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[lectures/latex.git] / nlsop / diplom / ergebnisse.tex

diff --git a/nlsop/diplom/ergebnisse.tex b/nlsop/diplom/ergebnisse.tex
index b1b3ef6..59d256f 100644 (file)
--- a/nlsop/diplom/ergebnisse.tex
+++ b/nlsop/diplom/ergebnisse.tex
@@ -447,17 +447,28 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
 
     \subsection{Herstellung grosser Bereiche lamellarer Strukturen durch einen zweiten Implantationsschritt}
 
+    \begin{figure}[h]
+    \includegraphics[width=12cm]{nel_2mev.eps}
+    \caption{.}
+    \label{img:nel_2mev}
+    \end{figure}
+    \begin{figure}[h]
+    \includegraphics[width=12cm]{impl_2mev.eps}
+    \caption{.}
+    \label{img:impl_2mev}
+    \end{figure}
     Im Folgenden soll ein Mechanismus zur Erzeugung grosser lamellarer Bereiche durch einen zweiten Implantationsschritt vorhergesagt werden.
 
-    Als Grundlage dient ein Silizium Target, dass wie bisher mit $180 keV$ $C^{+}$ beschossen wird.
+    Als Grundlage dient ein Silizium Target, das wie bisher mit $180 keV$ $C^{+}$ beschossen wird.
     Ein entsprechendes Implantationsprofil stellt sich ein.
     Allerdings soll das Target durchgehend kristallin sein.
     Dies l"asst sich experimentell durch Erh"ohung der Targettemeperatur erreichen.
        
-    Das kristalline Target wird dann mit $10 MeV$ $C^{+}$ bei der gewohnten Implantationstemperatur von $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ implantiert.
-    Abbildung \ref{img:nel_impl_1mev} zeigt das durch {\em TRIM} ermittelte nukleare Bremskraft- und Implantationsprofil.
+    Das kristalline Target wird dann mit $2 MeV$ $C^{+}$ bei der gewohnten Implantationstemperatur von $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ implantiert.
+    Abbildung \ref{img:nel_2mev} und \ref{img:impl_2mev} zeigen das durch {\em TRIM} ermittelte nukleare Bremskraft- und Implantationsprofil.
     Auf Grund der hohen Energie wird kaum noch Kohlenstoff in den bisher relevanten Tiefenbereich zur Ruhe kommen.
     Des weiteren ist in diesen Bereich die nukleare Bremskraft, und damit die Wahrscheinlichkeit eines Sto"ses,  ann"ahernd konstant.
-    Man erwartet schnelle Amoprhisierung auf Grund des bereits existierenden Kohlenstoffs durch die erste Implantation.
-    
+    Man erwartet eine gleichm"assige, um das Kohlenstoffmaximum verteilte Amorphisierung.
+
+    Abbildung \ref{img:2nd_impl_4_3}