}
\begin{figure}
\begin{center}
- \includegraphics[width=10cm]{k393abild1.eps}
+ \includegraphics[width=10cm]{k393abild1_.eps}
Hellfeld-TEM-Abbildung, $180 keV \textrm{ } C^+ \rightarrow Si(100)$, $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$
\end{center}
\end{figure}
\item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$
\[
\left\{
- \begin{array}{ll}
- \textrm{mittlerer nuklearer Bremskraft} & \equiv \textrm{ballistische Amorphisierung, } b_{ap} \\
- \textrm{lokale Kohlenstoffkonzentration} & \equiv \textrm{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung, } a_{cp} \\
- \textrm{Druckspannungen} & \equiv \textrm{spannungsinduzierte Amorphisierung, } a_{ap}
+ \begin{array}{lll}
+ \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\
+ \textrm{\textcolor[rgb]{1,0,0}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{1,0,0}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\
+ \textrm{\textcolor[rgb]{0,0,1}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,0,1}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap}
\end{array} \right .
\]
\end{itemize}
\[
\begin{array}{ll}
- p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =b_{ap} + a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\
+ p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor[rgb]{1,0,0}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0,0,1}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\
p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a}
\end{array}
\]
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Simulation}
+{\large\bf
+ Simulation
+}
\begin{figure}
\begin{center}
\includegraphics[width=7cm]{gitter.eps}
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{1) Amorphisierung/Rekristallisation}
+{\large\bf
+ 1) Amorphisierung/Rekristallisation
+}
\begin{itemize}
\item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
\item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{ca}$ und $p_{ac}$
\item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
\end{itemize}
-\section*{2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions}
-\begin{figure}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=4cm]{sim_window.eps}
- \end{center}
-\end{figure}
+{\large\bf
+ 2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions
+}
+ \begin{picture}(200,0)(-180,100)
+ \includegraphics[width=6cm]{sim_window.eps}
+ \end{picture}
\begin{itemize}
\item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$
- \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung
+ \item gewichtete Wahl der Koordinaten \\ f"ur Kohlenstofferh"ohung
\end{itemize}
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{3) Diffusion}
+{\large\bf
+ 3) Diffusion
+}
Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt.
\begin{itemize}
\item Diffusion im Kristallinen:
\Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac}
\]
\end{itemize}
-\section*{Variierte Parameter}
+{\large\bf
+ Variierte Parameter
+}
\begin{itemize}
\item Schrittzahl
\item Amorphisierung beschreibende Parameter
\end{slide}
\begin{slide}
-\section*{Ergebnisse}
+{\large\bf
+ Ergebnisse
+}
\begin{itemize}
- \item Lamellare Strukturen!
+ \item \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen}
\item Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen:
\begin{itemize}
\item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungswahrscheinlichkeiten
\begin{slide}
\section*{Ergebnisse}
-Amorph/Kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe, in der erstmals lamellare Ordnung auftritt.
+H"ohere Diffusionsrate $\rightarrow$ gr"o"serer Tiefenbereich
\begin{figure}
\begin{center}
\includegraphics[height=6cm]{high_low_ac-diff.eps}
\begin{figure}
\begin{center}
\includegraphics[width=6cm]{z_z_plus_1.eps}
+ Amorph/Kristalline Darstellung
\includegraphics[width=5cm]{c_conc_z_z_plus_1.eps}
+ Kohlenstoffprofil
\end{center}
\end{figure}
\end{slide}