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[lectures/latex.git] / nlsop / diplom / einleitung.tex

diff --git a/nlsop/diplom/einleitung.tex b/nlsop/diplom/einleitung.tex
index 1b83dae..bfc7a21 100644 (file)
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 \chapter{Einleitung}
 
 Bei der Ionenimplantation werden Atome oder Molek"ule ionisiert, in einem elektrischen Feld beschleunigt und in einen Festk"orper geschossen.
-Dabei sind beliebige Ion-Target-Kombinationen m"oglich.
+Dabei sind beliebige Ion"=Target"=Kombinationen m"oglich.
 Die Beschleunigungsenergie kann zwischen einigen hundert Elektronenvolt und einigen Gigaelektronenvolt liegen.
 Neben der Energie bestimmt die Masse der Ionen und die Masse der Atome des Festk"orpers die Eindringtiefe der Ionen.
 
@@ -36,7 +36,7 @@ Neben der Kohlenstoffimplantation in Silizium findet man "ahnliche Selbstorganis
 Allen gemeinsam ist eine drastische Dichtereduktion bei der Amorphisierung.
 Ist dies der Fall, so ist die Selbstorganisation, unabh"angig vom Materialsystem, ein allgemein beobachtbares Ph"anomen.
 
-Die folgende Arbeit beschreibt die Umsetzung des Modells in einen Monte-Carlo-Simulationscode, mit dessen Hilfe der Selbstorganisationsvorgang genauer untersucht und verstanden werden soll.
+Die folgende Arbeit beschreibt die Umsetzung des Modells in einen Monte"=Carlo"=Simulationscode, mit dessen Hilfe der Selbstorganisationsvorgang genauer untersucht und verstanden werden soll.
 Die Simulation bietet hierbei entscheidende Vorteile.
 Die Vorhersage eines Implantationsergebnisses anhand des Modells ist nicht ohne weiteres m"oglich.
 Mittels eines Computer-Experimentes k"onnen die aus dem Modell resultierenden Ergebnisse berechnet und mit den experimentellen Ergebnissen verglichen werden.