{\large\bf
Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit \\
}
+\vspace{12pt}
\[
\displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} \qquad + \qquad \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} \qquad + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\
\]
p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit}
$
\end{picture}
+\vspace{6pt}
\begin{displaymath}
\delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll}
1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
{\large\bf
Simulationsalgorithmus
}
- \includegraphics[width=10cm]{flowchart2.eps}
+ \includegraphics[width=11cm]{flowchart2.eps}
\end{slide}
%\begin{slide}
\begin{slide}
{\large\bf
- Ergebnisse - Version 1
+ Ergebnisse - Version 1 \\
}
-\begin{itemize}
- \item \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen}
- \begin{center}
- \includegraphics[height=6cm]{if_cmp3.eps}
- \end{center}
- \end{itemize}
+\begin{picture}(100,15)(0,0)
+ \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen}
+\end{picture}
+\begin{center}
+ \includegraphics[height=7cm]{if_cmp3.eps}
+\end{center}
\end{slide}
\begin{slide}
{\large\bf
- Ergebnisse - Version 1
+ Ergebnisse - Version 1 \\
}
-\begin{itemize}
- \item Einfluss der Diffusion
-\end{itemize}
+\begin{picture}(100,25)(0,-10)
+ Einfluss der Diffusion
+\end{picture}
+\vspace{6pt}
\begin{tabular}{lr}
\includegraphics[height=5cm]{diff_einfluss.eps} &
- \includegraphics[height=5cm]{sim2-a004-Z_and_noZ-TEMVIEW-ls.eps} \\
+ \includegraphics[height=5cm]{sim2-a004-Z_and_noZ-TEMVIEW-ls2.eps} \\
\end{tabular}
\end{slide}
\begin{slide}
{\large\bf
- Ergebnisse - Version 1
+ Ergebnisse - Version 1 \\
}
-\begin{itemize}
- \item Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen.
-\end{itemize}
+\begin{picture}(300,15)(0,0)
+ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen
+\end{picture}
+\begin{picture}(300,15)(0,-5)
+ in aufeinander folgenden Ebenen.
+\end{picture}
\begin{tabular}{lr}
\includegraphics[height=7cm]{really_all_z-z_plus1.eps} &
\includegraphics[width=8cm]{ac_cconc_d.eps} \\
\begin{slide}
{\large\bf
- Ergebnisse - Version 2
+ Ergebnisse - Version 2 \\
}
-\begin{itemize}
- \item Dosisentwicklung
-\end{itemize}
+\begin{picture}(100,15)(0,0)
+ Dosisentwicklung
+\end{picture}
\begin{figure}
\begin{center}
\includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung2.eps}
Zusammenfassung
}
\begin{itemize}
- \item einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen
- \item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar
-\end{itemize}
-\vspace{32pt}
-{\large\bf
- Ausblick
-}
-\begin{itemize}
- \item mehr \dq Version 2 \dq{} - Versuche
- \item Simulation anderer Ion-Target Kombinationen \\
- $\rightarrow$ Zusammenhang zwischen Simulations und Implantationsparametern
+ \item selbstorganisierte Anordnung nanometrischer Ausscheidungen bei Ionenimplantation \\
+ $C \rightarrow Si \qquad T_{i}: 150 - 350 \, ^{\circ} \mathrm{C} \qquad D \le 8 \times 10^{17} cm^{-2}$
+ \item Amorphisierung $\rightarrow$ Dichteunterschied $\rightarrow$ Spannungen $\rightarrow$ Selbstorganisation
+ \item Modell: Wahrscheinlichkeiten f"ur Amorphisierung/Rekristallisation abh"angig von:
+ \begin{itemize}
+ \item nuklearer Bremskraft
+ \item Implantationsprofil
+ \item Spannungen
+ \end{itemize}
+ \item lamellare Anordnung nachvollziehbar durch Simulation
+ \item Entwicklung der Morphologie der a/c-Grenzfl"ache reproduzierbar
\end{itemize}
\vspace{32pt}
-\begin{flushleft}
- {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\
- {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-\end{flushleft}
\end{slide}
\end{document}