pgfbox[center,bottom]{$l$}}
+ \color{black}
+ }
+ % the atom and impact parameter p
+ \onslide<4->{
+ \pgfcircle[fill]{\pgfxy(3,6)}{0.1cm}
+ \color{red}
+ \pgfxyline(3,6)(3,5)
+ \pgfputat{\pgfxy(2.9,5.5)}{\pgfbox[right,base]{$p$}}
+ \color{black}
+ }
+ % the scattering angle theta
+ \onslide<5->{
+ \pgfmoveto{\pgfxy(3,5)}
+ \pgflineto{\pgfxy(7,2)}
+ \pgfsetdash{{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}}{0cm}
+ \pgfstroke
+ \pgfsetdash{{1cm}{0cm}{1cm}{0cm}}{0cm} % reset dash ... strange!
+ \pgfputat{\pgfxy(3.9,4.6)}{\pgfbox[right,base]{$\Theta$}}
+ }
+ % ion + direction
+ \onslide<2->{
+ \pgfcircle[fill]{\pgfxy(1,5)}{0.1cm}
+ \pgfmoveto{\pgfxy(1,5)}
+ \pgflineto{\pgfxy(7,5)}
+ \pgfsetdash{{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}}{0cm}
+ \pgfstroke
+ \pgfsetdash{{1cm}{0cm}{1cm}{0cm}}{0cm} % reset dash ... strange!
+ }
+ \end{pgfpicture}
+ \column{4cm}
+ \begin{itemize}
+ \item<3-> mittlere freie Wegl"ange \color{blue}{$l$}
+ \item<4-> Sto"sparameter \color{red}{$p$}\\
+ \color{black} % reset color ...
+ \onslide<5->{$\Rightarrow$ $\Theta$, $\Delta E$}
+ \item<6-> Azimutwinkel $\Phi$
+ \end{itemize}
+ \end{columns}
+\end{frame}
+
\section{Experimentelle Befunde und Modell}
\subsection{Experimentelle Befunde}
\includegraphics[height=5.5cm]{k393abild1_pres.eps}
\end{center}
\begin{center}
- {\scriptsize\bf Hellfeld-TEM-Abbildung: $180 \, keV \, C^+ \rightarrow (100)Si$, $T = 150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $D = 4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
+ {\scriptsize\bf Hellfeld-XTEM-Abbildung: $180 \, keV \, C^+ \rightarrow (100)Si$, $T = 150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $D = 4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
\end{center}
\end{frame}
\framesubtitle{Kohlenstoffsegregation}
\begin{center}
\includegraphics[width=10cm]{eftem.eps}
- {\scriptsize Hellfeld-TEM- und Elementverteilungsaufnahme. $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$, $T=200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$.}
+ {\scriptsize Hellfeld-XTEM- und Kohlenstoffverteilungsaufnahme. $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$, $T=200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$.}
\end{center}
\end{frame}